Измерение ускорения и замедления, измерение импульсов ускорения: ..с преобразованием в электрические или магнитные величины – G01P 15/08

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при изготовлении интегральных акселерометров.

Чувствительный элемент интегрального акселерометра выполнен из проводящего монокристаллического кремния и содержит маятник 3, соединенный с помощью упругих подвесов 2 с каркасной рамкой 1, обкладки 4, соединенные с каркасной рамкой 1 через площадки 6, расположенные на каркасной рамке 1. На обкладках 4 выполнены выемки 7 в местах соединения с площадками 6, расположенными на каркасной рамке 1. На поверхностях выемок 7 и площадок 6 сформированы последовательно слои диэлектрика 10 и металла 11 для улучшения качества соединения.

Дифференциальный конденсатор, необходимый для функционирования интегрального акселерометра, образован проводящей поверхностью кремниевого проводящего маятника 3 и металла 11, нанесенного на обкладки 4 со стороны маятника 3 с образованием емкостного зазора 5.

Техническим результатом является улучшение метрологических характеристик путем усовершенствования конструкции чувствительного элемента интегрального акселерометра. 3 з.п. ф-лы, 2 ил.

Изобретение относится к микромеханическим устройствам и может применяться в интегральных акселерометрах и гироскопах. Техническим результатом заявленного изобретения является повышение точности емкостного датчика при измерении угловых перемещений. Технический результат достигнут посредством разделения пополам неподвижных электродов и перекрестного включения секторов в смежные плечи дифференциальных конденсаторов. В результате разделения электродов датчик стал нечувствителен к плоскопараллельной составляющей движений, при этом появилась возможность измерять одну компоненту, а именно угловую. 3 ил.

Изобретение относится к устройствам для измерения ускорения и может быть использовано в качестве первичного преобразователя в системах инерциальной навигации и сейсмометрии. Молекулярно-электронный акселерометр содержит диэлектрический корпус с двумя параллельными неподвижными электродами и третий подвижный электрод, установленный между неподвижными электродами. Подвижный электрод посредством упругих подвесов связан с жесткой рамкой, вмонтированной в корпус. Все электроды находятся в контакте с электропроводящей жидкостью, которая заполняет полость корпуса, и имеют внешние электрические выводы. Техническим результатом является уменьшение значения погрешности измерения ускорения, а также обеспечение широкого диапазона измерения ускорения при сохранении высокой чувствительности преобразователя во всем диапазоне измерения ускорения. 4 з.п. ф-лы, 4 ил.

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в микромеханических датчиках линейных ускорений. Чувствительный элемент, выполненный из монокристаллического кремния низкой проводимости, содержит центральную площадку, соединенную со стеклянной подложкой, на которых находятся электроды емкостного преобразователя, внешнюю рамку с площадками крепления, соединенную с инерционной массой через крестообразные торсионы. Центральная площадка соединена с инерционной массой через изгибные упругие элементы. Между местом заделки конца крестообразного торсиона в инерционной массе (маятнике) и изгибными упругими элементами вдоль маятника расположена сквозная щель с обеих сторон относительно центральной площадки крепления. Введение центральной площадки крепления и дополнительных изгибных упругих элементов уменьшает нулевой сигнал и его нестабильность, а при одновременном воздействии еще измеряемого ускорения уменьшает погрешность крутизны характеристики прибора в целом. Введение сквозных щелей значительно уменьшает деформацию, передающуюся на крестообразные торсионы и изгибные упругие элементы при воздействии плюсовых и отрицательных температур. 2 ил.

