способ измерения перемещений

Классы МПК:G01B11/14 для измерения расстояния или зазора между разнесенными предметами или отверстиями
G01B11/00 Приспособления к измерительным устройствам, отличающиеся оптическими средствами измерения
G01B11/02 для измерения длины, ширины или толщины
G01B21/00 Приспособления или их детали к измерительным устройствам, не относящиеся к конкретному типу измерительных устройств, упомянутым в других группах данного подкласса
G01B21/02 для измерения длины, ширины или толщины
G01B21/16 для измерения расстояния между разнесенными объектами
Автор(ы):, ,
Патентообладатель(и):Опытно-конструкторское бюро микроэлектроники и информационно-измерительной техники при Башкирском государственном университете (ОКБ "Заряд")
Приоритеты:
подача заявки:
1996-05-13
публикация патента:

Способ измерения перемещений относится к волоконно-оптическим системам передачи в измерительной технике и предназначен для измерения перемещений объекта. Подведенное в зону измерений модулированное излучение на частоте способ измерения перемещений, патент № 21158841 модулируют и на более низкой, чем способ измерения перемещений, патент № 21158841 частоте способ измерения перемещений, патент № 21158842, причем способ измерения перемещений, патент № 21158841способ измерения перемещений, патент № 2115884 способ измерения перемещений, патент № 21158842. Выделяют сигнал первой гармоники частоты модуляции способ измерения перемещений, патент № 21158841. Затем сигналы первой гармоники и второй гармоники подают на блок сравнения, где осуществляют сравнение последних. Выходной сигнал блока сравнения подают на вход компаратора, где его сравнивают с опорным напряжением. Выходной сигнал компаратора подают на вход управления устройства выборки и хранения, на который подают также сигнал модуляции с частотой способ измерения перемещений, патент № 21158842, а измеряемую величину взаимного перемещения торцов волоконно-оптических каналов определяют по выходному сигналу устройства выборки и хранения. Изобретение позволяет устранить влияние мультипликативных помех и повысить точность измерений. 5 ил.
Рисунок 1, Рисунок 2, Рисунок 3, Рисунок 4, Рисунок 5

Формула изобретения

Способ измерения перемещений, заключающийся в том, что формируют монохроматическое излучение, модулируют его интенсивность и длину волны на частоте способ измерения перемещений, патент № 21158841 по гармоническому закону, посредством передающего волоконно-оптического канала модулированное излучение подводят в зону измерений, освещают входной торец приемного волоконно-оптического канала, находящегося на расстоянии от выходного торца передающего волоконно-оптического канала, далее с использованием приемного волоконно-оптического канала излучение подводят к фотоприемнику и устройству, выделяющему сигнал второй гармоники частоты модуляции способ измерения перемещений, патент № 21158841, отличающийся тем, что излучение модулируют также и на более низкой частоте способ измерения перемещений, патент № 21158842, причем способ измерения перемещений, патент № 21158841 способ измерения перемещений, патент № 2115884 способ измерения перемещений, патент № 21158842, выделяют сигнал первой гармоники частоты модуляции способ измерения перемещений, патент № 21158841, затем сигналы первой и второй гармоники подают на блок сравнения, где осуществляют сравнение последних, выходной сигнал блока сравнения подают на вход компаратора, где его сравнивают с опорным сигналом, выходной сигнал компаратора подают на вход управления устройства выборки и хранения, при этом на вход устройства выборки и хранения подают сигнал модуляции с частотой способ измерения перемещений, патент № 21158842, а измеряемую величину взаимного перемещения торцов волоконно-оптических каналов определяют по выходному сигналу устройства выборки и хранения.

Описание изобретения к патенту

Изобретение относится к волоконно-оптическим системам передачи в измерительной технике и может быть использовано для измерения перемещений объекта.

Известен универсальный способ, позволяющий измерить различные физические величины, в частности величину перемещения объекта [1], при котором измеряемая величина воздействует на взаимное расположение торцов приемного и передающего волоконно-оптических каналов либо изменяет условия распространения излучения между неподвижными торцами приемного и передающего волоконно-оптических каналов. Для этого монохроматическое излучение посредством передающего волоконно-оптического канала подводят в зону измерения, где формируют поток излучения, заключенный в конусе апертуры световода. Часть потока излучения освещает входной торец приемного волоконно-оптического канала, выводится им из зоны измерений и подводится к фотоприемнику, где излучение преобразуют в пропорциональный электрический сигнал, который используют для определения измеряемой физической величины. Физическую основу работы такого способа измерения составляет изменение интенсивности излучения под действием измеряемого параметра, которое проходит с торца передающего волоконно-оптического канала на торец приемного волоконно-оптического канала в соответствии с диаграммой направленности, светопропусканием волоконно-оптических каналов, влиянием измеряемой величины и различных помех.

