способы формирования рисунка в полимерных пленках и применение способов

Классы МПК:G03F7/00 Фотомеханическое, например фотолитографическое, изготовление рельефных (текстурированных) поверхностей или поверхностей с рисунком, например печатные поверхности; материалы для этих целей, например содержащие фоторезисты; устройства, специально приспособленные для этих целей
Автор(ы):, ,
Патентообладатель(и):ТИН ФИЛМ ЭЛЕКТРОНИКС АСА (NO)
Приоритеты:
подача заявки:
2000-05-12
публикация патента:

Изобретение относится к способу формирования рисунка в полимерных пленках, которые могут использоваться в качестве электродов с рисунком или пикселей в оптоэлектронных дисплеях. В способе формирования рисунка на полимерной пленке, образующей покрытие на поверхности материала, тонкую пленку из полимера осаждают на поверхность материала. К поверхности материала прикладывают штамп, по меньшей мере, с одним образованным на поверхности штампа углублением и выполненный из эластомерного материала, с обеспечением конформного контакта штампа с поверхностью тонкой пленки. При этом участки поверхности, контактирующие с одним или более выступающих элементов эластомерного штампа, образованных за счет, по меньшей мере, одного углубления в нем, прикрепляются к выступающему элементу или элементам и удаляются с поверхности материала вместе со штампом. Техническим результатом, достигаемым указанными признаками, является формирование рисунка в тонких пленках простым и недорогим способом. 2 с. и 24 з. п. ф-лы, 3 ил.
Рисунок 1, Рисунок 2, Рисунок 3, Рисунок 4, Рисунок 5, Рисунок 6, Рисунок 7, Рисунок 8, Рисунок 9, Рисунок 10, Рисунок 11, Рисунок 12, Рисунок 13, Рисунок 14, Рисунок 15, Рисунок 16, Рисунок 17, Рисунок 18, Рисунок 19, Рисунок 20, Рисунок 21, Рисунок 22, Рисунок 23, Рисунок 24, Рисунок 25, Рисунок 26

Формула изобретения

1. Способ формирования рисунка на полимерной пленке, образующей покрытие на поверхности материала с помощью штампа, имеющего поверхность, по меньшей мере, с одним образованным в ней углублением, отличающийся тем, что тонкую пленку из полимера осаждают на поверхность материала, к поверхности материала прикладывают штамп, выполненный из эластомерного материала, с обеспечением конформного контакта штампа с поверхностью тонкой пленки, так что участки этой поверхности, контактирующие с одним или более выступающими элементами эластомерного штампа, образованными за счет, по меньшей мере, одного углубления в нем, прикрепляются к выступающему элементу или элементам и удаляются с поверхности материала вместе со штампом.

2. Способ по п.1, отличающийся тем, что полимерную пленку модифицируют путем введения добавок с целью уменьшения когезионного сцепления полимерной пленки.

3. Способ по п.2, отличающийся тем, что добавка представляет собой растворимое в воде органическое соединение.

4. Способ по п.2, отличающийся тем, что добавку выбирают из следующих соединений: этиленгликоля, полиэтиленгликоля, глицерина, сорбита, полиола или любых их комбинаций.

5. Способ по п.1, отличающийся тем, что полимер представляет собой растворимый в воде или диспергированный полимер.

6. Способ по п.1, отличающийся тем, что полимер представляет собой проводящий полимер сопряженной структуры в его легированном или нелегированном состоянии.

7. Способ по п.1, отличающийся тем, что полимер представляет собой поли (3,4-диоксиэтилентиофен) (PEDOT), или производное его сополимера, или одну или более смесей, включающих в себя мономерную форму 3,4-диоксиэтилентиофена (EDOT).

8. Способ по п.1, отличающийся тем, что поверхность материала модифицируют для придания слабой адгезии между поверхностью материала и полимерной пленкой, подлежащей удалению с указанной поверхности.

9. Способ по п.8, отличающийся тем, что поверхность материала модифицируют посредством плазменного травления.

10. Способ по п.1, отличающийся тем, что поверхность эластомерного штампа модифицируют для придания сильной адгезии между штампом и полимерной пленкой, подлежащей прикреплению к нему.

11. Способ по п.9, отличающийся тем, что поверхность эластомерного штампа модифицируют посредством плазменного травления.

12. Способ по п.1, отличающийся тем, что усиливают адгезию между штампом и полимерной пленкой с помощью добавок, введенных в полимерную пленку.