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения угловых перемещений, скоростей и ускорений. Способ заключается в циклическом измерении приращений угла поворота инерционного тела относительно корпуса в заданном временном интервале. При этом используют два инерционных тела, выполненных из магнитострикционного материала, помещенных в две газообразные среды с разными значениями давления. Возбуждают механические колебания в двух инерционных телах ультразвуковой частотой в диапазоне от 20 кГц и до 50 кГц и резонансные колебания электромагнитного поля в двенадцати колебательных контурах, изменяют токи, протекающие через двенадцать катушек индуктивности подкачки энергии в двенадцать колебательных контуров. Наводят электродвижущие силы взаимоиндукции в катушках индуктивности колебательных контуров, под действием которых увеличивают амплитуды резонансных колебаний электромагнитного поля в колебательных контурах, изменяют емкости колебательных контуров. Приращения углов поворота инерционных тел относительно корпуса измеряют за счет изменения частот резонансных колебаний электромагнитного поля колебательных контуров. Изобретение позволяет повысить точность измерения, технологичность изготовления и срок службы устройства, реализующего способ. 1 з.п. ф-лы, 11 ил.

Изобретение относится к измерительной технике. Микросистемный акселерометр содержит кремниевую каркасную рамку, в которой методом анизотропного травления выполнен кремниевый проводящий маятник, соединенный упругими подвесами с каркасной рамкой. Несимметричность маятнику придана смещением оси качания относительно оси, проходящей через средину пластины. Ось качания маятника разделяет пластину на две неравные части. Акселерометр содержит также устройство отрицательной жесткости, состоящее из двух резисторов и источника напряжения, что позволяет точно задавать требуемую полосу пропускания. На пределах измерения ускорения от 0 до 500 g может быть установлена заданная полоса пропускания от 5 до 100 Гц, что требуется для навигационных акселерометром. Изобретение обеспечивает повышение точности измерения линейных ускорений. 1 з.п. ф-лы, 3 ил.

Изобретение относится к измерительной технике и может применяться в интегральных акселерометрах. Для измерения углового ускорения используется металлическое регулировочное кольцо, которое устанавливается на планарной инерционной массе, что позволяет увеличить порог чувствительности чувствительного элемента к угловому ускорению. 2 ил.

Изобретение относится к области измерительной техники, в частности к средствам измерения линейных ускорений, угловых скоростей и тепловых полей малой интенсивности в инфракрасной и терагерцовой области. Сущность способа изготовления наноэлектромеханического преобразователя на основе поверхностной микромеханической технологии для кремниевого или сапфирового основания, заключается в том, что предварительно создают соответствующую планарную интегральную схему, для чего сначала формируют контактные площадки на обратной стороне основания, затем создают первый проводниковый слой, после чего осуществляют формирование контура чувствительного элемента преобразователя и удаляют жертвенный слой, а завершают способ корпусировкой преобразователя и формированием вискеров. Кроме того, при корпусировке преобразователя в замкнутом объеме корпуса создают газовую среду с заданными параметрами, а формирование вискера осуществляют за счет подачи на электроды импульсов заданной формы. В качестве заданных параметров среды используют, например, давление и/или точку росы. На электроды подают импульсы в форме полупериода синусоиды заданной амплитуды и частоты. Технический результат заключается в унификации различных типов датчиков с автоэлектронной эмиссией и уменьшении типоразмеров различных датчиков. 3 з.п. ф-лы, 12 ил.

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к датчикам угловых ускорений, принцип действия которых основан на законе электромагнитной индукции. Чувствительный элемент 1 датчика представляет собой цилиндр 3, выполненный из диэлектрического материала, в котором диаметрально противоположно установлены металлические электроды Э1, Э2. В плоскости, перпендикулярной плоскости электродов, установлены сверху и снизу обмотки возбуждения OB1, ОВ2, запитываемые двухполярным стабилизированным током. Тороидальный корпус присоединяется соосно к цилиндру 3. Образованная кольцевая полость заполняется рабочей жидкостью с определенной электропроводностью и вязкостью, например водой. Электрический сигнал, пропорциональный ускорению, снимается с электродов и подается на измерительное устройство, с выхода которого выдается сигнал, пропорциональный угловому ускорению. Изобретение позволяет упростить конструкцию при сохранении точностных характеристик и повысить надежность за счет отсутствия подвижных частей. 3 ил.