Однако такой способ измерения перемещений имеет тот недостаток, что в процессе измерения не обеспечивает компенсацию мультипликативных помех, что существенно снижает точность измерений.

Известна работа [2], где представлен способ, позволяющий измерить, например, перемещение объекта с использованием интерферометра Фабри-Перо, заключающийся в том, что формируют монохроматическое излучение, при помощи передающего волоконно-оптического канала подводят его в зону измерения, далее при помощи принимающего волоконно-оптического канала подводят излучение к фотоприемнику, где преобразуют его в пропорциональный электрический сигнал. Здесь используются гомодинные методы измерения различных физических величин, изменяющихся по гармоническому закону, в основу которых заложено исследование гармонических составляющих сигнала на выходе гомодинной системы с дальнейшей дешифровкой и анализом его огибающей. Так, для реализации одного из описанных методов используют разложение сигнала, снимаемого с выхода измерительной системы, в спектр. Устанавливают величину разности фаз способ измерения перемещений, патент № 2115884 таким образом, чтобы sin способ измерения перемещений, патент № 2115884 = 1. Затем из состояния покоя плавно возбуждают колебания и находят первое максимальное значение амплитуды гармонической составляющей на основной частоте колебаний исследуемого объекта способ измерения перемещений, патент № 21158841 . Затем измеряют неизвестную амплитуду колебаний: вновь устанавливают величину способ измерения перемещений, патент № 2115884 = способ измерения перемещений, патент № 2115884/2 + способ измерения перемещений, патент № 2115884k , k= 1,2, . . . , раскладывают сигнал, снимаемый с выхода измерительной системы в спектр, и определяют амплитуду гармонической составляющей на частоте способ измерения перемещений, патент № 21158841 . Далее по формулам находят неизвестную величину.

Основными недостатками описанного в работе [2] способа являются необходимость вычисления аргументов функции Бесселя и установок величин разности фаз способ измерения перемещений, патент № 2115884 в измерительной системе, ограничение, накладываемое на диапазон измерений, связанное с областью однозначности функций Бесселя, а также предположение, что при необходимых двух установках величины разности фаз способ измерения перемещений, патент № 2115884 остаются постоянными характеристики лазерного излучения (стабильность частоты, интенсивность лазерного излучения, уровень шумов) и параметры окружающей среды. Реализовать эти условия на практике чрезвычайно трудно.

Наиболее близким к изобретению по своей технической сущности является способ измерения перемещений [3]. Этот способ, выбранный в качестве прототипа, заключается в том, что формируют монохроматическое излучение, модулируют его интенсивность и длину волны на частоте способ измерения перемещений, патент № 21158841 по гармоническому закону и освещают при помощи передающего волоконно-оптического канала поверхность объекта на измеряемом расстоянии, где возникают интерференционные явления, следствием которых являются нелинейные искажения, происходящие в оптической системе. Далее с использованием приемного волоконно-оптического канала световые колебания подводятся к устройству, которое выделяет сигнал второй гармоники частоты модуляции способ измерения перемещений, патент № 21158841 и по величине его амплитуды определяется искомое расстояние. В данном случае реализация способа основана на следующем физическом явлении: мощность и длина волны излучения полупроводникового лазера зависят от его тока накачки [4].

Недостатками способа являются относительно невысокая точность измерения перемещений, помехоустойчивость и достаточно сложная реализация. Это объясняется тем, что, во-первых, не производится учет мультипликативных помех, во-вторых, хотя вторая гармоника и является периодической функцией разности фаз, ее амплитуда нелинейно изменяется на периоде. Поэтому определение неизвестной величины на основе амплитуды второй гармоники является неточным ввиду нелинейности последней. Рассмотрим подробнее возникновение помех, которые, как известно, подразделяются на мультипликативные и аддитивные. С их учетом мощность излучения в оптическом канале P может быть выражена следующим образом [4]:

P = f(t,z)способ измерения перемещений, патент № 2115884P0 + A(t,z), (1)

где

f(t,z) - выражение для мультипликативной помехи;

P0 - исходная оптическая мощность;

A(t,z) - выражение для аддитивной помехи;

t - время;

z - внешнее воздействие.

