Задвижки или шиберные затворы, т.е. отключающие устройства с запорными элементами, совершающими скользящее движение вдоль седловой поверхности: ...с приспособлениями для раздвигания уплотняющих поверхностей или их взаимного прижатия – F16K 3/10

Изобретение относится к трубопроводной запорно-регулирующей арматуре. Дроссель регулируемый прямоточный многопроходный содержит корпус, входную и выходную торцовые крышки, соответственно соединенные с напорной и выходной магистралями, поворотное колесо с приводом, запорно-регулирующие диски с взаимно притертыми торцами и проходными отверстиями. Один диск неподвижно установлен относительно выходной крышки и корпуса. Другой - подвижно с возможностью поворота вместе с поворотным колесом. Внутренняя расточка поворотного колеса, в которой расположены диски, со стороны напорной магистрали выполнена с кольцевым уступом. Последний взаимодействует с фланцем поворотного диска. Между торцом входной крышки и торцом подвижного диска установлен нажимной элемент в виде подпружиненного кольца. Разгрузочная полость, выполненная между внутренним торцом выходной крышки и наружным торцом поворотного колеса, соединена каналом с компенсационной полостью, выполненной между внутренним торцом поворотного колеса и торцом неподвижного диска. Канал выполнен в виде отверстий в поворотном колесе со стороны выходной крышки. Поворотное колесо со стороны выходной крышки выполнено с кольцевым уступом. Изобретение обеспечивает повышение эксплуатационной надежности дросселя. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.

Изобретение относится к вакуумному затвору для отделения камеры осаждения и части электронной пушки вакуумного устройства и может найти применение при производстве полупроводников, тонких пленок, жидких кристаллов и других изделий с тонкопленочными покрытиями. Корпус затвора (2) имеет отверстия, каждое из которых выполнено в боковых стенках, обращенных друг к другу. Затвор содержит задвижку (3) для открытия/закрытия отверстий, цилиндрический подвижный щиток (22), выполненный с возможностью введения через отверстие на стороне рабочей камеры в корпус затвора при открытии затвора и свободного совершения возвратно-поступательного перемещения между ними. Приемный элемент (21) расположен в отверстии на стороне части электронной пушки и контактирует с концевой частью подвижного щитка (22). Приводное средство обеспечивает возвратно-поступательное перемещение подвижного щитка (22). Концевая часть подвижного щитка (22) и приемный элемент (21) сведены близко друг с другом с помощью приводного средства для обеспечения герметичного отделения внутренней части подвижного щитка и внутренней части корпуса затвора друг от друга. Даже когда вакуумный затвор для вакуумного устройства, используемого в устройстве парофазного осаждения, находится в открытом положении, в камере парофазного осаждения обеспечена надежность сохранения вакуума путем защиты внутренней поверхности корпуса затвора и задвижки от паров осаждаемого из паровой фазы материала. 2 з.п. ф-лы, 7 ил.

Изобретение относится к вакуумной технике, к вакуумным затворам и шиберам и предназначено для использования в высоковакуумных системах, допускающих прогрев до 400°С. Высоковакуумный цельнометаллический шибер содержит механизмы уплотнительного узла и привода, выполненные на разъемном фланце как единый механизм. Механизм уплотнительного узла выполнен в виде кассеты. Кассета состоит из корпуса, уплотнительной тарелки, центрирующего кольца, нижней и верхней опор с профильными пазами для установки роликов, возвратной пружины, клина с выступами. Ролики выполнены с двумя пазами, расположенными через 180°, которыми устанавливаются на выступы профильных пазов опор и клина. Механизм привода маятникового типа имеет рычаг. Рычаг двигается прямолинейно по направляющей или поворачивается относительно оси. Изобретение обеспечивает высокую точность установки тарелки в седло корпуса и необходимое уплотняющее усилие. 7 ил.

Изобретение относится к области машиностроения и предназначено для использования в закрытых помещениях в качестве запорного органа в трубопроводах с жидкими и газообразными средами в атомной, энергетической и других областях промышленности. Задвижка содержит корпус с седлом и вертикальными направляющими. Эти направляющие служат для перемещения по ним тяги. Посредством тяги шпиндель взаимодействует с затвором. Затвор снабжен направляющими пазами. Последние обеспечивают поступательное движение по ним рычагов. Одним концом рычаги закреплены на поворотной оси. Затвор шарнирно связан с тягой. Изобретение направлено на уменьшение габаритов задвижки и ее массы с меньшим ходом выдвижного шпинделя и, как следствие, малым временем срабатывания. 2 з.п. ф-лы, 6 ил.