мультиплексная система автогенераторных микрорезонаторных волоконно-оптических датчиков физических величин

Классы МПК:G01H9/00 Измерение механических колебаний или ультразвуковых, звуковых или инфразвуковых колебаний с использованием средств, чувствительных к излучению, например оптических средств
G01D5/26 с использованием оптических средств, те инфракрасных, видимых или ультрафиолетовых лучей 
Автор(ы):, , , , , ,
Патентообладатель(и):Московский государственный университет леса
Приоритеты:
подача заявки:
1998-09-17
публикация патента:

Система используется для измерения температуры, давления, линейных и угловых перемещений. В автогенераторной мультиплексной системе, содержащей два измерительных канала, резонансное взаимодействие волоконного лазера с микромеханической резонаторной структурой осуществляется на основе модуляции добротности двухзеркального оптического резонатора вследствие фотоиндуцированных угловых отклонений одного из зеркал, в качестве которого служит микрорезонатор. При этом один торец одномодового световода сопряжен с автоколлиматором, формирующим параллельный пучок света на отражающую поверхность микрорезонатора, ориентированную под некоторым заданным углом мультиплексная система автогенераторных микрорезонаторных   волоконно-оптических датчиков физических величин, патент № 2142615 к оптической оси автоколлиматора, а второй является выходным. В качестве блока обработки сигнала использован частотомер. Обеспечено повышение стабильности измерений. 3 ил.
Рисунок 1, Рисунок 2, Рисунок 3

Формула изобретения

Мультиплексная система автогенераторных микрорезонаторных волоконно-оптических датчиков физических величин, содержащая лазерный источник оптического излучения, одномодовый разветвитель, разделяющий световой поток от лазерного источника оптического излучения на два измерительных канала, каждый из которых содержит микрорезонатор и фотоприемник, связанный с блоком обработки сигнала, отличающаяся тем, что в качестве источника оптического излучения использован волоконно-оптический лазер, выполненный с возможностью возникновения автоколебаний на резонансных частотах каждого из микрорезонаторов в соответствующих дискретных зонах возбуждения, измерительные каналы включают оптически связанные с волоконно-оптическим лазером автоколлиматоры, оптическая ось каждого из которых составляет с нормалью к отражающей поверхности соответствующего микрорезонатора заданный угол мультиплексная система автогенераторных микрорезонаторных   волоконно-оптических датчиков физических величин, патент № 21426151, мультиплексная система автогенераторных микрорезонаторных   волоконно-оптических датчиков физических величин, патент № 21426152, а в качестве блока обработки сигнала использован частотомер.

Описание изобретения к патенту

Изобретение относится к волоконно-оптическим автоколебательным системам на основе микромеханического резонатора, возбуждаемого светом, и может быть использовано в мультиплексных системах измерения различных физических величин, например температуры, давления, линейных и угловых перемещений и др.

Широкое освещение в литературе в настоящее время получили автогенераторы, микрорезонаторы которых возбуждаются как модулированным, так и немодулированным когерентным излучением с использованием обратной интерферометрической связи.

Во всех случаях частотная компонента промодулированного по интенсивности оптического сигнала, которая соответствует собственной резонансной частоте микрорезонатора, возбуждает в микрорезонаторе поперечные акустические колебания, которые легко детектируются оптическим интерферометром.

Оптическое самовозбуждение акустических колебаний в микромеханических резонаторных структурах (МРС) позволяет значительно упростить построение мультиплексированной системы микрорезонаторных волоконно-оптических датчиков физических величин (МВОД).

Наиболее близким к предлагаемому техническому решению по технологической сущности и достигаемому результату является волоконно-оптическая система мультиплексирования двух МРС в автоколебательном режиме, опубликованная в Sensors and Actuators, A 21- A 23, 1990 г., р. 369-372 и взятая в качестве наиболее близкого аналога.

Принцип мультиплексирования в таких системах основан на частотном разделении измерительных каналов, соответствующих разным МРС, резонансные частоты которых зависят от величин измеряемых физических полей, воздействующих на МРС (температуры, давления и др.).