Аддитивные помехи возникают, например, из-за нежелательного попадания внешнего света в волоконно-оптические каналы, в зону измерений или на фотоприемник. Их подавить относительно несложно: проводить более тщательную защиту чувствительных элементов от внешнего излучения. Мультипликативные помехи обусловлены следующими факторами: нестабильность источников излучения; неоднородности прозрачной среды волоконно-оптического тракта, связанные со старением волокна, его микроизгибами, температурой. Для компенсации мультипликативных помех требуется принципиальное изменение конструкции прибора, способа определения искомой величины.

К недостаткам также относится ограничение, накладываемое на диапазон измерений, связанное с областью однозначности функции на периоде.

Задача изобретения - устранение названных недостатков, т.е. повышение надежности и точности измерения перемещения объекта.

Поставленная задача достигается способом измерения перемещений, заключающимся в том, что формируют монохроматическое излучение, модулируют его интенсивность и длину волны на частоте способ измерения перемещений, патент № 21158841 по гармоническому закону, посредством передающего волоконно-оптического канала модулированное излучение подводят в зону измерений, освещают входной торец приемного волоконно-оптического канала, находящегося на расстоянии от выходного торца передающего волоконно-оптического канала, далее с использованием приемного волоконно-оптического канала излучение подводят к фотоприемнику и устройству, выделяющему сигнал второй гармоники частоты модуляции способ измерения перемещений, патент № 21158841 , который отличается от известного тем, что излучение модулируют также и на более низкой частоте способ измерения перемещений, патент № 21158842 , причем способ измерения перемещений, патент № 21158841>>способ измерения перемещений, патент № 21158842 , выделяют сигнал первой гармоники частоты модуляции способ измерения перемещений, патент № 21158841 , затем сигналы первой и второй гармоник подают на блок сравнения, где осуществляют сравнение последних, выходной сигнал блока сравнения подают на вход компаратора, где его сравнивают с опорным напряжением, выходной сигнал компаратора подают на вход управления устройства выборки и хранения (УВХ), при этом на вход УВХ подают сигнал модуляции с частотой способ измерения перемещений, патент № 21158842 , а измеряемую величину взаимного перемещения торцов волоконно-оптических каналов определяют по выходному сигналу УХВ.

Основными признаками, отличающими предлагаемый способ от известного, являются дополнительная модуляция излучения на более низкой частоте способ измерения перемещений, патент № 21158842 , дальнейшее выделение первой гармоники частоты модуляции способ измерения перемещений, патент № 21158841 с последующим сравнением сигналов первой и второй гармоник, чем определяется новизна. Из вышеизложенного следует, что предложенный способ соответствует критерию "изобретательский уровень".

Это дает преимущество перед известными решениями в отношении компенсации влияния мультипликативных помех, кроме того, увеличивается точность измерений за счет усовершенствования обработки сигнала.

На фиг. 1 представлена функциональная схема устройства, реализующего предлагаемый способ; на фиг.2 - график зависимости отношения амплитуд второй гармоники к первой сигнала частоты модуляции способ измерения перемещений, патент № 21158841 от измеряемого расстояния способ измерения перемещений, патент № 2115884 между торцами приемного и передающего волоконно-оптических каналов; на фиг.3 - схема обработки сигнала для случая сравнения путем деления; на фиг.4 - схема обработки сигнала для случая сравнения путем вычитания; на фиг.5 - график глубины модуляции сигнала на частоте способ измерения перемещений, патент № 21158842 в зависимости от базы интерферометра Фабри - Перо (ИФП).

Устройство, реализующее предлагаемый способ, содержит излучатель 1, выполненный в виде полупроводникового лазера, являющийся источником монохроматического излучения, устройство модуляции излучения 2 на частоте способ измерения перемещений, патент № 21158842 , устройство модуляции излучения 3 на частоте способ измерения перемещений, патент № 21158841 , устройство формирования постоянного тока 4, соединенные с излучателем 1 последовательно, передающий волоконно-оптический канал 5, входной торец которого оптически связан с излучателем 1, а выходной торец расположен в зоне измерения, приемный волоконно-оптический канал 6, входной торец которого расположен в зоне измерения соосно с выходным торцом передающего волоконно-оптического канала 5, выходной торец приемного волоконно-оптического канала 6 оптически связан с фотоприемником 7 и далее с устройствами, выделяющими сигнал первой гармоники 8 и второй гармоники 9 частоты модуляции способ измерения перемещений, патент № 21158841 , блоком сравнения 10, где осуществляется сравнение сигналов, поступающих с устройств 8 и 9, далее с компаратором 11, соединенным также с блоком опорного напряжения 12, выход компаратора 11 соединен с входом управления устройства выборки и хранения 13, вход которого соединен и с устройством модуляции излучения 2.

