Химическое нанесение покрытия путем разложения газообразных соединений, причем продукты реакции материала поверхности не остаются в покрытии, т.е. способы химического осаждения паров (ХОП): .характеризуемые осаждением металлического материала – C23C 16/06

Изобретение относится к области машиностроения и может быть использовано в авиационном и энергетическом турбостроении. Осуществляют последовательное осаждение слоев хрома и алюминия с последующим высокотемпературным отжигом в вакууме при температуре 1050±5°С, остаточном давлении 1,3(10^-1-10 ^-3) Па в течение 2-5 часов. Осаждение из газовой фазы слоев хрома выполняют при термическом разложении гексакарбонила хрома Cr(СО)₆, а слоев алюминия - при термическом разложении триметилалюминия Al(СН₃)₃. При осаждении хрома гексакарбонил хрома Cr(CO)₆ нагревают до температуры 110-120°С, в зоне осаждения устанавливают температуру 400-450°С, слой хрома формируют в течение не менее 2-3 часов. При осаждении алюминия триметилалюминий Al(CH₃)₃ нагревают до температуры 100-110°С, в зоне осаждения устанавливают температуру 300-350°С, слой алюминия формируют в течение не менее 5-6 часов. Указанное устройство содержит реакционную камеру, установленную внутри вакуумной камеры и разделенную теплоизолирующей вакуумноплотной перегородкой на предварительную зону и зону осаждения, имеющие разные температурные поля. Нагреваемые контейнеры для размещения упомянутых источников материала покрытия установлены вне вакуумной камеры и соединены с помощью прогреваемых транспортных систем и прогреваемых клапанов с входом в предварительную зону реакционной камеры. Для создания температурного поля использованы нагревательная система и формирующие температурное поле экраны, размещенные в зоне осаждения реакционной камеры.Обеспечивается повышение качества покрытия в отношении прочности и сцепления с материалом турбинной лопатки при повышенных параметрах эксплуатации газотурбинного двигателя. 2 н.п. ф-лы, 1 ил., 1 табл.

Изобретение относится к устройствам для нанесения металлических покрытий на внутренние поверхности подшипников скольжения методом химического осаждения из газовой фазы металлоорганических соединений и может быть использовано в сельскохозяйственном машиностроении и автомобильной промышленности. Устройство содержит реактор с нагревателем и возможностью подвода вовнутрь него реакционной газовой среды и отвода продуктов реакции. Реактор образован двумя одинаковыми крышками, соединенными между собой с возможностью изменения между ними расстояния и последующей его фиксации и обращенными друг к другу, имеющими общую ось симметрии и выполненными с отверстием по оси симметрии для подвода вовнутрь реактора реакционной газовой среды в одной из них и отверстием по оси симметрии для отвода продуктов реакции в другой и выполненными с возможностью установки на внутренней поверхности каждой из них графитового разделительного кольца. На каждом разделительном кольце установлен подшипник скольжения с обеспечением их чередования и образованием их внутренними цилиндрическими поверхностями герметичной зоны металлизации. Оси симметрии каждого подшипника скольжения и каждого графитового разделительного кольца совпадают и расположены на оси симметрии крышек. Устройство позволяет снизить нерациональное расходование реагентов, повысить выход металла в покрытие и исключить нарастание гарнисажа на внутренней поверхности горячей зоны реактора. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.

Изобретение относится к радиотехнической, атомной и медицинской промышленности и может быть использовано для получения наполнителей современных композиционных защитных материалов, поглощающих электромагнитные и радиационные излучения. В реактор загружают порошок растворимого в воде химического соединения, имеющего температуру разложения выше температуры разложения легколетучего металлоорганического соединения, осуществляют продув порошка инертным газом и нагревают реактор до температуры термического разложения легколетучего металлоорганического соединения. Легколетучее металлоорганическое соединение подают в виде пара с помощью несущего инертного газа, обеспечивающего перемешивание порошка и образование металлической пленки на нагретых частицах порошка путем термического разложения легколетучего металлоорганического соединения. Затем проводят охлаждение реактора, измельчение частиц порошка, растворение в воде измельченных частиц порошка и отделение от воды декантированием металлического осадка. Получают полидисперсные металлические пленки в виде металлических микропластин толщиной 10 мкм, которые повторяют размеры и конфигурацию измельченных частиц порошка. Получаются полидисперсные пленки требуемой толщины. 1 табл., 1 пр.

Изобретение относится к износостойкому, в частности эрозионностойкому, защитному покрытию, предпочтительно для деталей газовых турбин. На защищаемой поверхности детали нанесено покрытие, состоящее из одной или нескольких повторно нанесенных на защищаемую поверхность детали многослойных систем. Каждая из однократно или повторно нанесенных многослойных систем состоит из по меньшей мере четырех разных слоев. Первый, ближайший к защищаемой поверхности, слой каждой многослойной системы выполнен из металлического материала, совместимого с составом защищаемой поверхности детали. Нанесенный на первый слой второй слой каждой многослойной системы выполнен из металлического сплава, который совместим с составом защищаемой поверхности детали. Нанесенный на второй слой третий слой каждой многослойной системы выполнен из керметного функционально-градиентного материала, обеспечивающего плавный переход между вторым слоем и четвертым слоем. Нанесенный на третий слой четвертый слой каждой многослойной системы выполнен из наноструктурированного керамического материала. Получают износостойкое эрозионно-стойкое защитное покрытие. 2 н. и 13 з.п. ф-лы, 4 ил.

