Химическое нанесение покрытия путем разложения газообразных соединений, причем продукты реакции материала поверхности не остаются в покрытии, т.е. способы химического осаждения паров (ХОП): .нанесение покрытия на выбранные участки поверхности, например с использованием масок – C23C 16/04

Группа изобретений относится к нанесению покрытий. Устройство для осаждения латерально структурированных слоев на субстрат посредством теневой маски, поверхностно наложенной на предназначенную для нанесения покрытия поверхность субстрата, включает держатель субстрата. Держатель субстрата имеет первые магнитные зоны, предназначенные для магнитного притяжения соответствующих этим первым магнитным зонам вторых магнитных зон теневой маски. Первые магнитные зоны выполнены с возможностью приведения в активное положение с притяжением вторых магнитных зон к поверхности субстрата и с возможностью приведения в неактивное положение для наложения или снятия теневой маски. Причем первые магнитные зоны образованы расположенными в выемках контактной поверхности держателя субстрата, в частности постоянными магнитными элементами, которые по месторасположению соответствуют вторым магнитным зонам. Теневая маска включает расположенные в виде сетки перемычки из магнитного материала, контактная поверхность которых переходит в вогнутую или наклонную боковую поверхность перемычек. Обеспечивается наложение маски на поверхность субстрата без зазоров. 3 н. и 9 з.п. ф-лы, 15 ил.

Изобретение относится к микроканальным реакторам и катализаторам, содержащим слой металлического алюминида, изготовление которых связано с процессом формирования промежуточного слоя алюминидного металла. Микроканальный реактор состоит из сложного микроканала, ограниченного, по крайней мере, одной микроканальной стенкой, и покрытия из алюминида, нанесенного на поверхность, по крайней мере, одной микроканальной стенки, при этом сложный микроканал представляет собой внутренний микроканал, отличается следующими одной или более характеристиками: по крайней мере, один непрерывный микроканал, выполненный с поворотным участком на угол, по крайней мере, 45°, длиной 20 см или более и высотой и шириной, равной 2 мм или менее; по крайней мере, один микроканал разделен на, по крайней мере, два суб-микроканала, расположенных параллельно; сложный микроканал является одним из, по крайней мере, двух смежных микроканалов, имеющих длину общего смежного участка, по крайней мере, 1 см, на котором имеется несколько соединительных отверстий на общей микроканальной стенке, при этом совокупная площадь отверстий не превышает 20% от площади микроканальной стенки, на которой эти отверстия находятся, а площадь каждого отверстия не превышает 1,0 мм²; сложный микроканал представляет собой один из, по крайней мере, пяти параллельных микроканалов, имеющих длину, по крайней мере, 1 см, своими открытыми концами они соединяются с общим коллектором и, по крайней мере, один размер этого коллектора не более чем в три раза превышает минимальную длину и высоту параллельных микроканалов. Изобретение обеспечивает точный контроль химических процессов в сложных микроканалах, обеспечивает устойчивый режим работы даже при условии высоких температур активных частиц. Слой алюминида обеспечивает химическую стабильность. Кроме того, алюминид увеличивается в процессе диффузии металла из стенок реактора, образуя целостное и однородное покрытие всех внутренних поверхностей даже в сложных по своей форме каналах. 5 н. и 12 з.п. ф-лы, 1 табл., 14 ил.