Устройство формирования постоянного тока 4 выводит излучатель 1 в рабочую точку, устройства модуляции 2 и 3 изменяют ток накачки излучателя 1, что в свою очередь влияет на интенсивность и спектральный состав излучения последнего [4]. В данном случае устройство 3 модулирует излучение по гармоническому закону на высокой частоте способ измерения перемещений, патент № 21158841 (1 - 10 МГц), устройство 2 модулирует излучение на более низкой частоте способ измерения перемещений, патент № 21158842 (1 - 1000 кГц). Для простоты будем считать, что модуляция на частоте способ измерения перемещений, патент № 21158842 происходит по пилообразному закону - медленное линейное увеличение сигнала до определенного уровня последнего, затем быстрый его спад до первоначального уровня. Значение частоты способ измерения перемещений, патент № 21158841 выбирается наибольшим для данной аппаратной реализации схем 7 - 10, а значение частоты способ измерения перемещений, патент № 21158842 - из условия, что время отклика способ измерения перемещений, патент № 2115884 схем устройств 7 - 10 будет намного меньше способ измерения перемещений, патент № 21158840= 1/способ измерения перемещений, патент № 21158842 . Подробнее остановимся на выборе амплитуд модуляции излучения на частотах способ измерения перемещений, патент № 21158842 и способ измерения перемещений, патент № 21158841 . Модуляция тока накачки устройством 3 приводит к модуляции излучения, а именно кроме постоянной составляющей длины волны способ измерения перемещений, патент № 21158840 появляется дополнительная величина способ измерения перемещений, патент № 2115884способ измерения перемещений, патент № 21158841 , аналогично устройство 2 обеспечивает добавку к длине волны способ измерения перемещений, патент № 21158840 на величину способ измерения перемещений, патент № 2115884способ измерения перемещений, патент № 21158842 . Значение способ измерения перемещений, патент № 2115884способ измерения перемещений, патент № 21158841 выбирается из условия, что модуляция излучения на частоте способ измерения перемещений, патент № 21158841 не приведет к появлению следующего порядка интерференции, т. е.

способ измерения перемещений, патент № 2115884

где

m - порядок интерференции.

Модуляция излучения на частоте способ измерения перемещений, патент № 2115884, напротив, должна приводить к смещению порядка интерференции на единицу, что должно соответствовать

способ измерения перемещений, патент № 2115884

Следовательно, амплитуда модуляции излучения по пилообразному закону i0 вычисляется исходя из значения способ измерения перемещений, патент № 2115884способ измерения перемещений, патент № 21158841 , которое в свою очередь непосредственно определяется для каждого конкретно изготовленного ИФП. Амплитуда модуляции излучения по гармоническому закону i должна быть много меньше значения i0, т. е. 1 < i0. Таким образом, сформированное излучение поступает по передающему волоконно-оптическому каналу 5 в зону измерения. Выходной торец передающего 5 и входной торец приемного 6 волоконно-оптических каналов представляют собой зеркала ИФП. Известно, что передаточная характеристика ИФП является функцией расстояния между его зеркалами, т. е. величины разности хода лучей способ измерения перемещений, патент № 2115884 . Кроме того, она зависит от параметров самого ИФП и подаваемого излучения. Под действием измеряемого физического параметра, в частности при перемещении исследуемого объекта, происходит изменение величины разности хода лучей способ измерения перемещений, патент № 2115884 в ИФП, которая линейно зависит от расстояния между зеркалами [4]

способ измерения перемещений, патент № 2115884

где lопт - расстояние h между зеркалами ИФП с учетом показателя преломления n и угла падения лучей, lопт = hспособ измерения перемещений, патент № 2115884n;

способ измерения перемещений, патент № 2115884 - длина волны излучения.