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения угловых перемещений, скоростей и ускорений объектов в бесплатформенных инерциальных навигационных системах. Устройство для измерения параметров углового движения объектов содержит ротор и статор, выполненные в виде двух дисков из диэлектрического материала, шесть катушек индуктивности и измерительную схему. При этом ротор выполнен из магнитострикционного материала и установлен с возможностью перемещения в газообразную среду между диском из диэлектрического материала, установленным на статор, и крышкой, выполненной в виде диска из диэлектрического материала. Устройство содержит также возбуждающую катушку индуктивности, установленную над ротором, и шесть колебательных контуров, гальванически развязанных от измерительной схемы, которая включает шесть катушек индуктивности подкачки энергии в шесть колебательных контуров и шесть катушек индуктивности считывания частоты резонансных колебаний шести колебательных контуров. Изобретение обеспечивает повышение точности измерения, технологичности изготовления, чувствительности и срока службы устройства. 2 з.п. ф-лы, 11 ил.

Изобретение относится к устройствам для измерения ускорения объекта в условиях вибрации и может быть использовано для контроля положения подвижного объекта. Акселерометр содержит чувствительную массу, подвижные электроды, неподвижные электроды, закрепленные на подложке анкерами, два преобразователя напряжения, блок вычисления разности и блок управления. На каждом неподвижном электроде размещены по три обкладки конденсаторов, причем с первыми входами преобразователей напряжения соединены первая обкладка первого электрода и вторая обкладка второго электрода, а вторая обкладка первого электрода и первая обкладка второго электрода соединены со вторыми входами преобразователей напряжения соответственно. Выходы преобразователей напряжения соединены с первым и вторым входами блока вычисления разности, выход которого через блок управления соединен с третьей и четвертой обкладками подвижного электрода, которые вместе с третьими обкладками первого и второго неподвижного электрода образуют датчик момента. Введением дополнительных обкладок на подвижные и неподвижные электроды достигается увеличение точности измерения ускорения в условиях трехкомпонентной вибрации. 1 ил.

Изобретение относится к обнаружению вращательного и поступательного движения. Устройство содержит систему по меньшей мере двух одинаковых измерителей ускорения с выровненными измерительными осями. Каждый измеритель ускорения измеряет движение по меньшей мере вдоль одной оси. Показания измерителей ускорения включают составляющую, соответствующую гравитационной силе, которая одинакова для всех измерителей ускорения системы. Логические схемы, взаимодействующие с системой измерителей ускорения, направляют сигналы этих измерителей процессору для вычисления параметров движения. Изобретение не требует отслеживания ориентации устройства для отфильтровывания влияния гравитации и иных возмущающих воздействий, связанных с движением. 3 н. и 13 з.п. ф-лы, 12 ил.

Изобретение относится к преобразующим элементам устройств для проведения инерциальных измерений. Измерительный элемент датчика параметров движения на принципах молекулярно-электронного переноса представляет собой разделенные зазором две или более непроводящие пластины со сквозными отверстиями с нанесенными на одной или на обеих пластинах электродами, помещенные в рабочую жидкость. Электроды расположены в указанном зазоре и при протекании через измерительный элемент жидкость последовательно проходит через сквозные отверстия в одной пластине, зазор с электродами и сквозные отверстия во второй пластине. В данной конструкции можно обеспечить малую толщину микроканала, в котором происходит преобразование сигнала, а значит, высокий коэффициент преобразования потока рабочей жидкости в электрический ток. 10 з.п. ф-лы, 11 ил.

