устройство для измерения давления в трубопроводах, выполненных из ферромагнитного материала

Классы МПК:G01L9/00 Измерение постоянного или медленно меняющегося давления газообразных и жидких веществ или сыпучих материалов с помощью электрических или магнитных элементов, чувствительных к механическому давлению; передача и индикация перемещений элементов, чувствительных к механическому воздействию, используемых для измерения давления с помощью электрических или магнитных средств
Автор(ы):, ,
Патентообладатель(и):Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им. Н.Л. Духова" (ФГУП "ВНИИА") (RU)
Приоритеты:
подача заявки:
2012-03-16
публикация патента:

Изобретение относится к области контрольно-измерительной техники и может быть использовано для измерения давления газообразных и жидких сред в трубопроводах, выполненных из ферромагнитного материала, в частности из стали. Техническим результатом является повышение помехоустойчивости измерений давления в трубопроводах, выполненных из ферромагнитного материала. Устройство для измерения давления в трубопроводах, выполненных из ферромагнитного материала, содержит разомкнутый магнитный сердечник из материала с магнитной проницаемостью, обмотку возбуждения, две измерительные обмотки, соединенные последовательно и согласно между собой, являющиеся элементами магнитоупругого преобразователя давления, и источник питания. Устройство также содержит второй магнитоупругий преобразователь давления, состоящий из второго разомкнутого магнитного сердечника, второй обмотки возбуждения, второй пары измерительных обмоток, соединенных последовательно и согласно между собой, и второй источник питания. При этом устройство содержит симметрирующий трансформатор, содержащий входную, выходную и дополнительную обмотки, узкополосный фильтр, усилитель, детектор и источник компенсации начального уровня выходного сигнала. 1 ил. устройство для измерения давления в трубопроводах, выполненных   из ферромагнитного материала, патент № 2490611

устройство для измерения давления в трубопроводах, выполненных   из ферромагнитного материала, патент № 2490611

Формула изобретения

Устройство для измерения давления в трубопроводах, выполненных из ферромагнитного материала, содержащее разомкнутый магнитный сердечник из материала с магнитной проницаемостью, многократно превышающей магнитную проницаемость материала трубопровода, обмотку возбуждения, две измерительные обмотки, соединенные последовательно и согласно между собой, являющиеся элементами магнитоупругого преобразователя давления, причем полюса разомкнутого магнитного сердечника расположены в вершинах равнобедренного прямоугольного треугольника, а также источник питания, замкнутый на обмотку возбуждения, отличающееся тем, что содержит второй магнитоупругий преобразователь давления, состоящий из второго разомкнутого магнитного сердечника, второй обмотки возбуждения, второй пары измерительных обмоток, соединенных последовательно и согласно между собой, причем расстояние между полюсами разомкнутого магнитного сердечника второго магнитоупругого преобразователя давления не равно расстоянию между полюсами разомкнутого магнитного сердечника первого магнитоупругого преобразователя давления, и второй источник питания, замкнутый на вторую обмотку возбуждения, а также симметрирующий трансформатор, содержащий входную, выходную и дополнительную обмотки, узкополосный фильтр, усилитель, детектор и источник компенсации начального уровня выходного сигнала, причем измерительные обмотки первого и второго магнитоупругих преобразователей давления дифференциально подключены к входной обмотке симметрирующего трансформатора, к дополнительной обмотке симметрирующего трансформатора подключен источник компенсации начального уровня выходного сигнала, а выходная обмотка симметрирующего трансформатора соединена с узкополосным фильтром, который, в свою очередь, соединен с последовательно включенными усилителем и детектором.

Описание изобретения к патенту

Изобретение относится к области контрольно-измерительной техники и может быть использовано для измерения давления газообразных и жидких сред в трубопроводах, выполненных из ферромагнитного материала, в частности из стали.

Известны различные устройства для измерения давления, которые по способу преобразования подразделяются на две основные группы. К первой группе относятся те устройства, в которых давление среды воспринимается механическими упругими элементами, например, мембранами. Ко второй - устройства, в которых в зависимости от давления, приложенного к чувствительному элементу, изменяются его физические свойства, например, электрические или магнитные. Устройства второй группы считаются более надежными из-за отсутствия в их составе движущихся частей. Из устройств второй группы наибольшее применение нашли устройства с магнитоупругими чувствительными элементами, по совокупности характеристик обладающие большей универсальностью в сравнении с пьезоэлектрическими, ионизационными, электронными и термоэлектрическими преобразователями.