Конструктивно система мультиплексирования двух МРС представляет собой устройство, содержащее полупроводниковый лазер, X-разветвитель, с помощью которого излучение от полупроводникового лазера делится на два канала, два микрорезонатора, размещенные по одному в каждом из каналов, два интерферометра Фабри-Перо, применяемые в качестве отражателей в системе полупроводниковый лазер - микрорезонатор в каждом из каналов, фотодетектор, преобразующий оптическое излучение в электрический сигнал, анализатор спектра частот двухканальной системы мультиплексирования.

Система мультиплексирования работает следующим образом.

Излучение от полупроводникового лазера, распространяющееся по волоконному световоду, с помощью X-разветвителя делится на две части так, что каждая из них попадает на интерферометры Фабри-Перо, размещенные в каждом из каналов. Происходит модуляция интенсивности оптического излучения на собственной резонансной частоте соответствующего микрорезонатора, определяемой размерами микрорезонатора и его физическими свойствами. Промодулированное излучение попадает на фотоприемник, с выхода которого электрический сигнал поступает на вход спектроанализатора.

Недостатком такой системы мультиплексирования является то, что положение рабочей точки интерферометра Фабри-Перо в каждом из каналов нестабильно и ее смещение зависит одновременно как от дрейфа основных характеристик микрорезонатора, так и от нестабильности источника излучения и параметров интерферометра Фабри-Перо. Улучшение характеристик измерительной системы требует принятия специальных мер, обеспечивающих стабилизацию положения рабочей точки интерферометра.

Задача, решаемая данным изобретением, заключается в разработке нового принципа построения мультиплексной системы микрорезонаторных волоконно-оптических датчиков физических величин на основе волоконного лазера, волоконных автоколлиматоров и микрорезонаторных структур.

Решение поставленной задачи обеспечивается тем, что в мультиплексной системе автогенераторных микрорезонаторных волоконно-оптических датчиков физических величин, содержащей источник оптического излучения, разветвитель, разделяющий световой поток от источника излучения на два измерительных канала, каждый из которых содержит микрорезонатор, фотоприемник, блок обработки сигнала, в качестве источника оптического излучения использован волоконно-оптический лазер, выполненный с возможностью возникновения автоколебаний на резонансных частотах каждого из микрорезонаторов в соответствующих дискретных зонах возбуждения, измерительные каналы включают автоколлиматоры, оптическая ось каждого из которых составляет с нормалью к отражающей поверхности микрорезонатора заданный угол мультиплексная система автогенераторных микрорезонаторных   волоконно-оптических датчиков физических величин, патент № 21426151,мультиплексная система автогенераторных микрорезонаторных   волоконно-оптических датчиков физических величин, патент № 21426152, а в качестве блока обработки сигнала использован частотомер.

В предлагаемой автогенераторной мультиплексной системе резонансное взаимодействие волоконного лазера с МРС осуществляется на основе модуляции добротности двухзеркального оптического резонатора вследствие фотоиндуцированных угловых отклонений одного из зеркал, в качестве которого служит микрорезонатор. При этом один торец одномодового световода сопряжен с автоколлиматором, формирующим параллельный пучок света на отражающую поверхность микрорезонатора, ориентированную под некоторым заданным углом мультиплексная система автогенераторных микрорезонаторных   волоконно-оптических датчиков физических величин, патент № 2142615 к оптической оси автоколлиматора, а второй является выходным.

Изменение мощности излучения при отражении от микрорезонатора приводит, вследствие эффекта фотоиндуцированной деформации, к модуляции угла отклонения отражающего пучка мультиплексная система автогенераторных микрорезонаторных   волоконно-оптических датчиков физических величин, патент № 2142615 (t), т.е. к модуляции мощности оптического излучения.

В качестве автоколлиматора может быть использована градиентная стержневая линза (ГСЛ) в четверть периода, формирующая Гауссовы пучки.

Независимо от топологии и конструкции МРС при выполнении определенных условий в рассматриваемой системе в каждом канале устанавливается автоколебательный режим с частотой Fi (i - число каналов), практически совпадающий с резонансной частотой fpi, fpi = Fi.

