Способы, специально предназначенные для изготовления изделий из кварца или плавленого кремнезема – C03B 20/00

Изобретение относится к технологии изготовления детали из искусственного кварца для применения в качестве оптического элемента для ArF-литографии, подлежащего облучению лазерным светом, имеющим длину волны 200 нм или короче. Деталь из искусственного кварца выращена гидротермальным синтезом и содержит алюминий в количестве 200 частей на миллиард (ppb) или менее и натрий в количестве 100 ppb или менее. Технический результат изобретения заключается в создании детали из искусственного кварца с подавленной способностью претерпевать снижение пропускания в области длин волн лазерного света, которое вызывается длительным облучением лазерным светом, имеющим длину волны 200 нм или короче, таким как ArF-эксимерный лазерный свет. 3 н. и 4 з.п. ф-лы, 3 ил., 1 табл.

Изобретение относится к устройству для напыления диоксида кремния при изготовлении тиглей из особо чистого кварцевого стекла с малым содержанием микропримесей. Технический результат предлагаемого изобретения является увеличение количества осажденного на подложке синтезированного диоксида кремния с получением равномерной плотности напыленного тигля по его объему, уменьшение примесей в последнем. Реактор преимущественно для напыления диоксида кремния при изготовлении тиглей из особо чистого кварцевого стекла с малым содержанием микропримесей путем высокотемпературного гидролиза тетрахлорида кремния в присутствии мономолекулярной воды в пламени, содержащий корпус с камерой напыления, отходящий от него аэродинамический канал отсоса продуктов парофазного гидролиза тетрахлорида кремния в пламени, шток с приводом ее вращения, на котором установлена оправка, и горелку для напыления диоксида кремния. На оправку устанавлена графитовая подложка, а шток выполнен в виде цилиндрической обечайки с диаметром, не превышающим диаметр подложки. Оправка для установки графитовой подложки имеет вид полой каплеобразной емкости, оболочка которой состоит из теплопроводного материала, расположенной соосно продольной оси штока, причем внутри емкости установлен трубопровод с возможностью подачи охлаждающей жидкости под давлением. 2 ил.

Изобретение относится к металлургической технике и предназначено для использования при изготовлении тиглей путем высокотемпературного гидролиза тетрахлорида кремния. Технический результат изобретения заключается в увеличении количества осажденного на подложке синтезированного диоксида кремния с получением равномерной плотности напыленного тигля по его объему и уменьшении примесей. На поверхность вращающейся графитовой подложки в форме тигля осуществляют напыление диоксида кремния, получаемого пирогидролитическим разложением тетрахлорида кремния в присутствии мономолекулярной воды в пламени. Для формирования ламинарного пограничного слоя пламени после соприкосновения с напыляемой поверхностью траекторию движения продуктов сгорания при напылении корпуса тигля направляют через аэродинамический канал реактора. Канал реактора выполнен в виде продольной щели с одинаковым секционным разделением перегородками по высоте аэродинамического канала, причем при напылении днища тигля проходное сечение верхних секций аэродинамического канала перекрывают. 2 ил.

Изобретение относится к металлургической технике и предназначено для использования в качестве устройства при изготовлении тигля из кварцевого стекла. Техническим результатом изобретения является уменьшение примесей и получение равномерной плотности напыленного тигля. Горелка для напыления диоксида кремния при изготовлении тигля из особо чистого кварцевого стекла с малым содержанием микропримесей путем высокотемпературного гидролиза тетрахлорида кремния в присутствии мономолекулярной воды в пламени содержит корпус с каналами подачи тетрахлорида кремния, горючего газа, кислорода, причем канал подачи тетрахлорида кремния расположен в центре, а остальные - вокруг него. Корпус горелки снабжен, с плотным прилеганием, многослойно-секционным цилиндрическим диффузором с диаметром, превышающим диаметр напыленного тигля на его толщину. Причем контур выходной части диффузора выполнен таким образом, что охватывает напыленный тигль до оси штока, а внутренний слой диффузора выполнен из жаропрочного, теплопроводного материала. 2 ил.

Предложение относится к термообработке кварцсодержащих материалов, получению изделий из них и может быть использовано в стекольной промышленности, кварцевом производстве при наплаве тиглей большого диаметра. Наплав тиглей осуществляется с помощью привязанной электрической дуги между двумя электродами, путем перемещения электродов относительно друг друга и каждого из них к обрабатываемой поверхности. Процесс наплава привязанной дугой производят от источника питания с крутопадающей внешней характеристикой. Перемещение электродов относительно друг друга и относительно каждого из них к обрабатываемой поверхности изделия осуществляют в момент достижения определенной концентрации продуктов диссоциации кварцсодержащего сырья, достаточной для инициирования привязанной дуги. Расстояние между электродами и обрабатываемой поверхностью в момент привязки дуги относится к расстоянию между крайними обрабатываемыми точками поверхности в соответствии с соотношением:

где l - расстояние между концами электродов и обрабатываемой поверхностью,

D - расстояние между крайними обрабатываемыми точками. 3 ил.

Изобретение относится к производству чистого кварцевого стекла, используемого в оптике, электронике, солнечной энергетике и химии получения чистых и сверхчистых веществ. Установка для непрерывного получения кристобалита включает рабочую камеру 1 и систему нагревателей 4. Внутри рабочей камеры вертикально расположен тигель 2, выполненный в виде усеченного конуса. Нагреватели 4 выполнены в виде стержней из вольфрама и расположены внутри рабочей камеры 1. Внутри тигля 2 установлены вертикальные трубки 5 для удаления газовых продуктов и газово-жидких включений, которые объединены общим коллектором 14, выход которого установлен в скруббере 6, заполненном раствором солей. В верхней части рабочей камеры установлен бункер 17 для загрузки шихты, а нижняя часть тигля 2 соединена с приемным бункером 16 готового продукта. Результат изобретения: получение конечного продукта высокой чистоты, обеспечение стабильности и надежности процесса в длительном цикле. 5 з.п. ф-лы, 1 ил., 2 табл.