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при решении задач навигации, управления и гравиметрии. Устройство содержит источник постоянного оптического сигнала, компенсирующий источник оптического сигнала, генератор оптических импульсов, три оптических нановолокона, две телескопических нанотрубки, оптический нановолоконный Y-разветвителель. Технический результат - обеспечение простоты измерения кажущегося ускорения и решение задачи наноразмерного исполнения устройства. 1 ил.

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в интегральных акселерометрах с импульсной силовой компенсацией. Выполнение несимметричным чувствительного элемента с малой рабочей массой (разбалансом массы маятника относительно оси качания) и с большой площадью силовых электродов позволило устранить пробои газового промежутка между подвижным и неподвижным электродами посредством снижения напряжения в импульсе до допустимого значения. Заземление силовых электродов в нерабочих тактах привело к устранению шумов от влияния остаточных зарядов на электродах, а следовательно, к повышению точности. 2 ил.

Изобретение относится к емкостным датчикам и может использоваться в интегральных акселерометрах и гироскопах. Технический результат: расширение диапазона и повышение точности измерений за счет увеличения размеров неподвижных электродов. Увеличение размеров электродов при одной и той же площади обкладок стало возможным за счет разделения по времени режимов работы силовых электродов и электродов датчика перемещений. Важным преимуществом заявляемого устройства являются два фактора: 1 - при увеличенных размерах электродов (примерно в два раза) сила отработки также возрастает во столько же раз; 2 - при увеличенных размерах электродов, в режиме их работы в качестве датчика перемещений, снижаются шумы в выходном сигнале пропорционально относительному увеличению площади электродов (примерно в раза). 1 ил.

Изобретение относится к области измерительной техники, а именно к автоматизированным системам контроля, и может быть использовано для измерения значения ускорения, скорости изменения ускорения (фронта), времени интегрирования, интеграла линейного ускорения, контроля состояния контактов, измерения значения постоянного напряжения и генерации постоянного напряжения при испытании на центробежных установках. Система содержит дешифратор адреса, блок регистрации сигнала дискретного датчика скорости, блок регистрации срабатывания контактов, блок запроса прерывания, блок регистрации сигнала частоты, блок дискретного вывода, блоки аналогового вывода и ввода, контроллер, модуль сетевого интерфейса, схемы управления блоками аналогового ввода и вывода и индикатор. Изобретение позволяет расширить частотный диапазон канала регистрации сигнала дискретного датчика скорости, использовать в качестве интерфейса связи канал Ethernet. 1 ил.

Изобретение относится к измерительной технике. Чувствительный элемент содержит монокремниевую несущую пластину, в которой вытравлен сквозным травлением несимметричный маятник в виде двух пластин, соединенных по одним из сторон, длина и толщина которых одинакова, а ширина разная. За счет разной ширины подвижных пластин образована чувствительная к ускорениям масса. С обеих сторон к кремниевой пластине приварены стеклянные пластины-обкладки. На первой пластине-обкладке напылены проводящие электроды электростатического преобразователя момента, а на второй - проводящие электроды емкостного преобразователя перемещений и электроды тестирования. Изобретение позволяет расширить диапазон компенсационных измерений ускорений с одного g до 100 g. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.

Изобретение относится к приборостроению, а именно к акселерометрам. Акселерометр включает конвективную ячейку в форме прямоугольного параллелепипеда, заполненную рабочей средой, с точечным нагревателем, расположенным по центру дна ячейки, и набором термопар, подключенных к блоку управления. Вертикально ориентированная ячейка снабжена холодильником, установленным в верхней части ячейки. Холодильник выполнен из металла, например дюралюминия. Набор термопар размещен над нагревателем, при этом 1-я дифференциальная термопара измеряет температуру нагревателя относительно холодильника, 2-я дифференциальная термопара измеряет температуру в точке на вертикальной оси ячейки над нагревателем относительно холодильника, а 3-я дифференциальная термопара измеряет разность температур между двумя точками по горизонтали и расположенных симметрично относительно вертикальной оси ячейки над нагревателем. В качестве рабочей среды используют жидкий гептан. Ячейка выполнена из набора пластин, средняя пластина П-образной формы из теплопроводного материала, а боковые пластины из теплоизолирующего материала. Изобретение повышает чувствительность и точность измерений, акселерометр не обладает эффектом залипания и работает в области низких частот <0,01 герц. 4 з.п. ф-лы, 5 ил.