Известен магнитоупругий датчик давления [1] с анизотропным магнитным сердечником, заключенным в металлический корпус, имеющий две группы обмоток - намагничивающую и измерительную, расположенные под углом 90° по отношению друг к другу, который для достижения требуемых точности и линейности показаний снабжен регулируемым клиновым механизмом. Его недостатком является сложность изготовления магнитного сердечника и клинового механизма, а также неудобство в эксплуатации.

Известен также магнитоупругий преобразователь давления [2], который по отношению к [1] обладает тем преимуществом, что использует обычный магнитопровод с изотропной структурой сердечника, а для обеспечения чувствительности к измеряемому давлению анизотропность преобразователя создается схемотехнически - применением дополнительной обмотки, нагруженной на резистор. Однако данный преобразователь для своего функционирования требует непосредственного контакта со средой, в которой измеряется давление.

Существует способ измерения давления жидкостной среды [3], при котором магнитоупругий преобразователь давления имеет принципиальную конструктивную анизотропию, заключающуюся в том, что давление жидкостной среды воздействует только на часть магнитопровода преобразователя, которая одновременно отделяет измеряемую среду от остальной части его конструкции. Недостатком данного способа является использование специальной трубы в качестве чувствительного к давлению участка магнитопровода, заполняемой средой и магнитоупругой жидкостью.

Наиболее близким по своей технической сущности устройством (прототипом) является устройство, основанное на способе измерения давления в трубопроводах, выполненных из ферромагнитного материала [4], содержащее разомкнутый магнитный сердечник, обмотку возбуждения, две измерительные обмотки, являющиеся элементами магнитоупругого преобразователя давления, причем полюса разомкнутого магнитного сердечника создают магнитный поток по двум взаимноперпендикулярным направлениям на участках трубопровода равной длины, а также источник возбуждения. Разомкнутый магнитопровод представляет собой трехмерную конструкцию выполненную из двух одинаковых П-образных сердечников, образующих вместе трехполюсную магнитную систему, проекция полюсов которой на плоскость дает три точки, являющиеся вершинами равнобедренного прямоугольного треугольника. При этом трубопровод замыкает указанный разомкнутый сердечник магнитоупругого преобразователя. Давление P по этому способу связано с параметрами трубопровода соотношением

устройство для измерения давления в трубопроводах, выполненных   из ферромагнитного материала, патент № 2490611

где h - толщина стенки трубопровода;

D - диаметр трубопровода;

Sк - магнитоупругая чувствительность материала трубопровода;

Rб - магнитное сопротивление участков трубопровода при измеряемом давлении;

Rнач - начальное магнитное сопротивление участков трубопровода.

Недостатком прототипа является его слабая помехоустойчивость, поскольку в реальных условиях эксплуатации работоспособность устройства нарушается из-за наличия вибраций трубопровода, вызванных неламинарностью потока измеряемой среды. Вибрации трубопровода лежат в широком диапазоне частот от единиц герц до сотен килогерц и, модулируя магнитный поток в магнитоупругом преобразователе устройства, создают на выходе устройства помехи, соизмеримые по величине с полезным сигналом.

Техническим результатом является повышение помехоустойчивости измерений давления в трубопроводах, выполненных из ферромагнитного материала.

Технический результат достигается тем, что устройство для измерения давления в трубопроводах, выполненных из ферромагнитного материала, содержащее разомкнутый магнитный сердечник из материала с магнитной проницаемостью, многократно превышающей магнитную проницаемость материала трубопровода, обмотку возбуждения, две измерительные обмотки, соединенные последовательно и согласно между собой, являющиеся элементами магнитоупругого преобразователя давления, причем полюса разомкнутого магнитного сердечника расположены в вершинах равнобедренного прямоугольного треугольника, а также источник питания, замкнутый на обмотку возбуждения, содержит второй магнитоупругий преобразователь давления, состоящий из второго разомкнутого магнитного сердечника, второй обмотки возбуждения, второй пары измерительных обмоток, соединенных последовательно и согласно между собой, причем расстояние между полюсами разомкнутого магнитного сердечника второго магнитоупругого преобразователя давления не равно расстоянию между полюсами разомкнутого магнитного сердечника первого магнитоупругого преобразователя давления, и второй источник питания, замкнутый на вторую обмотку возбуждения, а также симметрирующий трансформатор, содержащий входную, выходную и дополнительную обмотки, узкополосный фильтр, усилитель, детектор и источник компенсации начального уровня выходного сигнала, причем измерительные обмотки первого и второго магнитоупругих преобразователей давления дифференциально подключены к входной обмотке симметрирующего трансформатора, к дополнительной обмотке симметрирующего трансформатора подключен источник компенсации начального уровня выходного сигнала, а выходная обмотка симметрирующего трансформатора соединена с узкополосным фильтром, который в свою очередь соединен с последовательно включенными усилителем и детектором.

