интерференционный монохроматор

Классы МПК:G01J3/26 с использованием эффекта многократного отражения, например интерферометры Фабри-Перро, переменные интерференционные фильтры 
G01B9/02 интерферометры 
Автор(ы):, ,
Патентообладатель(и):Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Сибирская государственная геодезическая академия" (ФГБОУ ВПО "СГГА") (RU)
Приоритеты:
подача заявки:
2012-01-25
публикация патента:

Изобретение может найти применение в системах экспресс-анализа химических веществ и различных промышленных жидкостей и газов, при исследованиях содержания вредных веществ в окружающей среде. Интерференционный монохроматор содержит мультиплексный интерферометр с несовпадающими порядками интерференции на одной длине волны. Один из входящих в его состав интерферометр является эталоном Фабри-Перо. Величина зазора между зеркалами другого интерферометра может регулироваться таким образом, что полоса спектра его пропускания смещается в пределах порядка интерференции. Технический результат - обеспечение перестройки монохроматора в широкой спектральной области с одновременным обеспечением высокой разрешающей способности и возможности переключать пропускание интерферометра по фиксированным значениям длин волн спектра пропускания путем регулирования расстояния между зеркалами резонатора Фабри-Перо. 1 ил., 1 табл. интерференционный монохроматор, патент № 2485456

интерференционный монохроматор, патент № 2485456

Формула изобретения

Интерференционный монохроматор, содержащий мультиплексный интерферометр с несовпадающими порядками интерференции на одинаковых длинах волн, отличающийся тем, что входящий в его состав интерферометр является эталоном Фабри-Перо, причем величина зазора между зеркалами другого интерферометра может регулироваться таким образом, что полоса спектра его пропускания смещается в пределах порядка интерференции.

Описание изобретения к патенту

Изобретение относится к оптике, к оптическим устройствам, основанным на использовании явлений интерференции световых потоков, например, использовании резонаторов Фабри-Перо, применяемых в научных исследованиях и технике для спектрального анализа и монохроматизации света.

В качестве аналога можно рассматривать известный тип диспергирующих элементов спектральных оптических приборов - сканирующий интерферометр Фабри-Перо [Скоков И.В. Многолучевые интерферометры в измерительной технике. - М.: Машиностроение, 1989]. Основной частью аналога являются два частично отражающих зеркала, параллельных друг другу. Зеркала могут быть нанесены на смежные поверхности двух параллельных стеклянных пластин, расстояние между которыми можно изменять специальным механизмом. Недостатки аналога: невозможность одновременно иметь высокую разрешающую способность и широкую свободную область дисперсии (без наложения соседних порядков интерференции).

Прототипом изобретения является мультиплексный интерферометр с несовпадающими порядками интерференции отдельных интерферометров [Скоков И.В. Многолучевые интерферометры в измерительной технике. - М.: Машиностроение, 1989], который состоит из двух интерферометров Фабри-Перо, расположенных друг за другом по ходу излучения. Монохроматоры этого типа могут иметь расширенную область свободной дисперсии при высокой разрешающей способности, но не являются перестраиваемыми в этой области.

Задача изобретения - обеспечение перестройки монохроматора в широкой спектральной области с одновременным обеспечением высокой разрешающей способности и возможности переключать пропускание интерферометра по фиксированным значениям длин волн спектра пропускания путем регулирования расстояния между зеркалами резонатора Фабри-Перо.

Решение задачи достигается тем, что в интерференционном монохроматоре, содержащем мультиплексный интерферометр с несовпадающими порядками интерференции на одной длине волны, в соответствии с изобретением, входящий в его состав интерферометр более высокого порядка является эталоном Фабри-Перо, причем величина зазора между зеркалами другого интерферометра может регулироваться таким образом, что полоса спектра его пропускания смещается в пределах порядка интерференции.

Новым в предложенном устройстве управляемого монохроматора является то, что входящий в его состав интерферометр более является эталоном Фабри-Перо, причем величина зазора между зеркалами другого интерферометра может регулироваться таким образом, что полоса спектра его пропускания смещается в пределах порядка интерференции.

Предложение применить в составе мультиплексного интерферометра в качестве интерферометра эталон Фабри-Перо, причем величина зазора между зеркалами другого интерферометра может регулироваться таким образом, что полоса спектра его пропускания смещается в пределах порядка интерференции, позволяет переключать спектральную полосу пропускания мультиплексного интерферометра с одной фиксированной полосы спектра пропускания эталона Фабри-Перо на другую с сохранением малой величины полосы пропускания, характерной для эталона Фабри-Перо, то есть с обеспечением высокой разрешающей способности.