Изобретение относится к инерциальным приборам и может быть использовано в системах управления подвижных объектов различного назначения. Микроакселерометр содержит корпус, крышку, две инерционные массы на упругих подвесах, выполненные в виде прямоугольных пластин из монокристаллического кремния и расположенные в одной плоскости последовательно друг за другом вдоль оси чувствительности с возможностью линейного перемещения. Два датчика положения для каждой инерционной массы выполнены в виде двух пар излучателей и фотоприемников. Первые из них расположены в отверстиях крышки над прямоугольными пластинами, а вторые соосно с ними размещены в корпусе. При этом каждая пара фотоприемников соединяется с соответствующим ей компаратором. Выходы компараторов соединены с ключами, к которым также подсоединен стабилизированный источник тока. Выходы ключей через упругие подвесы соединены с токопроводящими дорожками компенсационных преобразователей, выполненных в виде двух постоянных магнитов, размещенных на крышке и корпусе, и токопроводящих дорожек, напыленных на поверхности прямоугольных пластин, перпендикулярно оси чувствительности. Изобретение позволяет повысить точность измерения за счет введения режима автоколебаний. 1 ил.

Изобретение относится к измерительным устройствам и может использоваться для регистрации угловой составляющей сейсмических колебаний почвы, инженерных сооружений и вибрации. Особенностью предлагаемого изобретения является то, что диффузионный преобразователь выполнен в виде внешних и внутренних электродов, нанесенных на диски из диэлектрического материала, по два на каждом. Внешний электрод выполнен в виде кольца с внутренними выступами, а внутренний - в виде кольца с внешними выступами. Выступы внешнего кольца расположены между выступами внутреннего кольца на одинаковом расстоянии от них и перекрывают друг друга по длине на 80-95%. Выступы расположены равномерно по всей длине окружности колец на одинаковом расстоянии друг от друга. Между дисками из диэлектрического материала введены уплотнительные кольца, ширина которых не превышает соответствующих размеров электродных колец. Техническим результатом изобретения является повышение чувствительности и расширение верхнего диапазона рабочих частот молекулярно-электронного преобразователя. 2 ил.

Изобретение относится к измерительной технике и может использоваться для измерения углового ускорения, например в инерциальных системах навигации. Акселерометр содержит инерционную массу на упругих подвесах, датчик положения, крышку, основание, два постоянных магнита, компаратор, ключ и источник постоянного тока. Инерционная масса выполнена из монокристаллического кремния в виде диска с оптическими щелями и размещена на упругих подвесах в зазоре между постоянными магнитами. На поверхности инерционной массы радиально напылены токопроводящие дорожки, начала и концы которых соединены между собой напыленными токопроводящими кольцами. Каждое из колец токопроводами через упругие подвесы соединено с выходом ключа, к первому входу которого подключен источник постоянного тока, а ко второму входу подключен выход компаратора, ко входу которого подключены выходы фотоприемников, а излучатели подключены к источнику постоянного тока. Магниты закреплены на основании и крышке, датчик положения выполнен из двух излучателей и двух фотоприемников. Изобретение позволяет увеличить точность и расширить частотный диапазон измеряемого ускорения. 2 ил.