В результате с помощью симметрирования двух магнитоупругих преобразователей, выделения разностного сигнала на симметрирующем трансформаторе и создания канала фильтрации, усиления и детектирования разностного сигнала удается подавить как помехи, обусловленные вибрациями трубопровода, так и помехи, присущие индустриальной электромагнитной обстановке.

На чертеже приведена принципиальная схема устройства.

На чертеже приняты следующие обозначения:

1 - первый магнитоупругий преобразователь давления;

2 - второй магнитоупругий преобразователь давления;

3 - обмотки возбуждения;

4 - измерительные обмотки;

5 - источники возбуждения;

6 - симметрирующий трансформатор;

7 - источник компенсации начального уровня выходного сигнала;

8 - узкополосный фильтр;

9 - усилитель;

10 - детектор.

Устройство для измерения давления в трубопроводах, выполненных из ферромагнитного материала, содержит первый и второй магнитоупругие преобразователи давления 1 и 2 соответственно, выполненные на основе разомкнутых магнитных сердечников из материала с магнитной проницаемостью, многократно превышающей магнитную проницаемость материала трубопровода, с полюсами, создающими магнитный поток во взаимно перпендикулярных направлениях на участках трубопровода равной длины, в состав каждого из которых входят обмотка возбуждения 3, две измерительные обмотки 4, соединенные последовательно и согласно между собой, источники возбуждения 5, каждый из которых замкнут на соответствующую обмотку возбуждения 3 магнитоупругих преобразователей давления 1 и 2, а также симметрирующий трансформатор 6, к входной обмотке которого дифференциально подключены измерительные обмотки 4 магнитоупругих преобразователей давления 1 и 2, выходная обмотка симметрирующего трансформатора 6 соединена с узкополосным фильтром 8, который в свою очередь соединен с последовательно включенными усилителем 9 и детектором 10, а дополнительная обмотка симметрирующего трансформатора 6 подключена к источнику компенсации начального уровня выходного сигнала 7.

Устройство работает следующим образом.

При подаче переменного напряжения от источников возбуждения 5 на обмотки возбуждения 3 магнитоупругие преобразователь давления 1 и 2 приходят в активное состояние. В результате на выходе преобразователей 1 и 2 появляются напряжения, снимаемые с последовательно и согласно включенных измерительных обмоток 4. Эти два напряжения в противофазе подаются на вход симметрирующего трансформатора 6, где вычитаются друг из друга так, что на выходе симметрирующего трансформатора 6 появляется напряжение, пропорциональное разности расстояний между полюсами магнитопроводов преобразователей 1 и 2 или иначе разности магнитных сопротивлений участков магнитопровода, заключенных между указанными полюсами и в свою очередь пропорциональных давлению измеряемой среды внутри трубопровода. Магнитные сопротивления разомкнутых участков магнитопровода из состава магнитоупругих преобразователей 1 и 2 в силу высокой магнитной проницаемости материала, из которого они изготовлены, практически, в сравнении с участками трубопровода не оказывают влияния на выходное напряжение симметрирующего трансформатора 6. В то же время, влияние на это напряжение магнитного сопротивления переходных контактов между разомкнутыми магнитопроводами преобразователей 1 и 2 и трубопроводом, являющемся при наличии вибраций источником прямых магнитных помех, вследствие идентичности исполнения указанных полюсов полностью взаимно компенсируется противофазным подключением напряжений с магнитоупругих преобразователей 1 и 2 на входе симметрирующего трансформатора 6. Далее, разностный сигнал, сформированный на выходе симметрирующего трансформатора 6 и зависящий от давления измеряемой среды, подается на узкополосный фильтр 8, который выделяет несущую частоту, соответствующую частоте источников возбуждения 5, и отстраивает тем самым полезный сигнал от электромагнитных помех, присущих индустриальному оборудованию. После фильтра 8 сигнал усиливается усилителем 9 и детектируется детектором 10, выделяющим его огибающую, форма которой зависит от поведения величины давления во времени. Для обнуления начального уровня выходного сигнала устройства, соответствующего отсутствию давления в трубопроводе, предусмотрен источник 7, работающий на той же частоте, что и источники 5, и подключенный к дополнительной обмотке симметрирующего трансформатора 6, магнитный поток которой компенсирует начальный магнитный поток входной обмотки симметрирующего трансформатора 6.