Ток накачки излучателя 1 модулирован следующим образом на одном периоде "пилы":

I = I0+ i0способ измерения перемещений, патент № 2115884t + iспособ измерения перемещений, патент № 2115884cos(способ измерения перемещений, патент № 21158841t), (5)

где

I0 - постоянная составляющая тока накачки;

i0 - малая величина по сравнению с I0, представляющая собой ток модуляции по пилообразному закону с частотой способ измерения перемещений, патент № 21158842 ;

i - малая величина по сравнению с I0, представляющая собой ток модуляции по гармоническому закону с частотой способ измерения перемещений, патент № 21158841 ;

способ измерения перемещений, патент № 21158841 - частота модуляции;

t - время.

Тогда мощность излучения лазера будет определяться в первом приближении [4]

P0 = aспособ измерения перемещений, патент № 2115884I + b,

где

a - постоянная величина порядка 7,5способ измерения перемещений, патент № 211588410-2 Вт/А [4];

b - постоянная величина порядка - 2,5способ измерения перемещений, патент № 211588410-3 Вт [4].

или с учетом (2) следующим образом:

P0= aспособ измерения перемещений, патент № 2115884(I0+ i0способ измерения перемещений, патент № 2115884t) + aспособ измерения перемещений, патент № 2115884iспособ измерения перемещений, патент № 2115884cos(способ измерения перемещений, патент № 21158841t) + b, (7)

Передаточная характеристика классического ИФП имеет следующий вид [4]:

способ измерения перемещений, патент № 2115884

где

P0 - мощность излучения на входе ИФП;

способ измерения перемещений, патент № 2115884 - коэффициент отражения зеркал ИФП.

Но в результате модуляции тока накачки длина волны излучения является переменной величиной и может быть выражена следующим образом [4]:

способ измерения перемещений, патент № 2115884 = способ измерения перемещений, патент № 21158840+ kспособ измерения перемещений, патент № 2115884I, (9)

где

способ измерения перемещений, патент № 21158840 - длина волны излучения при постоянном токе накачки I0;

k - параметр d способ измерения перемещений, патент № 2115884 /dI способ измерения перемещений, патент № 2115884 6способ измерения перемещений, патент № 211588410-9 м/А [4],

или с учетом (2) длина волны будет представлена

способ измерения перемещений, патент № 2115884 = способ измерения перемещений, патент № 21158840+ kспособ измерения перемещений, патент № 2115884i0способ измерения перемещений, патент № 2115884t + kспособ измерения перемещений, патент № 2115884iспособ измерения перемещений, патент № 2115884cos(способ измерения перемещений, патент № 21158841t). (10)

Мощность оптического излучения, прошедшего ИФП (т. е. попадающего во входной торец передающего волоконно-оптического канала 5 и затем на фотоприемник 6), с учетом (4) и (7) может быть представлена в виде

способ измерения перемещений, патент № 2115884

Выражение (11) описывает передаточную характеристику ИФП как функцию времени и частоты способ измерения перемещений, патент № 21158841 модуляции тока накачки. График этой функции в координатах мощность (PИФП)) и время( способ измерения перемещений, патент № 21158841 t) представляет собой кривую, содержащую ряд экстремумов. Их количество и форма зависят от величины модуляции тока накачки i, параметров интерферометра и излучателя (a, b, k, способ измерения перемещений, патент № 2115884 ) и главное - от базы ИФП, т. е. расстояния между зеркалами h. Так, при изменении h (все остальные параметры фиксированы) форма передаточной характеристики ИФП меняется: по мере изменения h два импульса приближаются, затем сливаются в один, который уменьшается по мере зарождения двух следующих импульсов с краев (рассматриваем на периоде), и далее процесс повторяется.

Кривая (11) - периодическая, правомерно судить о ее разложении в ряд Фурье по гармоникам. В данном случае интересуют амплитуды первой и второй гармоник по частоте способ измерения перемещений, патент № 21158841 . Для этого сигнал с фотоприемника 7 поступает на вход устройств, выделяющих сигнал первой гармоники 8 и второй гармоники 9 частоты модуляции способ измерения перемещений, патент № 21158841 , выходные сигналы устройств 8 и 9 поступают на вход блока сравнения 10. Блок сравнения 10 работает следующим образом: электронным образом делит амплитуду второй гармоники на амплитуду первой гармоники либо подстраивает сигналы первой и второй гармоник на один уровень и затем их вычитает один из другого. Оба варианта дают возможность избавиться от мультипликативной помехи и поэтому представляют технический интерес. Рассмотрим по порядку первый вариант обработки сигналов. В этом случае сигнал на выходе блока 10 имеет вид

S = I2/I1, (12)

где

Ii - амплитуда i-й гармоники по частоте способ измерения перемещений, патент № 21158841 разложения сигнала (11).

