способ измерения фазового сдвига световых волн
| Классы МПК: | G01B9/02 интерферометры |
| Автор(ы): | Леун Е.В., Шулепов А.В., Алибеков И.Ю., Серебряков В.П., Василенко А.Н., Красюк О.Ю., Шевченко С.А. |
| Патентообладатель(и): | Московский государственный технологический университет "СТАНКИН" |
| Приоритеты: |
подача заявки:
2001-12-03 публикация патента:
20.04.2004 |
Способ измерения фазового сдвига световых волн заключается в том, что опорный и измерительный каналы интерферометра одновременно освещают пучком излучения, совмещают пучки опорного и измерительного каналов и формируют и регистрируют интерференционную картину, фотолинейкой осуществляют фотоэлектрическое преобразование ее в электрический сигнал, управляют регистрацией интерференционной картины, которую осуществляют с помощью импульсного опроса фотоэлементов фотолинейки, формируют рабочий участок фотолинейки в виде первого набора фотоэлементов, равный периоду интерференционной картины, задают опорный сигнал и число разрядов р выходного кода, создают циклы измерения, включающие последовательность из р тактов, в каждом из которых осуществляют опрос фотоэлемента, расположенного посередине набора и делящего его на две половины, начиная с первого набора, сравнивают сигнал опрошенного фотоэлемента с опорным сигналом, по результатам сравнения в качестве набора для последующего такта выбирают одну из половин набора предыдущего такта, по совокупности результатов сравнения за р тактов создают р-разрядный выходной код, по которому судят о фазовом сдвиге световых волн. Технический результат - повышение быстродействия при высокой точности измерения. 1 з.п. ф-лы, 4 ил., 2 табл.
Рисунок 1, Рисунок 2, Рисунок 3, Рисунок 4, Рисунок 5, Рисунок 6, Рисунок 7, Рисунок 8, Рисунок 9, Рисунок 10, Рисунок 11, Рисунок 12, Рисунок 13, Рисунок 14, Рисунок 15, Рисунок 16, Рисунок 17, Рисунок 18, Рисунок 19
