Химическое нанесение покрытия путем разложения газообразных соединений, причем продукты реакции материала поверхности не остаются в покрытии, т.е. способы химического осаждения паров (ХОП): ...нитриды – C23C 16/34

Изобретение относится к устройству для удаления стружки, способу его изготовления и способу обработки держателя режущего инструмента. Устройство содержит держатель режущего инструмента, состоящий из вала для установки в обрабатывающей машине или держателе обрабатывающей машины, головки, на которой установлен режущий инструмент, и вибродемпфирующий материал, который размещен между валом и головкой или на валу в зоне крепления его в обрабатывающей машине или держателе обрабатывающей машины. Вибродемпфирующий материал представляет собой керамический материал, содержащий нитрид углерода (CN_x), расположенный в нем в виде наномерного кластера. Способ включает размещение вибродемпфирующего материала между валом и головкой или на валу в зоне крепления его в обрабатывающей машине или держателе обрабатывающей машины между валом путем его осаждения посредством магнетронного распыления. 3 н. и 13 з.п. ф-лы, 20 ил.

Изобретение относится к нанесению покрытия на топливопроводящую деталь турбины, например на деталь газовой турбины. Покрытие наносят на поверхность детали из стали марки 16Мо3. Промежуточный слой нитрида титана наносят методом химического осаждения из газовой фазы при давлении от 20 мбар до 40 мбар в течение периода от 2 до 4 ч. Затем наносят верхний слой из -оксида алюминия при давлении от 80 мбар до 120 мбар в течение периода от 3 до 5 ч. Получается коррозионно-стойкое покрытие на поверхности детали газовой турбины. 3 н. и 8 з.п. ф-лы, 3 ил.

Изобретение относится к телам, покрытым твердыми материалами, а также к способу их производства и может быть использовано для инструментов, таких как сверла, фрезы и неперетачиваемые режущие пластинки. Покрытое твердым материалом тело из стали, твердых металлов, керметов или керамики с однослойной или многослойной системой слоев содержит как минимум один твердый слой Ti _1-XAl_XN, полученный химическим осаждением из газовой фазы. Твердый слой представляет собой или однофазный слой кубической NaCl-структуры и стехиометрическим коэффициентом х>0,75 до х=0,93, и постоянной решетки a_fCC между 0,412 нм и 0,405 нм, или многофазный слой, основная фаза которого состоит из Ti_1-XAl_XN с кубической NaCl-структурой, со стехиометрическим коэффициентом х>0,75 до х=0,93, и постоянной решетки a_fCC между 0,412 нм и 0,405 нм. Помимо основной фазы в слое содержатся остальные фазы из Ti_1-XAl _XN с вюртцитовой структурой, и/или из TiN_X с NaCl-структурой, причем содержание хлора твердого слоя Ti _1-XAl_XN лежит в диапазоне от 0,05 до 0,9 атомарных %. Тела из стали, твердых металлов, керметов или керамики покрывают одноуровневой или многоуровневой системой слоев, которая содержит по меньшей мере один твердый слой Ti_1-XAl_X N. На тела наносят покрытие в реакторе при температурах в диапазоне от 700 до 900°С при помощи химического осаждения, в качестве прекурсоров используют галогениды титана, галогениды алюминия, и реактивные азотсодержащие соединения, которые смешивают при повышенных температурах. Получаются тела с покрытиями, обладающие улучшенными характеристиками износоустойчивости и устойчивости к окислению. 2 н. и 8 з.п. ф-лы, 2 ил.

Изобретение относится к способу выращивания пленки нитрида металла группы (III) химическим осаждением из газовой фазы с удаленной плазмой, устройству для осуществления способа и пленке нитрида металла группы (III) и может найти применение при изготовлении светоизлучающих диодов, лазерных светодиодов и других сверхвысокочастотных транзисторных приборов высокой мощности. Способ включает нагревание объекта, выбранного из группы, включающей в себя подложку и подложку, имеющую буферный слой, в камере для выращивания до температуры в интервале от примерно 400°С до примерно 750°С, образование активных нейтральных азотных компонентов в азотной плазме, расположенной на удалении от камеры для выращивания, и перемещение активных нейтральных азотных компонентов в камеру для выращивания. Реакционную смесь образуют в камере для выращивания, данная реакционная смесь содержит компонент металла группы (III), способный к реакционному взаимодействию с азотным компонентом таким образом, чтобы сформировать пленку нитрида металла группы (III), и пленку нитрида металла группы (III) формируют на нагретом объекте при условиях, обеспечивающих пригодность пленки для использования в приборах. Пленка нитрида металла группы (III) имеет концентрацию кислорода менее 1,6 атомных %. 3 н. и 23 з.п. ф-лы, 3 табл., 21 ил.

Изобретение относится к износостойкому, в частности эрозионностойкому, защитному покрытию, предпочтительно для деталей газовых турбин. На защищаемой поверхности детали нанесено покрытие, состоящее из одной или нескольких повторно нанесенных на защищаемую поверхность детали многослойных систем. Каждая из однократно или повторно нанесенных многослойных систем состоит из по меньшей мере четырех разных слоев. Первый, ближайший к защищаемой поверхности, слой каждой многослойной системы выполнен из металлического материала, совместимого с составом защищаемой поверхности детали. Нанесенный на первый слой второй слой каждой многослойной системы выполнен из металлического сплава, который совместим с составом защищаемой поверхности детали. Нанесенный на второй слой третий слой каждой многослойной системы выполнен из керметного функционально-градиентного материала, обеспечивающего плавный переход между вторым слоем и четвертым слоем. Нанесенный на третий слой четвертый слой каждой многослойной системы выполнен из наноструктурированного керамического материала. Получают износостойкое эрозионно-стойкое защитное покрытие. 2 н. и 13 з.п. ф-лы, 4 ил.

Изобретение предназначено для химической промышленности. В реакционный сосуд 10а, окруженный средством обогрева 30а, подают предшественник нитридного покрытия при помощи инертного газа - азота. В качестве предшественника используют металлоорганические нитриды, содержащие алюминий, галлий или олово. Предшественник подают по трубопроводу 32, открытому по всей длине. Сореагент, например безводный аммиак, подают из нижней части сосуда 10а через пористый стеклянный диск 12а. Сосуд 10а заполнен электролюминесцентным фосфором (ZuS·Cu). При нагреве сосуда 10а до 150-225°С происходит осаждение нитридного покрытия на частицы фосфора, находящиеся в псевдоожиженном состоянии. Фосфор, имеющий неоксидное покрытие, имеет высокую яркость через 100 ч использования при высокой влажности. Изобретение обеспечивает получение таких фосфоров в коммерческом количестве. 3 н.п. ф-лы, 2 ил.