быстродействующий газовый клапан низкого давления

Классы МПК:H01J27/00 Приборы с ионным пучком
H01J27/02 ионные источники; ионные пушки
H01J27/20 с использованием бомбардировки частицами, например ионизаторы
Автор(ы):
Патентообладатель(и):Корчинский Григорий Григорьевич
Приоритеты:
подача заявки:
2002-03-18
публикация патента:

Изобретение относится к клапанам и предназначено преимущественно для быстрого и точного регулирования газовой среды накопительных камер инжекторов холодной плазмы, в реакторах для синтеза легких ядер, при давлении газа на входе клапана не более 10 мм ртутного столба. Быстродействующий газовый клапан низкого давления содержит цилиндрическую трубку, выполненную из термостойкого изолятора со встроенными внутрь полости трубки четырьмя металлическими сетками-электродами, служащими для ионизации частиц газа и ускорения их в направлении входа клапана, при этом сетка на входе клапана - катодная сетка - выполнена подогреваемой с целью эмиссии свободных электронов и соединена с минусом источника питания, следующая сетка - управляющая расположена в непосредственной близости от катодной сетки и управляет током ионизации частиц газа, третья от входа клапана сетка - анодная подключена к плюсу источника питания и служит для создания электрических полей в пространстве между катодной и анодной сетками, а также между анодной и экранной сеткой - четвертой сеткой клапана, соединенной с минусом источника питания, а управление клапаном осуществляется с помощью напряжений, подаваемых на сетки клапана. Технический результат - высокое быстродействие и надежность. 2 ил.
Рисунок 1, Рисунок 2, Рисунок 3, Рисунок 4, Рисунок 5, Рисунок 6, Рисунок 7, Рисунок 8, Рисунок 9, Рисунок 10

Формула изобретения

Быстродействующий газовый клапан низкого давления, отличающийся тем, что он представляет собой цилиндрическую трубку, выполненную из термостойкого изолятора (например, стекла или радиофарфора) с встроенными внутрь полости трубки четырьмя металлическими сетками-электродами, служащими для ионизации частиц газа и ускорения их в направлении входа клапана, в его закрытом состоянии, для уравновешивания давления на входе клапана, при этом сетка на входе клапана - катодная сетка выполнена подогреваемой с целью эмиссии свободных электронов и соединена с минусом источника питания, следующая сетка - управляющая расположена в непосредственной близости от катодной сетки и управляет током ионизации частиц газа, третья от входа клапана сетка - анодная подключена к плюсу источника питания и служит для создания электрических полей в пространстве между катодной и анодной сетками, а также между анодной и экранной сеткой - четвертой сеткой клапана, соединенной с минусом источника питания, а управление клапаном осуществляется с помощью напряжений, подаваемых на сетки клапана.

Описание изобретения к патенту

Текст описания в факсимильном виде (см. графическую часть)

Класс H01J27/00 Приборы с ионным пучком

плазменный генератор и способ управления им -  патент 2525442 (10.08.2014)
устройство для осаждения металлических пленок -  патент 2510984 (10.04.2014)
устройство для ионного распыления мишени и/или обработки поверхности объекта и способ его применения -  патент 2510735 (10.04.2014)
устройство выброса ионов на эффекте холла -  патент 2510543 (27.03.2014)
ионный источник тлеющего разряда с повышенной светосилой -  патент 2504859 (20.01.2014)
сильноточный источник многозарядных ионов на основе плазмы электронно-циклотронного резонансного разряда, удерживаемой в открытой магнитной ловушке -  патент 2480858 (27.04.2013)
высокочастотный генератор для ионных и электронных источников -  патент 2461908 (20.09.2012)
способ получения пучка ионов высокой зарядности -  патент 2448387 (20.04.2012)
плазменный эмиттер электронов -  патент 2427940 (27.08.2011)
устройство для получения пучков ускоренных нанокластерных ионов -  патент 2423753 (10.07.2011)

Класс H01J27/02 ионные источники; ионные пушки

Класс H01J27/20 с использованием бомбардировки частицами, например ионизаторы

Наверх