Эти условия следующие: в исходном состоянии угол отклонения мультиплексная система автогенераторных микрорезонаторных   волоконно-оптических датчиков физических величин, патент № 2142615и отражающей поверхности МРС находится в интервале мультиплексная система автогенераторных микрорезонаторных   волоконно-оптических датчиков физических величин, патент № 2142615мультиплексная система автогенераторных микрорезонаторных   волоконно-оптических датчиков физических величин, патент № 2142615мультиплексная система автогенераторных микрорезонаторных   волоконно-оптических датчиков физических величин, патент № 2142615 мультиплексная система автогенераторных микрорезонаторных   волоконно-оптических датчиков физических величин, патент № 2142615имультиплексная система автогенераторных микрорезонаторных   волоконно-оптических датчиков физических величин, патент № 2142615 мультиплексная система автогенераторных микрорезонаторных   волоконно-оптических датчиков физических величин, патент № 2142615мультиплексная система автогенераторных микрорезонаторных   волоконно-оптических датчиков физических величин, патент № 2142615, границы которого (мультиплексная система автогенераторных микрорезонаторных   волоконно-оптических датчиков физических величин, патент № 2142615мультиплексная система автогенераторных микрорезонаторных   волоконно-оптических датчиков физических величин, патент № 2142615,мультиплексная система автогенераторных микрорезонаторных   волоконно-оптических датчиков физических величин, патент № 2142615мультиплексная система автогенераторных микрорезонаторных   волоконно-оптических датчиков физических величин, патент № 2142615мультиплексная система автогенераторных микрорезонаторных   волоконно-оптических датчиков физических величин, патент № 2142615) зависят от характеристик МРС и волоконно-оптического лазера; резонансная частота МРС близка к частоте релаксационных колебаний волоконно-оптического лазера fрел или ее гармоник, т.е. fpiмультиплексная система автогенераторных микрорезонаторных   волоконно-оптических датчиков физических величин, патент № 2142615 nfрел где n = 1, 2, 3... Отметим, что fрел определяется оптической накачкой q = Pн/Pн.п, где Pн.п - пороговый уровень накачки лазера; средняя мощность излучения мультиплексная система автогенераторных микрорезонаторных   волоконно-оптических датчиков физических величин, патент № 2142615 превышает определенный пороговый уровень мультиплексная система автогенераторных микрорезонаторных   волоконно-оптических датчиков физических величин, патент № 2142615, зависящий от характеристик МРС и волоконного лазера.

В результате возникновения в системе ВОЛ-МРС автоколебаний на резонансной частоте МРС отпадает необходимость введения интерферометрической обратной связи по стабилизации положения рабочей точки автогенератора.

Суть предлагаемого технического решения заключается в следующем.

Величина релаксационных колебаний fрел волоконного лазера в общем виде описывается выражением

мультиплексная система автогенераторных микрорезонаторных   волоконно-оптических датчиков физических величин, патент № 2142615

где r - относительный уровень накачки ВОЛ; мультиплексная система автогенераторных микрорезонаторных   волоконно-оптических датчиков физических величин, патент № 2142615ф(R,мультиплексная система автогенераторных микрорезонаторных   волоконно-оптических датчиков физических величин, патент № 2142615,L) - время жизни фотона в резонаторе ВОЛ; мультиплексная система автогенераторных микрорезонаторных   волоконно-оптических датчиков физических величин, патент № 2142615м - время жизни метастабильного уровня активной частицы, мультиплексная система автогенераторных микрорезонаторных   волоконно-оптических датчиков физических величин, патент № 2142615o - площадь сечения поглощения (излучения) активной частицы; N0 - концентрация активных частиц в активированном световоде; lА - длина активированного участка волоконного лазера; L - длина резонатора (между зеркалами); nА - показатель преломления сердцевины активированного участка волоконного резонатора; n0 - показатель преломления пассивного участка волоконного резонатора; мультиплексная система автогенераторных микрорезонаторных   волоконно-оптических датчиков физических величин, патент № 2142615 - оптические потери волоконного резонатора; R - коэффициент отражения зеркал МРС.