Количественная оценка полученного технического результата может быть проведена следующим образом.

Напряжение, снимаемое с последовательно и согласно включенных измерительных обмоток первого и второго магнитоупругих преобразователей U1 и U2 равны

устройство для измерения давления в трубопроводах, выполненных   из ферромагнитного материала, патент № 2490611

устройство для измерения давления в трубопроводах, выполненных   из ферромагнитного материала, патент № 2490611

где устройство для измерения давления в трубопроводах, выполненных   из ферромагнитного материала, патент № 2490611 1, устройство для измерения давления в трубопроводах, выполненных   из ферромагнитного материала, патент № 2490611 2 - потокосцепление измерительных обмоток в первом и втором магнитоупругих преобразователях, соответственно;

Ф1, Ф2 - магнитные потоки в магнитопроводах первого и второго магнитоупругих преобразователей соответственно;

wu1, wu2 - суммарное количество витков измерительных обмоток первого и второго магнитоупругих преобразователей соответственно.

Выражая магнитные потоки через магнитодвижущие силы, действующие в магнитопроводах магнитоупругих преобразователей, и магнитные сопротивления магнитопроводов Rм1 и R м2

устройство для измерения давления в трубопроводах, выполненных   из ферромагнитного материала, патент № 2490611 устройство для измерения давления в трубопроводах, выполненных   из ферромагнитного материала, патент № 2490611

где ib1, ib2 - токи в цепях возбуждения первого и второго магнитоупругих преобразователей соответственно;

wb1, wb2 - числа витков в обмотках возбуждения первого и второго магнитоупругих преобразователей соответственно;

и в силу аналогичности первого и второго магнитоупругих преобразователей, принимая w u1=wu2=wu, wb1=wb2 =wb,

а также при необходимо одинаковом возбуждении этих преобразователей, считая

i b1=ib2=ib,

получаем

устройство для измерения давления в трубопроводах, выполненных   из ферромагнитного материала, патент № 2490611 устройство для измерения давления в трубопроводах, выполненных   из ферромагнитного материала, патент № 2490611

В итоге разность этих напряжений устройство для измерения давления в трубопроводах, выполненных   из ферромагнитного материала, патент № 2490611 U, выделяемая на входной обмотке симметрирующего трансформатора, представляется в виде

устройство для измерения давления в трубопроводах, выполненных   из ферромагнитного материала, патент № 2490611

Магнитные сопротивления магнитопроводов первого и второго магнитоупругих преобразователей Rм1 и Rм2 состоят из магнитных сопротивлений трех значимых участков

устройство для измерения давления в трубопроводах, выполненных   из ферромагнитного материала, патент № 2490611

устройство для измерения давления в трубопроводах, выполненных   из ферромагнитного материала, патент № 2490611

где устройство для измерения давления в трубопроводах, выполненных   из ферромагнитного материала, патент № 2490611 устройство для измерения давления в трубопроводах, выполненных   из ферромагнитного материала, патент № 2490611 - магнитные сопротивления разомкнутых магнитных сердечников преобразователей;

устройство для измерения давления в трубопроводах, выполненных   из ферромагнитного материала, патент № 2490611 устройство для измерения давления в трубопроводах, выполненных   из ферромагнитного материала, патент № 2490611 - магнитные сопротивления участков трубопровода, охватываемых преобразователями;

устройство для измерения давления в трубопроводах, выполненных   из ферромагнитного материала, патент № 2490611 устройство для измерения давления в трубопроводах, выполненных   из ферромагнитного материала, патент № 2490611 - магнитные сопротивления контактов между полюсами разомкнутых магнитных сердечников преобразователей и трубопроводом.

Магнитное сопротивление участка магнитопровода определяется его физическими параметрами по соотношению

устройство для измерения давления в трубопроводах, выполненных   из ферромагнитного материала, патент № 2490611

где l и S - длина и площадь поперечного сечения участка магнитопровода соответственно;

µ - магнитная проницаемость материала участка магнитопровода.

