датчик резонаторный

Классы МПК:	G01P15/10 с помощью вибрирующих струн
Автор(ы):	Лукьянчук В.Н.
Патентообладатель(и):	Российский федеральный ядерный центр - Всероссийский научно- исследовательский институт экспериментальной физики, Министерство Российской Федерации по атомной энергии
Приоритеты:	подача заявки: 2002-04-01 публикация патента: 27.11.2003

Изобретение относится к измерениям механических параметров. Датчик содержит основание из монокристалла, в котором выполнены сквозные прорези с образованием чувствительного элемента с маятниковым подвесом в виде двух стержней и стержневого резонатора, концы которых соединены с основанием с одной стороны и чувствительным элементом - с другой. Чувствительный элемент свободно размещен в углублениях крышек, которые расположены по обе стороны основания и соединены с ним по периметру. Основание выполнено в виде скобы, с незамкнутой стороны которой расположен свободный конец чувствительного элемента, на котором установлено и зафиксировано дополнительное тело, выполненное в виде электропроводящего короткозамкнутого витка, взаимодействующего с магнитным полем, создаваемым магнитной системой. Техническим результатом является обеспечение работоспособности датчика резонаторного, выполненного по микроэлектронной технологии, в условиях действия вибраций и упрощение технологии регулировки коэффициента преобразования. 5 ил.

Рисунок 1, Рисунок 2, Рисунок 3, Рисунок 4, Рисунок 5, Рисунок 6, Рисунок 7, Рисунок 8, Рисунок 9, Рисунок 10, Рисунок 11

Формула изобретения

Датчик резонаторный, содержащий основание из монокристалла, в котором выполнены сквозные прорези с образованием чувствительного элемента и его подвесов в виде, по крайней мере, двух стержней и стержневого резонатора, одни концы которых соединены с основанием, а другие концы соединены с чувствительным элементом, свободно размещенным в углублениях крышек, которые расположены по обе стороны основания и соединены с ним по периметру, на стержнях подвеса выполнены упругие шарниры для перемещения чувствительного элемента относительно основания в направлении измерительной оси, стержневой резонатор электрически и механически соединен с электромеханическим преобразователем, отличающийся тем, что основание выполнено в виде скобы, с незамкнутой стороны которой расположен свободный конец чувствительного элемента, на котором установлено и зафиксировано дополнительное тело, выполненное в виде электропроводящего короткозамкнутого витка с возможностью взаимодействия с магнитным полем, создаваемым магнитной системой.

Описание изобретения к патенту

Таблицын

Класс G01P15/10 с помощью вибрирующих струн

струнный акселерометр - патент 2528103 (10.09.2014)
способ настройки струнного акселерометра - патент 2526200 (20.08.2014)

датчик резонаторный - патент 2477491 (10.03.2013)
виброчастотный микромеханический акселерометр - патент 2442992 (20.02.2012)
датчик резонаторный - патент 2410705 (27.01.2011)
датчик резонаторный - патент 2402020 (20.10.2010)
датчик резонаторный - патент 2371728 (27.10.2009)
резонатор силочувствительный - патент 2329511 (20.07.2008)
датчик резонаторный - патент 2281515 (10.08.2006)
дифференциальный струнный акселерометр и способ его изготовления - патент 2258230 (10.08.2005)