Изобретение относится к устройству плазмохимического осаждения из паровой фазы намоточного типа для образования слоя покрытия на пленке. Пленка (22) поддерживается между парой подвижных барабанов, расположенных на стороне входа и стороне выхода участка осаждения (25) по отношению к направлению перемещения пленки (22). Затем пленку (22) заставляют перемещаться линейно в место осаждения. Расстояние между решеткой для распыления (37) и пленкой (22) сохраняется постоянным, и качество слоя получается гомогенным. Пленку нагревают с помощью металлической ленты (40), одновременно перемещающейся на обратной стороне пленки. Подвижные барабаны поднимаются из положения осаждения в положение самоочистки, и пленка (22) может быть отделена от решетки для распыления (37). Самоочистка может быть проведена на пути осаждения на пленку, закрывая щель маски (51) заслонкой (65) и, таким образом, предотвращая рассеяние очищающего газа. Изобретение позволяет получить высокое качество слоя за счет подачи реакционного газа равномерно к площади осаждения пленки, и можно выполнять процесс самоочистки участка осаждения на пути осаждения на пленку. 18 з.п. ф-лы, 7 ил.

Изобретение относится к устройствам для уплотнения пористых кольцевых подложек путем химической газовой пропитки, в частности к печи и подогревателю. Печь химической газовой пропитки для уплотнения кольцевых пористых подложек, устанавливаемых в виде множества вертикальных кольцевых стопок, содержит токоприемник, имеющий внутреннюю боковую стенку, ограничивающую зону подогрева газа и реакционную камеру внутри печи, и донную стенку, а также, по меньшей мере, одно сквозное отверстие для ввода газа через донную стенку токоприемника и подогреватель газа. Подогреватель содержит кольцо из теплопроводного материала, опирающееся на донную стенку токоприемника и ограничивающее камеру подогрева газа, с отверстием для ввода газа в камеру подогрева газа, теплообменник, расположенный в камере подогрева газа, опирающуюся на кольцо газораспределительную плиту, закрывающую сверху камеру подогрева газа со множеством отверстий для подогретого газа, грузовую плиту, несущую стопки кольцевых подложек, со множеством отверстий, сообщающихся с соответствующими отверстиями газораспределительной плиты и согласованных по положению с внутренними объемами соответствующих стопок кольцевых подложек. Подогреватель содержит также сопла, установленные в каналах, служащих для установления сообщения между зоной подогрева газа и внутренними объемами соответствующих стопок кольцевых подложек, и предназначенные для регулирования потоков подогретого газа, поступающих в эти внутренние объемы. 6 н. и 12 з.п. ф-лы, 8 ил.

Изобретение относится к созданию самозатачивающихся ножей и других режущих инструментов, имеющих лезвия, снабженные твердым покрытием. Инструмент имеет режущую кромку из материала, на одну сторону которой нанесено покрытие. Покрытие тверже, чем материал режущей кромки и имеет слоистую или ламинарную микроструктуру, идущую параллельно покрытой стороне режущей кромки. Предложен также способ изготовления данного инструмента. Данный инструмент и способ его изготовления улучшают конструкцию режущего лезвия, чтобы облегчить процесс резания, в частности при резке мягких материалов, которые могут быть легко повреждены за счет разрыва, при этом поддерживаются характеристики износостойкости кромки лезвия. 2 н. и 34 з.п. ф-лы, 1 ил., 1 табл.

Изобретение относится к процессу, например химической инфильтрации или химического осаждения из паровой фазы или цементации, осуществляемому в печи. Предложен способ мониторинга хода процесса, осуществляемого в печи и использующего газ-реагент, содержащий, по меньшей мере, один газообразный углеводород. Способ включает настройку рабочих параметров печи, введение в печь газа-реагента, содержащего, по меньшей мере, один газообразный углеводород, и выведение из печи отходящих газов, содержащих побочные продукты реакции газа-реагента. Отходящие газы подвергают промывке маслом, абсорбирующим смолы, содержащиеся в отходящих газах, а из измерения количества смол, абсорбированных маслом, получают информацию о ходе процесса. По полученной информации возможно изменение рабочих параметров печи, таких как температура, давление в печи, расход газа-реагента и состав газа-реагента. Изобретение направлено на создание способа мониторинга хода процесса, осуществляемого в печи, без необходимости использования особого устройства инфильтрационной печи. 4 н. и 10 з.п. ф-лы, 1 ил.