Упрощенная схема такого монохроматора показана на фиг.1. Интерферометр первого порядка образован зеркалами 1 и 2 и воздушным зазором 3 между ними, зеркала в виде тонких металлических слоев нанесены на поверхности прозрачных пластин 4 и 5. Интерферометр высокого порядка образован зеркалами 6 и 7 и прозрачной пластиной 8 между ними. Воздушный зазор 3 величиной 0,2÷0,4 мкм поддерживается втулкой 9, закрепленной своим фланцем на цилиндре 10, выполненном из магнитострикционного или пьезоэлектрического материала, деформирующегося при погружении в магнитное или электрическое поле; при этом цилиндр может укорачиваться или удлиняться, что изменяет величину зазора 3 и перестраивает интерферометр первого порядка интерференции. Для возбуждения электрического поля в пьезоэлектрическом цилиндре на нем, например, на его торцевых поверхностях, формируют металлические обкладки, подсоединяемые к источнику электрического напряжения. В случае использования магнитострикционного цилиндра его погружают в проволочную катушку с током.

Рассмотрим оптические характеристики устройства. В мультиплекс-интерферометре при отношении оптических толщин интерферометров, кратном целому числу, область дисперсии определяется областью дисперсии тонкого интерферометра, а разрешение - толстым интерферометром.

Прозрачность мультиплекс-интерферометра определяется формулой [Скоков И. В. Многолучевые интерферометры в измерительной технике. - М.: Машиностроение, 1989]:

интерференционный монохроматор, патент № 2485456

где интерференционный монохроматор, патент № 2485456 (без учета скачков фаз на отражающих поверхностях); Т и R

- энергетические прозрачность и коэффициент отражения каждого зеркала. Порядок спектра определяется выражением:

интерференционный монохроматор, патент № 2485456

где Ln - оптическая ширина расстояния между зеркалами; интерференционный монохроматор, патент № 2485456 ср - средняя длина волны области дисперсии интерферометра.

Область дисперсии примерно равна области дисперсии тонкого интерферометра [2]:

интерференционный монохроматор, патент № 2485456

где q1 - порядок спектра тонкого светофильтра.

Разрешаемая разность длин волн в мультиплекс-интерферометре определяется выражением [Лебедева В.В. Экспериментальная оптика. - М.: Изд-во Моск. ун-та, 1994]:

интерференционный монохроматор, патент № 2485456

Проведем количественную оценку достижимых параметров рассматриваемого устройства, в котором интерферометр с меньшим зазором имеет порядок q1=1; регулируемый диапазон спектра интерференционный монохроматор, патент № 2485456 интерференционный монохроматор, патент № 2485456 =0,4÷0,8 мкм; в соответствии с (2) получим величину зазора L1 в крайних точках диапазона перестройки: L1=0,2÷0,4 мкм.

Аппаратная функция мультиплекс-интерферометра равна произведению аппаратных функций составных частей, пропускается излучение с длинами волн, одновременно присутствующими в полосах пропускания обеих составляющих его интерферометров.

При перестройке (путем изменения зазора между зеркалами) интерферометра с первым или другим порядком интерференции его полоса пропускания смещается по спектру, происходит выделение одной полосы дисперсии второго интерферометра, затем другой, то есть «переключение» пропускаемых интерферометром с большим порядком интерференции диапазонов интерференционный монохроматор, патент № 2485456 интерференционный монохроматор, патент № 2485456 2. Оптимальное сочетание спектральных характеристик интерферометра получим, приравняв ширину полосы пропускания интерферометра с меньшим зазором интерференционный монохроматор, патент № 2485456 интерференционный монохроматор, патент № 2485456 1 к полосе дисперсии интерференционный монохроматор, патент № 2485456 интерференционный монохроматор, патент № 2485456 2 второго:

интерференционный монохроматор, патент № 2485456

Число М «переключаемых» полос дисперсии равно:

интерференционный монохроматор, патент № 2485456

Найдем полосу дисперсии второго интерферометра:

интерференционный монохроматор, патент № 2485456

интерференционный монохроматор, патент № 2485456 Соответствующее этой полосе расстояние L2 между зеркалами второго интерферометра найдем по выражению:

интерференционный монохроматор, патент № 2485456

Здесь n - показатель преломления среды. Результаты расчетов приведены в таблице.