График функции S от расстояния способ измерения перемещений, патент № 2115884 между зеркалами ИФП имеет периодический характер, причем на периоде имеется слабо выраженный минимум и ярко выраженный максимум (фиг.2). В прототипе искомая величина определяется по амплитуде второй гармоники, что явным образом содержит в себе источники погрешностей. Во-первых, мультипликативные помехи, которые накладываются на излучение на выходе ИФП, в той же мере влияют на величину второй его гармоники. Поэтому использование последней в качестве информативного параметра заведомо приводит к искажению искомого перемещения на величину помех. Во-вторых, амплитуда второй гармоники нелинейно изменяется на периоде, поэтому определение искомой величины по амплитуде второй гармоники является неточным.

В данном способе предлагается использовать пик отношения второй к первой гармонике как сигнал, управляющий компаратором 11. Последний сравнивает выходной сигнал блока 10 с опорным Uоп, который обеспечивается блоком 12, т. е. электронным образом можно настраиваться на определенный заранее выбранный режим работы устройства. С этим может быть связана, например, шкала датчика, что позволит избежать ограничения диапазона измерений. Кроме того, электронное деление приводит к подавлению мультипликативных помех, содержащихся как в самом сигнале, так и в его гармониках.

Рассмотрим, например, линейное возрастание величины способ измерения перемещений, патент № 2115884 в ИФП (измеряемое перемещение) (фиг. 3, а). Компаратор 11 срабатывает по соответствию уровня приходящего сигнала I2/I1 с блока 10 с опорным Uоп (фиг. 3, б и в). Выходной сигнал компаратора 11, точнее его передний фронт, является управляющим для устройства выборки и хранения 13, на который также поступает пилообразный сигнал частоты способ измерения перемещений, патент № 21158842 от устройства 2 (фиг.3, г). При этом устройство 13 формирует сигнал в соответствии с измеряемым параметром U (способ измерения перемещений, патент № 2115884) и хранит его до следующего управляющего импульса с компаратора 11 (фиг.3, д). Опорное напряжение Uоп выбирается таким образом, чтобы компаратор 11 срабатывал в области, где выходной сигнал блока сравнения 10 имеет наибольшую крутизну.

Во втором случае блок сравнения 10 вычитает сигналы один из другого, например из амплитуды первого сигнала вычитаем амплитуду второго сигнала при предварительной их подстройке до пересечения. Это возможно с использованием электронного усилителя, коэффициент усиления которого kус выбирается следующим образом: сигналы амплитуд первой и второй гармоник становятся таковыми, что график их разности пересекает ноль (ось времени) в своем наиболее крутом участке. Выходной сигнал блока 10 имеет вид

S = I2 - I1,

причем на каждом периоде график функции S пересекает ноль дважды (фиг.4, б и в). Это также позволяет задавать режим срабатывания компаратора с использованием нулевого опорного напряжения Uоп = 0. Дальнейшая обработка сигнала аналогична обработке при делении (фиг.4, г, д и е). Вычитание (10) позволяет также избавиться от мультипликативной помехи за счет того, что хотя сами выражения I2, I1 и подвержены влиянию последней, но их разность уже не содержит помех в точке, где обращается в ноль. Кроме того, в случае вычитания аппаратная схема устройства проще по отношению к случаю деления. Электронное деление требует применения цифровой техники, что усложняет реализацию способа. При аналоговом делении точность деления не превышает 0,5 - 1%.

Конкретно способ может быть реализован следующим образом.

Проведем расчет амплитуд токов накачки для полупроводникового GaAs-лазера. Воспользуемся численными данными, приведенными в [4].

Устройство формирования постоянного тока 4 выводит излучатель 1 в рабочую точку, формируя постоянный ток I0 = 100 мА. Для простоты будем считать, что модуляция тока накачки устройством 2 на частоте способ измерения перемещений, патент № 21158842 происходит по пилообразному закону, обеспечивая добавку к длине волны способ измерения перемещений, патент № 21158840 на величину способ измерения перемещений, патент № 2115884способ измерения перемещений, патент № 21158842 . При этом модуляция излучения на частоте способ измерения перемещений, патент № 21158842 должна приводить к смещению порядка интерференции на единицу, что должно соответствовать (3) или

способ измерения перемещений, патент № 2115884

где

m - порядок интерференции.