Для заявляемого устройства µсер>>µ труб, например, сердечник изготавливается из специального аморфного железа, а трубопровод - из стали, поэтому при примерно одинаковой длине и площади участков разомкнутого сердечника и трубопровода, по которым замыкается магнитный поток, можно записать

устройство для измерения давления в трубопроводах, выполненных   из ферромагнитного материала, патент № 2490611

устройство для измерения давления в трубопроводах, выполненных   из ферромагнитного материала, патент № 2490611

С учетом того, что в заявляемом устройстве магнитные контакты в обоих преобразователях идентичны друг другу, справедлива также запись

устройство для измерения давления в трубопроводах, выполненных   из ферромагнитного материала, патент № 2490611

устройство для измерения давления в трубопроводах, выполненных   из ферромагнитного материала, патент № 2490611

после чего видно, что магнитные сопротивления магнитопроводов первого и второго магнитоупругих преобразователей различаются только магнитными сопротивлениями соответствующих участков трубопровода. Первое слагаемое в Rм1 и R м2 зависит от давления P внутри трубопровода, а второе - от амплитуды Авиб и частоты fвиб вибраций трубопровода.

Из [4] следует, что зависимости Rм1 и Rм2 от давления Р одинаковы с точностью до сомножителя

устройство для измерения давления в трубопроводах, выполненных   из ферромагнитного материала, патент № 2490611

устройство для измерения давления в трубопроводах, выполненных   из ферромагнитного материала, патент № 2490611

где сомножители устройство для измерения давления в трубопроводах, выполненных   из ферромагнитного материала, патент № 2490611 устройство для измерения давления в трубопроводах, выполненных   из ферромагнитного материала, патент № 2490611 есть начальные значения магнитных сопротивлений участков трубопровода для первого и второго магнитоупругих преобразователей, соответствующих нулевому давлению, а l1 и l2 - длины этих участков трубопровода, определяемые расстояниями между соответствующими полюсами разомкнутых магнитных сердечников каждого из преобразователей.

В результате магнитные сопротивления Rм1 и Rм2 функционально представляются в виде

устройство для измерения давления в трубопроводах, выполненных   из ферромагнитного материала, патент № 2490611

с равными (до некоторой конструктивной неточности) вторыми слагаемыми.

Для дальнейшего анализа сравним по величине между собой слагаемые в выражениях (2). С этой целью возьмем соотношение

устройство для измерения давления в трубопроводах, выполненных   из ферромагнитного материала, патент № 2490611

где dmax - максимальная величина зазора между контактной площадкой полюса разомкнутого магнитного сердечника и поверхностью трубопровода, определяемая шероховатостью этой поверхности;

lхар - характерное расстояние между полюсами разомкнутого магнитного сердечника;

µ0, µтруб - магнитные проницаемости воздуха и материала трубопровода (например, стали), соответственно.

Принимая dmax~5·10 -5 м, lхар~5·10-2 м, устройство для измерения давления в трубопроводах, выполненных   из ферромагнитного материала, патент № 2490611 , получаем устройство для измерения давления в трубопроводах, выполненных   из ферромагнитного материала, патент № 2490611 , т.е. магнитное сопротивление контакта полюса разомкнутого магнитного сердечника с трубопроводом составляет меньшую, но заметную часть магнитного сопротивления, чувствительного к давлению.

Подставляя выражения (2) в (1), с учетом проведенной оценки соотношения устройство для измерения давления в трубопроводах, выполненных   из ферромагнитного материала, патент № 2490611 имеем

устройство для измерения давления в трубопроводах, выполненных   из ферромагнитного материала, патент № 2490611

где устройство для измерения давления в трубопроводах, выполненных   из ферромагнитного материала, патент № 2490611

lсер - средняя длина разомкнутого сердечника;

Ub - напряжение источников возбуждения.

