Измерение линейной или угловой скорости, измерение разности различных линейных и угловых скоростей: .....от детекторов переменной емкости – G01P 3/483

Настоящее изобретение относится к электронным измерительным устройствам и, в частности, к емкостному датчику, способу детектирования и способу изготовления такого датчика. Техническим результатом является повышение чувствительности датчика, обеспечение детектирования в двух направлениях и обеспечение широкого динамического диапазона измерений. Технический результат достигается тем, что емкостной датчик включает в себя два набора электродов переменного конденсатора, расположенные соответствующим образом на плоской опорной поверхности, и контрольную массу, которая имеет возможность эластичного смещения вдоль первой оси, по существу параллельной плоской опорной поверхности. Первый набор электродов формирует высокоточное периодическое изменение емкости в диапазоне смещения контрольной массы вдоль оси, а второй набор электродов обеспечивает показание абсолютного положения на периодической кривой изменения емкости в диапазоне смещения вдоль оси. 3 н. и 17 з.п. ф-лы, 12 ил.