Изобретение относится системе и способу химического осаждения из паров (ХОП) для нанесения на деталь реактивного двигателя алюминидного покрытия и может найти применение при изготовлении и ремонте реактивных двигателей. Выполняют покрытие, состоящее из двух или большего числа примесных металлических компонентов. Алюминидное покрытие способно образовывать защитный сложный оксид при последующем нагреве в окислительной среде. По меньшей мере, один из примесных металлов в алюминидном покрытии доставляют в виде отдельного парофазного реагента из контейнера, соединенного закрытым ходом с реакционной камерой системы ХОП и свободного от газа-носителя. Алюминидное покрытие образуют посредством химического объединения парофазного реагента с другим парофазным реагентом, образованным либо на месте в реакционной камере, либо поданным газом-носителем к реакционной камере от источника исходного вещества. В результате получают качественное покрытие.2 н. и 35 з.п. ф-лы, 3 ил.

Изобретение относится к титановому изделию с повышенной коррозионной стойкостью. Титановое изделие содержит титановую подложку, имеющую аппликацию из металла платиновой группы или из сплава металла платиновой группы, непосредственно нанесенную на незначительную часть поверхности подложки. Аппликация может быть нанесена сваркой, металлизацией или осаждением из паров. Аппликация из металла платиновой группы занимает менее 1%, исключая 0, площади защищаемой поверхности, а из сплава металла платиновой группы - любую незначительную площадь поверхности, что обеспечивает более высокую коррозионную стойкость указанного изделия, чем в случае отсутствия указанной аппликации. Повышают коррозионную стойкость изделий из титана, используемых в агрессивных коррозионных условиях. 4 н. и 16 з.п. ф-лы, 4 табл.

Изобретение относится к металлическим покрытиям, нанесенным путем химико-термического осаждения из паровой фазы, а также к продуктам и способам. Проводят транспортировку металлсодержащего предшественника в транспортной среде через камеру к основе при температуре в транспортном объеме меньшей температуры разложения металлсодержащего предшественника. Осаждение металлического слоя на основу проводят путем разложения на основе металлсодержащего предшественника. Температура у основы выше температуры разложения металлсодержащего предшественника. Температуру основы и температуру металлсодержащего предшественника в транспортном объеме измеряют напрямую. Скорость осаждения и качество указанного металлического слоя на указанной основе контролируют путем регулирования указанной температуры основы и температуры металлсодержащего предшественника в транспортном объеме при использовании транспортных сред, которые насыщены предшественником. Температуру регулируют между транспортными средами и основой и при поддержании для транспортных сред условий по меньшей мере близких к насыщению, при этом улучшается качество тонкой пленки из осажденного металла, а образование побочного продукта - металлической пыли - сильно снижено. 5 н. и 39 з.п. ф-лы, 2 табл., 10 ил.

Изобретения относятся к металлическим покрытиям и способам их нанесения и могут быть использованы при изготовлении газотурбинных двигателей, работающих в условиях высоких температур. Металлическое покрытие содержит до 18 мас.% кобальта, от 3,0 до 18 мас.% хрома, от 5,0 до 15 мас.% алюминия, от 0,1 до 1,0 мас.% иттрия, до 0,6 мас.% гафния, до 0,3 мас.% кремния, от 3,0 до 10 мас.% тантала, до 9,0 мас.% вольфрама, от 1,0 до 6,0 мас.% рения, до 10 мас.% молибдена, а остальное составляет никель. Способ его нанесения характеризуется тем, что сначала создают подложку из по крайней мере одного из металлических материалов на основе никеля, кобальта или железа, а затем наносят покрывочный слой. Изобретения позволяют получать покрытия с высокой стойкостью к окислению и усталостной прочностью. 8 с. и 25 з.п. ф-лы, 1 табл.

Изобретение относится к области материалов для микроэлектроники. Изготавливают пленку, содержащую в качестве основных элементов С, Si, О, Н, легированную молибденом, пропускают через пленку переменный ток в виде серии импульсов, подвергают пленку электротермовоздействию с использованием различных внешних источников питания на различных участках снимаемой в процессе тренировки N-образной вольтамперной характеристики и с периодическим отключением тока после каждого установленного значения амплитуды тока, обеспечивая охлаждение пленки до температуры ниже 400°С. Полученная пленка имеет термостабильную микроструктуру, высокую механическую прочность, а способ обеспечивает низкий процент брака. 4 з.п. ф-лы, 6 ил.