Определим амплитуду модуляции излучения по пилообразному закону i0. Величина разности хода лучей способ измерения перемещений, патент № 2115884 определяет порядок интерференции m следующим образом:

способ измерения перемещений, патент № 2115884

где

n - показатель преломления среды между зеркалами ИФП;

h - расстояние между зеркалами ИФП (база ИФП);

способ измерения перемещений, патент № 2115884 - длина волны излучения.

Формулы (14) и (15) приводят к следующему выражению:

способ измерения перемещений, патент № 2115884

Длину волны излучения с учетом (2) можно представить

способ измерения перемещений, патент № 2115884

отсюда определяем

способ измерения перемещений, патент № 2115884

Для расчета примем k = 6способ измерения перемещений, патент № 211588410-9 м/А, способ измерения перемещений, патент № 21158840 = 8способ измерения перемещений, патент № 211588410-7 M, n = 1. Выражение (18) приводит к следующим результатам: для того чтобы измерить изменения h базы ИФП, составляющей порядка нескольких миллиметров, целесообразнее всего устанавливать значение i0 около 10 мА. График зависимости глубины модуляции сигнала на частоте способ измерения перемещений, патент № 21158842 от расстояния между зеркалами ИФП h приведен на фиг.5. При этом глубина модуляции остается порядка 10%.

Амплитуда модуляции i тока накачки устройством 3 должна быть меньше величины i0 на порядок и более для того, чтобы обеспечить выполнение условия (2). В данном случае можно принять i = 1 мА.

Таким образом, в отличие от прототипа предложенный способ позволяет устранить влияние мультипликативных помех за счет подавления их при электронном сравнении сигналов. Кроме того, способ позволяет более точно проводить измерения перемещений благодаря тому, что информативный сигнал пропорционален измеряемому параметру.

Источники информации

1. Зак Е.А. Волоконно-оптические преобразователи с внешней модуляцией. - М.: Энергоатомиздат, 1989, с. 5-8.

2. Оптические гомодинные методы измерений. - Журнал "Зарубежная радиоэлектроника", 1995, N6, с. 43 - 48.

3. Авторское свидетельство N 1516775 СССР, кл. G 01 B 11/14, 1989 (прототип).

4. Бутусов М. М. Волоконная оптика и приборостроение. М.: Машиностроение, 1987, 330 с.

Класс G01B11/14 для измерения расстояния или зазора между разнесенными предметами или отверстиями

способ измерения линейных перемещений -  патент 2515339 (10.05.2014)
оптическая измерительная система и способ измерения критического размера -  патент 2509718 (20.03.2014)
фотоэлектрический способ измерения линейных перемещений малоразмерных объектов в датчиках с многоэлементными приемниками излучения и устройство, его реализующее -  патент 2508524 (27.02.2014)
устройство для линейных перемещений с нанометровой точностью в большом диапазоне возможных перемещений -  патент 2502952 (27.12.2013)
устройство контроля положения объекта нано- и субнанометровой точности -  патент 2502951 (27.12.2013)
способ и устройство измерения зазора и выравнивания между деталями, закрепленными на узле при отсутствии одной из них -  патент 2491502 (27.08.2013)
лазерное устройство для измерения воздушного зазора электрической машины -  патент 2469264 (10.12.2012)
способ измерения межэлектродного расстояния в электровакуумных приборах -  патент 2468335 (27.11.2012)
устройство для определения расстояния между рабочей лопаткой и окружающей рабочую лопатку стенкой машины для превращения кинетической энергии потока в механическую энергию -  патент 2440555 (20.01.2012)
устройство для определения расстояния между рабочей лопаткой и окружающей рабочую лопатку стенкой машины для превращения кинетической энергии потока в механическую энергию -  патент 2439488 (10.01.2012)

Класс G01B11/00 Приспособления к измерительным устройствам, отличающиеся оптическими средствами измерения