При заданных характеристиках волоконного резонатора и МРС значения уровня накачки r, соответствующие зоне возбуждения автоколебаний, образуют, как правило, две подзоны, состоящие из областей "мягкого" и "жесткого" возбуждений.

Отметим, что режим резонансной автомодуляции в системе волоконный лазер-микрорезонаторная структура (ВОЛ-МРС) может иметь место при различных способах реализации оптической обратной связи (ООС) между ними, т.е. в качестве отражателей МРС могут применяться как интерферометры Фабри-Перо, так и автоколлиматорные системы на основе МРС.

Из выражения (1) следует, что если реализована некоторая мультиплексная система ВОЛ-МРСi (i - 1, 2,...n), содержащая один ВОЛ и несколько МРС в условиях близких значений оптических характеристик мультиплексная система автогенераторных микрорезонаторных   волоконно-оптических датчиков физических величин, патент № 2142615 и эффективностей оптического возбуждения МРС, то можно ожидать, что при выполнении резонансных условий будем иметь

мультиплексная система автогенераторных микрорезонаторных   волоконно-оптических датчиков физических величин, патент № 2142615

где fp1,2...n - резонансные частоты автоколебаний.

При этом каждой резонансной частоте присуща соответствующая дискретная зона существования этих автоколебаний (r"1, r""1) = O1, (r"2, r""2) = O2 и т.д.

Таким образом, известные значения относительного уровня накачки r, при которых возникают автоколебания, позволяют однозначно установить соответствие между уровнем накачки и зонами возбуждения автоколебания МРСi: при r мультиплексная система автогенераторных микрорезонаторных   волоконно-оптических датчиков физических величин, патент № 2142615 O1 возбуждены автоколебания МРС1, при r мультиплексная система автогенераторных микрорезонаторных   волоконно-оптических датчиков физических величин, патент № 2142615 O2 возбуждены автоколебания МРС2 и т.д.

На фиг. 1 представлена блок-схема двухканальной мультиплексной системы, где 1 - волоконный лазер, служащий в качестве источника излучения, 2 - блок питания (БП) волоконного лазера 1, 3 - одномодовый волоконно-оптический разветвитель X, с помощью которого осуществляется направленное разделение излучения волоконного лазера 1 на число каналов мультиплексной системы, а также осуществляется оптическое сопряжение с блоком обработки информации, 4 - отрезки одномодовых световодов, равные длине резонатора первого и второго каналов мультиплексной системы соответственно, 5 - волоконные автоколлиматоры АК1,2, оптически связанные со световодами L1 и L2 соответственно, 6 - микрорезонаторные структуры МРС1,2, отражающая поверхность каждого из которых М1,2 образует с зеркалом М на торце световода волоконно-оптического лазера 1 замкнутый резонатор каждого из каналов, 7 - фотоприемник, преобразующий оптическое излучение на резонансной частоте, соответствующей характеристикам МРС1,2 первого (второго) каналам мультиплексной системы, 8 - частотомер, электрически связанный с фотоприемником 7.

Устройство работает следующим образом.

Перед началом измерений в силу известных значений относительного уровня накачки, при которых возникают автоколебания в каждом из каналов мультиплексной системы, однозначно устанавливается соответствие между уровнем накачки и зонами возбуждения разных микрорезонаторных структур МРС1,2: при r мультиплексная система автогенераторных микрорезонаторных   волоконно-оптических датчиков физических величин, патент № 2142615 O1 возбуждаются автоколебания МРС1, при r мультиплексная система автогенераторных микрорезонаторных   волоконно-оптических датчиков физических величин, патент № 2142615 O2 возбуждаются автоколебания МРС2 и т.д.

На фиг. 2 приведена диаграмма состояний предлагаемой мультиплексной автогенераторной системы при плавном изменении относительного уровня накачки в процессе функционирования мультиплексной системы r (t), где t - время.