R q1q 2интерференционный монохроматор, патент № 2485456 интерференционный монохроматор, патент № 2485456 M, мкм интерференционный монохроматор, патент № 2485456 d1,мкм интерференционный монохроматор, патент № 2485456 интерференционный монохроматор, патент № 2485456 1, мкм интерференционный монохроматор, патент № 2485456 интерференционный монохроматор, патент № 2485456 M, мкм интерференционный монохроматор, патент № 2485456 интерференционный монохроматор, патент № 2485456 2, мкм МL2, мкм
0,85 1 200,4 0,20,015 7,5-10-4 0,01527 9
0,8 1 150,4 0,20,02 1,3·10-3 0,0220 1,5

Результаты подтверждают, что мультиплекс-светофильтр может перестраиваться в диапазоне длин волн 0,4÷0,8 мкм, расчетная разрешаемая разность длин волн интерференционный монохроматор, патент № 2485456 интерференционный монохроматор, патент № 2485456 интерференционный монохроматор, патент № 2485456 7,5÷13 Å.

Таким образом, показано, что мультиплекс-интерферометр может работать, перекрывая весь видимый диапазон спектра с разрешением порядка 10-9 м.

При изготовлении устройства применяются обычные для оптических производств материалы: стекло для пластин, алюминий для металлизации, оптические клеи.

Таким образом, подтверждается возможность решения поставленной задачи: обеспечение перестройки монохроматора в широкой спектральной области с одновременным обеспечением высокой разрешающей способности.

Подобный интерферометр, по нашему мнению, может найти применение в системах экспресс-анализа химических веществ и различных промышленных жидкостей и газов, при исследованиях содержания вредных веществ в окружающей среде. Устройство может иметь модификации, работающие в ИК-диапазонах спектра.

Изобретение может быть применено в оптотехнике, например, в монохроматорах оптического излучения, в спектрометрах, и др. Преимуществом устройства перед известными является его компактность - он может быть выполнен в габаритах чипа микросистемы.

Класс G01J3/26 с использованием эффекта многократного отражения, например интерферометры Фабри-Перро, переменные интерференционные фильтры 

устройство спектральной селекции оптического излучения -  патент 2525713 (20.08.2014)
сканирующее интерференционное устройство в виде двухзеркального интерферометра фабри-перо -  патент 2518366 (10.06.2014)
перестраиваемый интерферометр фабри-перо -  патент 2517801 (27.05.2014)
интерференционный многолучевой светофильтр (варианты) -  патент 2515134 (10.05.2014)
способ измерения показателя преломления газовых сред -  патент 2495387 (10.10.2013)
устройство для измерения спектральных характеристик оптического излучения -  патент 2408853 (10.01.2011)
интерференционный светофильтр с перестраиваемой полосой пропускания -  патент 2399935 (20.09.2010)
способ определения показателя преломления поверхностной электромагнитной волны инфракрасной области спектра -  патент 2372591 (10.11.2009)
субстрат с фильтром фабри-перо и способ нанесения фильтра на субстрат -  патент 2344382 (20.01.2009)
оптическое фильтрующее устройство -  патент 2301434 (20.06.2007)

Класс G01B9/02 интерферометры 

волоконно-оптическая измерительная система (варианты) -  патент 2520963 (27.06.2014)
интерферометр для контроля телескопических систем и объективов -  патент 2518844 (10.06.2014)
сканирующее интерференционное устройство в виде двухзеркального интерферометра фабри-перо -  патент 2518366 (10.06.2014)
перестраиваемый интерферометр фабри-перо -  патент 2517801 (27.05.2014)
интерференционный многолучевой светофильтр (варианты) -  патент 2515134 (10.05.2014)
оптическое интерференционное устройство для измерения перемещений поверхностей объектов контроля -  патент 2512697 (10.04.2014)
устройство доплеровского измерителя скорости на основе интерферометра фабри-перо с волоконным вводом излучения -  патент 2511606 (10.04.2014)
акустооптический интерферометр -  патент 2504731 (20.01.2014)
устройство формирования изображения и способ формирования изображения с использованием оптической когерентной томографии -  патент 2503949 (10.01.2014)
изображающий микроэллипсометр -  патент 2503922 (10.01.2014)
Наверх