Замечая, что величина устройство для измерения давления в трубопроводах, выполненных   из ферромагнитного материала, патент № 2490611 из-за малости магнитоупругой чувствительности материала трубопровода Sк мала по сравнению с единицей, перепишем выражение (3) в виде

устройство для измерения давления в трубопроводах, выполненных   из ферромагнитного материала, патент № 2490611

Работа источника компенсации начального уровня выходного сигнала устройства сводится к тому, что неизменная составляющая напряжения, не зависящая от давления Р, в выражении (4) обнуляется, т.е. после симметрирующего трансформатора зависимость между разностными сигналами устройство для измерения давления в трубопроводах, выполненных   из ферромагнитного материала, патент № 2490611 U и давлением P приобретает вид прямой пропорциональности

устройство для измерения давления в трубопроводах, выполненных   из ферромагнитного материала, патент № 2490611

Соотношение (5) отражает простую трансформаторную связь между источниками возбуждения первого и второго магнитоупругих преобразователей давления, которое обычно представляет собой периодически изменяющуюся функцию времени, и разностным напряжением в канале формирования выходного сигнала, промодулированным величиной давления в трубопроводе и свободным от влияния вибрационных помех.

С учетом того, что скорость изменения во времени периодически изменяющегося напряжения возбуждения во много раз превосходит скорость изменения давления, последующая узкополосная фильтрация очищает разностный сигнал от быстропеременных помех электромагнитного характера, сопутствующих работе индустриального оборудования. Дальнейшее усиление и детектирование разностного сигнала формируют на выходе устройства напряжение, изменяющееся только с изменением во времени давления измеряемой среды, транспортируемой по трубопроводу

устройство для измерения давления в трубопроводах, выполненных   из ферромагнитного материала, патент № 2490611

где устройство для измерения давления в трубопроводах, выполненных   из ферромагнитного материала, патент № 2490611 - в зависимости от типа применяемого детектора максимальное или среднеквадратичное значение напряжения возбуждения. Величина подавления вибрационных помех в предлагаемом устройстве определяется в основном идентичностью механических контактов полюсов магнитопроводов первого и второго магнитоупругих преобразователей с трубопроводом и без дополнительной подшлифовки составляет не менее 20 дБ. Дополнительная подшлифовка поверхности трубопровода позволяет значительно повысить это значение. Характерная величина подавления электромагнитных помех в дефференциальном канале устройства в диапазоне частот, не превышающем 10 МГц, составляет не менее 40 дБ.

Таким образом, в устройстве измерения давления в трубопроводах, выполненных из ферромагнитного материала, благодаря симметрированию двух магнитоупругих преобразователей, выделению разностного сигнала на симметрирующем трансформаторе и созданию помехозащищенного канала детектирования разностного сигнала подавляются как помехи, обусловленные вибрацией трубопровода, так и помехи, создаваемые в результате наличия индустриальной электромагнитной обстановки, и тем самым повышается помехоустойчивость устройства.

Литература

1. Олефир Ф.Ф., Радченко К.М., Лауэр В.В. Магнитоупругий датчик давления. Авторское свидетельство СССР № 155316, 1963.

2. Столбун М.И., Ведерников В.А. и др. Магнитоупругий преобразователь давления. Авторское свидетельство СССР № 575515, 1977.

3. Гладченко В.А. Способ измерения давления жидкостной среды. Авторское свидетельство СССР № 885846, 1981.

4. Заболотнов И.Н., Избадиров С.Н. Способ измерения давления в трубопроводах, выполненных из ферромагнитного материала. Авторское свидетельство СССР № 1539551, 1990.

Класс G01L9/00 Измерение постоянного или медленно меняющегося давления газообразных и жидких веществ или сыпучих материалов с помощью электрических или магнитных элементов, чувствительных к механическому давлению; передача и индикация перемещений элементов, чувствительных к механическому воздействию, используемых для измерения давления с помощью электрических или магнитных средств

устройство для дистанционного измерения давления -  патент 2528555 (20.09.2014)
способ изготовления тензорезисторного датчика давления на основе тонкопленочной нано- и микроэлектромеханической системы -  патент 2528541 (20.09.2014)
высокотемпературный полупроводниковый преобразователь давления -  патент 2526788 (27.08.2014)
способ измерения давления контролируемой среды -  патент 2526586 (27.08.2014)
датчик давления -  патент 2523754 (20.07.2014)
пьезоэлектрический датчик давления -  патент 2523091 (20.07.2014)
способ изготовления тензорезисторного датчика давления на основе тонкопленочной нано- и микроэлектромеханической системы -  патент 2522770 (20.07.2014)
датчик давления -  патент 2521869 (10.07.2014)
способ определения давления насыщения нефти газом -  патент 2521091 (27.06.2014)
датчик давления на основе нано- и микроэлектромеханической системы балочного типа -  патент 2520943 (27.06.2014)
Наверх