При достижении значения r"1, соответствующего моменту времени t"1, в системе возбуждаются автоколебания с частотой F1 мультиплексная система автогенераторных микрорезонаторных   волоконно-оптических датчиков физических величин, патент № 2142615 fp1 (первый канал), которые срываются в момент времени t""1, соответствующий уровню накачки r""1. В течение интервала времени от t""1 до t"2 (t"2 - t""1) система находится в невозбужденном состоянии. Далее в момент времени t"2, соответствующий уровню накачки r"2, возбуждаются автоколебания с частотой F2 мультиплексная система автогенераторных микрорезонаторных   волоконно-оптических датчиков физических величин, патент № 2142615 fp2 (второй канал), которые срываются в момент времени t""2. Затем уровень накачки изменяется до исходного значения и происходит повторение цикла измерения. Таким образом, сканированием уровня накачки волоконно-оптического лазера осуществляется последовательное возбуждение и опрос автоколебаний в системе, что позволяет реализовать мультиплексирование микрорезонаторных волоконно-оптических датчиков. Соответствующие частоты fp1, fp2... детектируются с помощью ФП 7 частотомером 8.

В экспериментально реализованном макете двухканальной мультиплексной системы (фиг.1) средняя выходная мощность излучения лазера 1 ( мультиплексная система автогенераторных микрорезонаторных   волоконно-оптических датчиков физических величин, патент № 2142615 = 1,54 мкм) с полупроводниковым лазером накачки (ПЛ, мультиплексная система автогенераторных микрорезонаторных   волоконно-оптических датчиков физических величин, патент № 2142615 = 0,98 мкм) могла устанавливаться в пределах 0 - 40 мВт. Пороговый ток питания ПЛ составлял Iпр = 110 мА. Ток питания ПЛ изменялся в пределах 0 - 600 мА, что соответствует изменению относительного уровня накачки волоконно-оптического лазера, определяемому формулой

мультиплексная система автогенераторных микрорезонаторных   волоконно-оптических датчиков физических величин, патент № 2142615

В предлагаемой мультиплексной системе ООС между волоконно-оптическим лазером и МРС осуществляется с помощью автоколлиматоров на основе градиентных стержневых линз, формирующих коллимированные гауссовые пучки с эффективным диаметром 400. . .500 мкм и угловой расходимостью (4...4,5) мультиплексная система автогенераторных микрорезонаторных   волоконно-оптических датчиков физических величин, патент № 2142615 10-3 рад.

Кроме того, следует подчеркнуть, что в разрабатываемой системе ВОЛ-МРС1,2... применяются микрорезонаторные структуры, характеризующиеся нецелочисленным отношением частот fp2 : fp1 (при n = 2). Это связано с тем, что при кратном соотношении fp2 : fp1 = K (где K - натуральное целое число) в силу существенной нелинейности рассматриваемой системы возможно сильное взаимодействие, т. е. взаимное влияние между измерительными каналами, что может усложнить задачу идентификации измерительных каналов. Однако при выполнении условий (fp2 - Kfp1) >> max мультиплексная система автогенераторных микрорезонаторных   волоконно-оптических датчиков физических величин, патент № 2142615 отмеченное влияние будет несущественно, здесь Q1,2 - добротности МРС1,2.

Таким образом, возможность оптического мультиплексирования МВОД подтверждают результаты экспериментальных исследований систем ВОЛ-МРС1,2, где резонансные частоты МРС1,2 составляли F1 = 37 кГц и F2 = 55 кГц в первом и во втором каналах соответственно. Экспериментальная зависимость частоты сигнала на выходе ФП 7 от тока питания БП 2 приведена на фиг.3, где I - значения тоиа питания ВОЛ I мультиплексная система автогенераторных микрорезонаторных   волоконно-оптических датчиков физических величин, патент № 2142615 (350; 430) и I мультиплексная система автогенераторных микрорезонаторных   волоконно-оптических датчиков физических величин, патент № 2142615 (450; 530) мА, F1,2 - автоколебания с соответствующими частотами F1,2 мультиплексная система автогенераторных микрорезонаторных   волоконно-оптических датчиков физических величин, патент № 2142615 fp1,2.

