Методы сканирующего зонда или устройства, не предусмотренные в других группах данного подкласса – G01Q 90/00

Изобретение относится к материаловедению, в частности к прецизионному инструментарию для диагностики материалов различной природы, представленных в виде тонких пленок, и может быть использовано в микро- и наноэлектронике, материаловедении, биологии, медицине, биомолекулярной технологии. Установка включает сканирующий зондовый микроскоп, по крайней мере, одно сканирующее устройство, держатель объекта и, по крайней мере, одно средство обработки и передачи электрических сигналов. Сканирующее устройство выполнено в виде закрепленной на основании консоли, выполненной с возможностью поворота вокруг ее продольной оси и возможностью поворота вокруг вертикальной оси основания. На свободном конце консоли закреплена головка с, по крайней мере, одним держателем, выполненным в виде консоли, на свободном конце которого размещен многофункциональный блок с, по крайней мере, одним сканирующим элементом. Установка дополнительно снабжена, по крайней мере, одним приемным лотком для кассет со сканирующими элементами, по крайней мере, одним приемным лотком для многофункциональных блоков, и вакуумным пинцетом. Технический результат - обеспечение универсальности устройства, расширение диапазона размеров исследуемых объектов, повышение простоты и удобства в использовании. 8 з.п. ф-лы, 1 ил.

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к устройствам измерения с помощью сканирующего зондового микроскопа рельефа, линейных размеров и физических характеристик поверхности объектов в режимах сканирующего туннельного микроскопа и атомно-силового микроскопа. Также в предложенном устройстве предусмотрена возможность измерения массы тонкопленочного образца и диссипативных свойств тонкопленочного образца или жидкой среды измерения посредством пьезокварцевых микровесов, и возможна модификация поверхности объекта. Сущность изобретения заключается в том, что в сканирующий зондовый микроскоп, совмещенный с устройством измерения массы и диссипативных свойств, содержащий блок управления пьезокварцевых микровесов, сканирующее устройство с держателем зонда, зонд, систему регистрации, камеру и помещенный в камеру кварцевый резонатор, содержащий кварцевый диск, верхний и нижний электроды, введены оптическая система, XYZ позиционер и устройство для подачи напряжения между зондом и верхним электродом. Технический результат - расширение функциональных возможностей устройства. 13 з.п. ф-лы, 1 ил.