Изобретение относится к измерительной технике и может найти применение в сейсмике и сейсморазведке, системах стабилизации движущихся объектов и системах инерционной навигации. Сущность изобретения по первому варианту заключается в подборе расположения отверстий в диэлектрической прокладке электродного узла, состоящего из четырех сетчатых металлических электродов, переложенных перфорированными диэлектрическими прокладками, таким образом, что в центре отверстия находится ровно один узел электродной сетки, а по второму варианту - изготовлением сэндвича из фольги в качестве электродов и диэлектрической прокладки с полностью соосными отверстиями. Изобретение позволяет достичь максимальной идентичности коэффициентов преобразования каждого микроканала электродного узла так, чтобы отношение среднеквадратичного отклонения к среднему значению коэффициента преобразования, рассчитанному по всей совокупности микроканалов, было бы минимальным. 2 н. и 3 з.п. ф-лы, 3 ил.

Изобретение относится к технике измерения линейных ускорений на борту транспортных средств и в составе испытательного оборудования с обеспечением возможности беспроводной прямой радиопередачи выходных сигналов в УКВ диапазоне. Акселерометр заключен в корпус, образованный получашками 1, между которыми защемлен по периметру двухмембранный упругий элемент 3, заполненный жидкостной инерционной массой 4. С элементом 3 соединены два немагнитных высокопроводящих экрана 5, перемещающиеся относительно плоских спиралей 8 и 9, выполненных на диэлектрических основаниях 6 и 7, включенных в LC-автогенераторы 11 и 12 с помощью перемычек 10. Подача питания и съем выходных частот LC-автогенераторов 11 и 12 осуществляется через разъемы 14 и 15. Деформация упругого элемента 3 под действием ускорения преобразуется в дифферециальное изменение выходных частот, а его деформация за счет теплового расширения жидкости 4 - в синфазное изменение этих частот. Изобретение обеспечивает повышение чувствительности, точности и получение на выходе пригодных для прямой радиопередачи высокочастотных сигналов, несущих информацию как об ускорении, так и о температуре. 4 з.п. ф-лы, 4 ил., 1 табл.

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при создании микромеханических акселерометров и гироскопов. Датчик содержит чувствительный элемент (ЧЭ) маятникового типа, прикрепленный с помощью упругих подвесов к рамке ЧЭ. Рамка с помощью упоров крепится к основанию прибора, в рамке выполнены сквозные щели, по ее периметру. Это позволяет увеличить расстояние от мест крепления упоров до упругого подвеса и снизить влияние контактных напряжений на упругий подвес, что уменьшает нестабильность нуля и повышает точность прибора. 1 ил.

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при изготовлении интегральных акселерометров. Чувствительный элемент выполнен из проводящего монокристаллического кремния и содержит маятник, соединенный с помощью упругих подвесов с каркасной рамкой, которая через неподвижную обкладку с помощью консольной балки соединена с несущей рамкой. Несущая рамка площадками крепления жестко соединена с основанием акселерометра, что позволяет исключить контактные напряжения в каркасной рамке, влияющие на точность прибора. 2 ил.

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для стабилизации параметров молекулярно-электронных преобразователей, используемых в линейных и угловых акселерометрах. В молекулярно-электронном преобразователе, состоящем из четырех электродов, помещенных в замкнутый корпус, заполненный электролитом, внутренние электроды служат катодами, а периферийные - анодами, стабилизация параметров основана на регулировании коэффициента преобразования и компенсации температурных изменений свойств электролита. При этом для исключения зависимости градиента прикатодной концентрации электролита от его объемной концентрации в корпусе на расстоянии 1-10 см от преобразователя помещают дополнительные электроды, потенциал которых на 100-500 мВ выше потенциала катодов, потенциалы которых равны, и подключают аноды к источнику стабилизированного постоянного тока, в результате чего концентрация электролита на катодах близка к нулю, на дополнительных электродах определяется объемной концентрацией, а на анодах устанавливается такой, чтобы обеспечить протекание тока, генерируемого источником тока между анодом и катодом. Техническим результатом является повышение точности измерений линейных и угловых скорости и ускорения. 2 н. и 5 з.п. ф-лы, 2 ил.

