Химическое нанесение покрытия путем разложения газообразных соединений, причем продукты реакции материала поверхности не остаются в покрытии, т.е. способы химического осаждения паров (ХОП): ..из металлоорганических соединений – C23C 16/18

Изобретение относится к получению покрытий методом химического осаждения из газовой фазы, а именно к получению защитных покрытий из хрома и его сплавов. Способ нанесения износостойкого металлического покрытия на основе хрома включает подачу парогазовой смеси, содержащей бис-ареновое соединение хрома и летучее соединение олова к поверхности нагретого изделия в вакууме, при этом в качестве летучего соединения олова используют 0,1-1,0% тетрахлорида олова, а процесс проводят при температуре нагретого изделия от 350 до 400^°С. Износостойкое металлическое покрытие на основе хрома содержит модифицирующую добавку олова, имеет многослойную структуру из последовательно расположенных слоев на основе хрома с модифицирующей добавкой олова, обогащенных и обедненных углеродом. В обедненных углеродом слоях содержится 0,5-5,0% углерода, а в обогащенных углеродом слоях - 6,0-12,0%. Обеспечивается повышенная износостойкость покрытий, что позволяет улучшить трибологические характеристики деталей двигателей. 2 н. и 1 з.п. ф-лы, 3 ил., 2 табл., 2 пр.

Изобретение относится к технологиям изготовления полупроводниковых приборов, в частности каталитически активных слоев, и может быть использовано для получения гетероструктур микро- и наноэлектроники, высокоэффективных катализаторов с развитой высокопористой поверхностью носителя, а также для получения новых наноматериалов. Предварительно формируют рабочую газовую среду, содержащую летучий металлокомплекс, образованный малыми 2-5-атомными молекулами-лигандами, осуществляют его перенос к поверхности, подлежащей металлизации, воздействие, приводящее к декомпозиции металлокомплекса, и осаждение металлического слоя. Формирование рабочей газовой среды, синтез металлокомплекса и металлизацию поверхности осуществляют в одном и том же объеме реактора. Для синтеза летучего металлокомплекса используют молекулы-лиганды, образующие с металлами аммиакаты, карбонильные комплексы и их гомологи или молекулы-лиганды, находящиеся в короткоживущем свободнорадикальном, ионизованном или возбужденном состоянии. В качестве дисперсной насыпки, используемой для синтеза металлокомплекса, используют медь, оксид меди или их смесь. Обеспечивается повышение эффективности и качества металлизации, производительности и воспроизводимости процесса металлизации, достижение возможности металлизации наноструктур и непрерывности процесса нанесения двух и более слоев разных материалов, а также расширение ассортимента используемых для металлизации материалов и получаемых металлизированных покрытий и ассортимента материалов, поверхность которых подлежит металлизации. 18 з.п. ф-лы, 3 ил.

Изобретение относится к области изготовления обтекателей антенн, устанавливаемых на фюзеляже летательных аппаратов. Осуществляют защиту на фланце молниеотвода мест под пайку, наносят защитное электропроводящее хромовое покрытие на поверхность алюминиевого фланца, противоположную той, которая соединяет обтекатель антенны с фюзеляжем летательного аппарата, путем термораспада металлоорганических соединений хрома в вакууме при давлении 10^-1-10 ^-2 мм рт.ст. и температуре 400-450°С. Затем удаляют защиту мест под пайку молниеотвода и наносят на эти места методом холодного напыления медное или латунное покрытие. Получается химически и биологически стойкое беспористое защитное покрытие.

Изобретение относится к защитным покрытиям на основе алюминия и может быть использовано в авиационной, машиностроительной, приборостроительной и автомобильной промышленности. На металлическое изделие наносят подслой чистого алюминия, полученный разложением триизобутилалюминия или диизобутилалюминийгидрида с добавкой диэтилферроцена в количестве 2-5 об.%. Затем наносят оксид алюминия путем пиролитического разложения паров кислородсодержащих органических соединений алюминия. Подслой из чистого алюминия и покрытие оксида алюминия наносят последовательно в одной реакционной камере. В качестве кислородсодержащих органических соединений алюминия используют сек-бутоксид алюминия или изопропилат алюминия. Пиролитическое разложение паров кислородсодержащих органических соединений алюминия осуществляют при температуре 240-280°С и давлении, не превышающем 50 Па. Получается покрытие, обеспечивающее защиту поверхности металлических изделий от коррозии и повышающее их ресурс и надежность. 3 з.п. ф-лы, 1 табл.