Отметим, что скорость развертки тока питания ВОЛ не превышала 1 А/сек. При значениях тока питания в интервале (350...420) мА в рассматриваемой системе возникают автоколебания, сопровождающиеся модуляцией интенсивности ВОЛ с резонансной частотой МРС1. F1 мультиплексная система автогенераторных микрорезонаторных   волоконно-оптических датчиков физических величин, патент № 2142615 fp1. Срыв автоколебаний происходит при токе накачки I = 420 мА. При этом в интервале значений (420...450) мА автоколебания отсутствуют. Дальнейшее увеличение тока питания приводит к установлению автоколебательного режима с резонансной частотой МРС2 F2 мультиплексная система автогенераторных микрорезонаторных   волоконно-оптических датчиков физических величин, патент № 2142615 fp2, срыв колебаний происходит при I = 530 мА.

Итак, при сканировании тока питания ВОЛ в рассматриваемой системе происходит последовательное возбуждение автоколебаний с резонансными частотами микрорезонаторных структур.

Отметим, что с принципиальной точки зрения приведенный метод мультиплексирования допускает увеличение количества измерительных каналов без качественных изменений в рассмотренной схеме работы. Для этого необходимо оптимизировать параметры элементов мультиплексной системы (волоконного лазера, акустических и оптических свойств МРС, автоколлиматорной системы) с целью достижения максимального количества зон возбуждения автоколебаний индивидуальных МРС в заданном ограниченном интервале допустимых изменений уровня накачки ВОЛ.

Таким образом, изобретение позволяет разработать новый принцип построения мультиплексной системы микрорезонаторных волоконно-оптических датчиков физических величин на основе волоконного лазера, волоконных автоколлиматоров и микрорезонаторных структур, обладающей повышенной стабильностью.

Класс G01H9/00 Измерение механических колебаний или ультразвуковых, звуковых или инфразвуковых колебаний с использованием средств, чувствительных к излучению, например оптических средств

устройство для мониторинга виброакустической характеристики протяженного объекта -  патент 2516346 (20.05.2014)
волоконно-оптическая система и способ измерения множественных параметров турбомашинной системы -  патент 2513646 (20.04.2014)
способ определения амплитуды нановибраций по сигналу лазерного автодина -  патент 2507487 (20.02.2014)
устройство для визуализации акустического поля в оптически отражающей упругой поверхности -  патент 2505806 (27.01.2014)
дистанционный вибродатчик -  патент 2494356 (27.09.2013)
способ измерения амплитуды колебаний -  патент 2490607 (20.08.2013)
распределенная волоконно-оптическая система регистрации виброакустических сигналов -  патент 2485454 (20.06.2013)
устройство для визуализации пространственно-неоднородных акустических полей от микрообъектов -  патент 2470268 (20.12.2012)
способ бесконтактного измерения нановибраций поверхности -  патент 2461803 (20.09.2012)
способ контроля наличия акустических колебаний -  патент 2450249 (10.05.2012)

Класс G01D5/26 с использованием оптических средств, те инфракрасных, видимых или ультрафиолетовых лучей 

волоконно-оптическая измерительная система (варианты) -  патент 2520963 (27.06.2014)
волоконно-оптический датчик перемещений -  патент 2489679 (10.08.2013)
оптоэлектронная измерительная система -  патент 2383865 (10.03.2010)
волоконно-оптический автогенератор -  патент 2169904 (27.06.2001)
волоконно-оптический чувствительный элемент для измерительных преобразователей физических величин -  патент 2164339 (20.03.2001)
микрорезонаторный волоконно-оптический датчик угловых перемещений -  патент 2142117 (27.11.1999)
микрорезонаторный волоконно-оптический датчик линейных перемещений -  патент 2142116 (27.11.1999)
волоконно-оптическая система измерения физических величин -  патент 2142115 (27.11.1999)
микрорезонаторный волоконно-оптический датчик концентрации газов -  патент 2142114 (27.11.1999)
волоконно-оптический чувствительный элемент для измерительных преобразователей физических величин -  патент 2127869 (20.03.1999)
Наверх