13. Способ по п.12, отличающийся тем, что добавка представляет собой глицерин.

14. Способ по п.1, отличающийся тем, что он предназначен для литографии резиста с рисунком в виде тонкой пленки из полимера на слое золота, тем самым слой золота может быть удален путем травления зоны, не защищенной резистом, при этом полимер предпочтительно представляет собой поли (3,4-диоксиэтилентиофен) (PEDOT).

15. Способ переноса полимерной пленки с рисунком на поверхность материала с помощью штампа, имеющего поверхность, по меньшей мере, с одним образованным в ней углублением, отличающийся тем, что на поверхность штампа осаждают тонкую пленку из полимера, прикладывают штамп, выполненный из эластомерного материала к поверхности материала с обеспечением конформного контакта так, что тонкая пленка из полимера переносится на поверхность материала с одного или более выступающих элементов эластомерного штампа, образованных за счет, по меньшей мере, одного углубления в нем, и оставляют тонкую пленку из полимера со сформированным на ней рисунком на поверхности материала при удалении штампа с поверхности материала.

16. Способ по п.15, отличающийся тем, что полимерную пленку модифицируют путем введения добавок для уменьшения когезионного сцепления полимерной пленки.

17. Способ по п.16, отличающийся тем, что добавка представляет собой растворимое в воде органическое соединение.

18. Способ по п.16, отличающийся тем, что добавку выбирают из следующих соединений: этиленгликоля, полиэтиленгликоля, глицерина, сорбита, полиола или любых их комбинаций.

19. Способ по п.15, отличающийся тем, что полимер представляет собой растворимый в воде или диспергированный полимер.

20. Способ по п.15, отличающийся тем, что полимер представляет собой проводящий полимер сопряженной структуры в его легированном или нелегированном состоянии.

21. Способ по п.15, отличающийся тем, что полимер представляет собой поли(3,4-диоксиэтилентиофен) (PEDOT), или производное его сополимера, или одну или более смесей, включающих в себя мономерную форму 3,4-диоксиэтилентиофена (EDOT).

22. Способ по п.15, отличающийся тем, что поверхность эластомерного штампа модифицируют для придания слабой адгезии между поверхностью эластомера и полимерной пленкой, подлежащей удалению с указанной поверхности.

23. Способ по п.22, отличающийся тем, что поверхность эластомерного штампа модифицируют посредством плазменного травления.

24. Способ по п.15, отличающийся тем, что поверхность материала модифицируют для придания сильной адгезии между поверхностью материала и полимерной пленкой, подлежащей переносу на поверхность материала.

25. Способ по п.24, отличающийся тем, что поверхность материала модифицируют посредством плазменного травления.

26. Способ по п.15, отличающийся тем, что он предназначен для литографии резиста с рисунком в виде тонкой пленки из полимера на слое золота, тем самым слой золота может быть удален путем травления зоны, не защищенной резистом, при этом полимер предпочтительно представляет собой поли(3,4-диоксиэтилентиофен) (PEDOT).

Описание изобретения к патенту

Таблицыр

Класс G03F7/00 Фотомеханическое, например фотолитографическое, изготовление рельефных (текстурированных) поверхностей или поверхностей с рисунком, например печатные поверхности; материалы для этих целей, например содержащие фоторезисты; устройства, специально приспособленные для этих целей

способ электрохимической рентгеновской бесконтактной литографии -  патент 2529592 (27.09.2014)
светочувствительная полимерная композиция, способы получения структуры и головка для подачи жидкости -  патент 2526258 (20.08.2014)
растворитель для вымывания полимера и его применение для обработки флексографической печатной формы -  патент 2523810 (27.07.2014)
антиотражающее оптическое устройство и способ изготовления эталонной формы -  патент 2523764 (20.07.2014)
способ нанесения прецизионного фотолитографического рисунка на цилиндрическую поверхность оптической детали и приспособление для контактного экспонирования изображения для его осуществления -  патент 2519872 (20.06.2014)
полиуретановый состав и его применение для получения голографических сред -  патент 2518125 (10.06.2014)
формирование рисунка -  патент 2518084 (10.06.2014)
фотополимерная композиция и ее применение для изготовления голографических сред -  патент 2515991 (20.05.2014)
полиуретановая композиция для изготовления голографических сред, ее применение, способ записи голограмм и ненасыщенные уретаны -  патент 2515977 (20.05.2014)
полиуретановые композиции на основе форполимера для изготовления голографических сред -  патент 2515549 (10.05.2014)
Наверх