Изобретение относится к устройствам и системам для оценки состояния поверхности искусственных покрытий. Устройство содержит измерительную тележку, на которой размещены измерительное и ведомые колеса, первый и второй инкрементные датчики, микроконтроллер, электромагнитный тормоз, датчик тока, управляемый источник питания, пульт управления, блок памяти и термопринтер. Измерительное колесо и одно из ведомых колес механически соединены соответственно с первым и вторым инкрементными датчиками. При этом второй выход измерительного колеса механически подключен к электромагнитному тормозу. Первый и второй инкрементные датчики подключены к первому и второму входам микроконтроллера. Первый, второй и третий выходы микроконтроллера соединены соответственно с входами блока памяти, управляемого источника питания и термопринтера. К третьему входу микроконтроллера подключен пульт управления. Свободный вход управляемого источника питания является входом источника питающего напряжения, который через управляемый источник питания и датчик тока подключен к входу электромагнитного тормоза. При этом второй выход датчика тока соединен с четвертым входом микроконтроллера. Значение коэффициента сцепления измерительного колеса с поверхностью искусственного покрытия определяется путем измерения силы продольного сцепления измерительного колеса с поверхностью искусственного покрытия, получаемой при электромагнитном торможении, когда измерительное колесо имеет заданную начальную стадию пробуксовки (проскальзывания). Устройство предназначено для определения коэффициента сцепления на искусственных покрытиях аэродромов, автомобильных дорогах, на улицах городов и населенных пунктов, на участках с ограниченной протяженностью и малым радиусом разворота. 5 ил.

Изобретение относится к измерительной технике. Блок бесплатформенной системы ориентации содержит микроконтроллер, интерфейсную плату и три измерительных блока, каждый из которых содержит микромеханический гироскоп и акселерометр. Выходы каждого гироскопа и акселерометра соединены с соответствующими входами аналого-цифровых преобразователей, входы каждого гироскопа соединены с соответствующими выходами цифроаналоговых преобразователей. Каждый гироскоп и акселерометр расположены в измерительном блоке на отдельных печатных платах. Измерительная ось гироскопа перпендикулярна плоскости печатной платы и параллельна оси опорной декартовой системы координат, а измерительные оси акселерометра параллельны плоскости печатной платы и соответствующим осям опорной декартовой системы координат. Система визуализации и регистрации движения подвижных объектов содержит устройство коммутации, блок системы сбора и передачи данных, осуществляющий сбор измеряемых данных с, по меньшей мере, одного блока бесплатформенной системы ориентации и обмен информации с вычислительным устройством бесплатформенной навигационной системы, получающим информацию о параметрах движения, по меньшей мере, одного объекта от вычислительного устройства системы позиционирования, состоящей из передатчиков системы позиционирования и базовых приемников системы позиционирования, обеспечивающих прием сигналов от передатчиков системы позиционирования, вычислительное устройство системы визуализации и регистрации движения, получающее информацию о значении линейных и угловых координат объектов от вычислительного устройства бесплатформенной навигационной системы. Повышается точность работы и измерения движения объектов. 2 н. и 8 з.п. ф-лы, 3 ил.

Изобретение относится к области измерительной и микросистемной техники, а более конкретно к интегральным измерительным элементам величин угловой скорости и ускорения. Устройство содержит полупроводниковую подложку с пятью неподвижными электродами, четыре подвижных электрода, выполненных в виде пластин с гребенчатыми структурами, образующих конденсаторы с неподвижными электродами и связанных с подложкой с помощью упругих балок, выполненных на основе углеродных нанотрубок, инерционную массу, расположенную с зазором относительно подложки и с расположенным на ней слоем дополнительной инерционной массы. Техническим результатом является возможность измерения величин угловой скорости и ускорения вдоль осей Х и Y, расположенных взаимно перпендикулярно в плоскости подложки, и оси Z, направленной перпендикулярно плоскости подложки. 2 ил.