способ определения остаточной сферичности отражающей поверхности -  патент 2528272 (10.09.2014)
устройство для изучения геометрических несовершенств резервуаров муаровым методом с двумя опорами -  патент 2528122 (10.09.2014)
устройство для диагностики состояния внутренней поверхности труб -  патент 2528033 (10.09.2014)
способ измерения толщин нанометровых слоев многослойного покрытия, проводимого в процессе его напыления -  патент 2527670 (10.09.2014)
способ анализа фазовой информации, носитель информации и устройство формирования рентгеновских изображений -  патент 2526892 (27.08.2014)
способ геодезических измерений инженерных объектов и устройство для его осуществления -  патент 2523751 (20.07.2014)
способ измерения двугранных углов зеркально-призменных элементов и устройство для его осуществления -  патент 2523736 (20.07.2014)
способ и устройство для измерения геометрии профиля сферически изогнутых, в частности, цилиндрических тел -  патент 2523092 (20.07.2014)
способ фотограмметрического измерения размеров и контроля формы тела, ограниченного набором связанных между собой поверхностей -  патент 2522809 (20.07.2014)
способ пассивной локализации ребер прямоугольного металлического параллелепипеда в инфракрасном излучении -  патент 2522775 (20.07.2014)

Класс G01B11/02 для измерения длины, ширины или толщины

способ измерения объектов малых размеров с неровными краями и интерферограмм на базе фотоэлектрических приемников излучения -  патент 2505783 (27.01.2014)
волоконно-оптический датчик перемещений -  патент 2489679 (10.08.2013)
оптико-телевизионное устройство для дистанционного визуального контроля и измерения линейных размеров -  патент 2480799 (27.04.2013)
способ анализа вяжущего материала на основе альфа-оксида алюминия (экспресс-метод) -  патент 2477452 (10.03.2013)
устройство для измерения физических параметров прозрачных объектов -  патент 2475701 (20.02.2013)
дальномер -  патент 2463553 (10.10.2012)
устройство контроля закрытой конструкции, система и способ контроля состояния лифтовой шахты -  патент 2461513 (20.09.2012)
способ измерения линейного смещения объекта и устройство для его осуществления -  патент 2456542 (20.07.2012)
устройство для измерения износа контактного провода путем обработки изображения -  патент 2430331 (27.09.2011)
устройство для измерения износа контактного провода -  патент 2416068 (10.04.2011)

Класс G01B21/00 Приспособления или их детали к измерительным устройствам, не относящиеся к конкретному типу измерительных устройств, упомянутым в других группах данного подкласса

акустооптический способ измерения смещений -  патент 2523780 (20.07.2014)
адаптивный датчик идентификации и контроля положения изделий повышенной надежности -  патент 2522114 (10.07.2014)
адаптивный датчик идентификации и контроля положения нагретых неметаллических и ненагретых неметаллических изделий -  патент 2518977 (10.06.2014)
способ и устройство для измерения толщины отложений -  патент 2518017 (10.06.2014)
способ сбора и обработки информации о поверхности образца -  патент 2516022 (20.05.2014)
адаптивный датчик идентификации и контроля положения четырех видов изделий -  патент 2515046 (10.05.2014)
цифровой многокомпонентный датчик перемещений -  патент 2500986 (10.12.2013)
способ контроля линейных и угловых отклонений от вертикального направления для дистанционного мониторинга антенно-мачтовых сооружений -  патент 2477454 (10.03.2013)
оптическая система для определения пространственного положения магистрального трубопровода -  патент 2476822 (27.02.2013)
устройство идентификации и контроля положения изделий -  патент 2473045 (20.01.2013)

Класс G01B21/02 для измерения длины, ширины или толщины

датчик перемещений -  патент 2449243 (27.04.2012)
способ определения величины отложений на внутренней поверхности трубопровода и устройство для его осуществления -  патент 2439491 (10.01.2012)
способ измерения размеров малых объектов с помощью вариообъектива и устройство для его осуществления -  патент 2383855 (10.03.2010)
способ и устройство для измерения поступающего из газовой атмосферы количества компонента при термохимической обработке металлических деталей -  патент 2342635 (27.12.2008)
способ и устройство бесконтактного оптического измерения размеров объектов -  патент 2262660 (20.10.2005)
способ контроля зазора между технологическим каналом и графитовой кладкой реактора типа рбмк -  патент 2138862 (27.09.1999)
устройство для контроля размеров изделий с продольной осью симметрии -  патент 2117240 (10.08.1998)
фотобарьерный датчик -  патент 2107258 (20.03.1998)
устройство для контроля линейных размеров -  патент 2106599 (10.03.1998)
устройство для измерения размера периодически перемещающегося объекта -  патент 2103663 (27.01.1998)

Класс G01B21/16 для измерения расстояния между разнесенными объектами

Наверх