Изобретение относится к способам нанесения покрытий и может быть использовано при изготовлении печатных плат. Способ включает помещение подложки в реактор, нагревание подложки и транспортирование паров прекурсора в зону реактора. Процесс ведут до образования на подложке металлической пленки необходимой толщины. При этом подложку нагревают до температуры 50-70°С, в зону реакции подают пары прекурсора с температурой 25-50°С в смеси с водородом и подвергают подложку ультрафиолетовому облучению в диапазоне длин волн 126-172 нм. Причем поток водорода подают со скоростью 0,3-4,0 л/ч, а пары прекурсора с помощью транспортного газа аргона подают со скоростью 2-4 л/ч. Технический результат - упрощение способа, расширение его функциональных возможностей, повышение качества покрытия. 3 з.п. ф-лы.

Изобретение относится к нанотехнологии и металлоуглеродным наноструктурам, в частности к металлоуглеродным нанопокрытиям, стойким к окислению и коррозии. Способ получения металлоуглеродных нанопокрытий включает приготовление реакционной смеси, содержащей газообразное углеродсодержащее вещество, выбранное из группы, включающей недокись углерода С₃О₂, четыреххлористый углерод CCl₄, тетрахлорэтилен С₂Сl ₄, металлоорганическое вещество, выбранное из группы, включающей карбонил железа Fe(CO)₅, карбонил молибдена Мо(СО) ₆, карбонил хрома Сr(СО)₆, и инертный газ-разбавитель - аргон, воздействие на эту смесь УФ-излучением в однократном импульсном или частотном режиме с энергией 100 мДж при комнатной температуре с образованием на подложке из монокристаллического кремния при разложении реакционной смеси осажденного покрытия из металлической пленки, из металлических наночастиц и покрытой тонким слоем осажденного углеродного материала. Предложенный способ позволяет получить металлоуглеродное покрытие, стойкое к окислению и коррозии. 3 ил.

Изобретение относится к нанесению покрытий термическим разложением паров металлоорганических соединений. Может быть использовано для получения защитных покрытий на основе хрома на деталях из конструкционных и низколегированных сталей. Предложен способ получения хромокарбидных покрытий. Подложку размещают в реакторе и нагревают до 430-450°С. Испаритель нагревают до 320-340°С. Проводят осаждение покрытия разложением металлоорганического соединения “Бархос” в потоке инертного газа при скорости потока 0,010-0,013 л/мин. Давление в реакторе составляет 1,33×10 ² Па. Техническим результатом является повышение адгезии. 1 табл.

Изобретение относится к области радиоэлектроники и может быть использовано при изготовлении печатных плат, применяемых при конструировании радиоэлектронной техники. Предложенный способ включает нанесение диэлектрического оксидного покрытия на термостойкую пластину и получение методом фотолитографии рисунка электропроводящей схемы, причем после нанесения диэлектрического оксидного покрытия наносят металлическое покрытие с удельным сопротивлением 1 Ом·см толщиной 15-25 мкм, затем наносят защитное хорошо паяющееся металлорезистивное никелевое или кобальтовое покрытие толщиной 4-5 мкм, при этом в качестве диэлектрического оксидного покрытия используют оксидо-хромовое покрытие черного цвета толщиной не менее 8 мкм с удельным сопротивлением 1×10 ⁹ Ом·см. В частных случаях осуществления способа нанесение диэлектрического оксидного, затем металлического с удельным сопротивлением 1 Ом·см и защитного металлорезистивного хорошо паяющегося покрытий осуществляют на обе стороны термостойкой пластины и внутреннюю поверхность технологических отверстий; в качестве термостойкой пластины используют титановые или медные, или алюминиевые пластины; в качестве металлического покрытия с удельным сопротивлением 1 Ом·см осаждают медь или алюминий, или молибден. Техническим результатом изобретения является изготовление печатных плат с хорошо паяющейся элетропроводящей схемой, устойчивой к окислению, имеющей сопротивление 1 Ом·см. 3 з.п. ф-лы.