способ изготовления металлических копий дифракционных решеток и голограмм-матриц

Формула изобретения

Способ изготовления металлических копий дифракционных решеток и голограмм-матриц, в котором изготавливают первую копию, которую используют для изготовления вторых копий, отличающийся тем, что при изготовлении первой копии осуществляют запись аргоновым лазером на слое фоторезиста ФП-383 дифракционной решетки-матрицы или голограммы-матрицы, напыляют на матрицу в вакууме проводящий слой меди, наращивают слой меди в гальванической ванне и отделяют медную копию, а при изготовлении вторых копий используют разделительный слой окиси меди, образующийся естественным образом на первой копии при окислении меди кислородом воздуха.

Описание изобретения к патенту

Изобретение относится к оптико-механической промышленности, а именно к технологии копирования дифракционных решеток и голограмм-матриц.

Известен способ [1] , повышающий коэффициент отражения копий решеток в ультрафиолетовой области спектра благодаря нанесению отражающего покрытия на разделительный слой перед нанесением защитного слоя.

Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату к изобретению является способ [2] изготовления копий дифракционных решеток, включающий следующие операции:

1) приклеивание исходной решетки к подложке копии синтетической смолой холодного отвердения;

2) отделение отпечатка на слое твердой смолы от исходной решетки путем временной деформации подложек;

3) нагревание полученной копии до 100^oC;

4) покрытие полученной копии слоем алюминия для повышения коэффициента отражения;

5) первая копия на подложке с выпуклой поверхностью используется для получения вторичных вогнутых копий.

К недостаткам этих способов относятся сложность изготовления копий дифракционных решеток, а также неполное соответствие копий решетке-матрице из-за наличия разделительного слоя, который находится между решеткой-матрицей и решеткой-копией в процессе изготовления.

Цель изобретения - упрощение процесса изготовления копий дифракционных решеток, увеличение степени соответствия копий оригиналу. Это достигается тем, что первая копия дифракционной решетки-матрицы или рельефной голограммы-матрицы изготавливается без использования разделительного слоя и механического контакта между первой копией и оригиналом, что в качестве разделительного слоя при изготовлении вторых копий используется слой окисла меди, образующийся естественным образом при окислении меди кислородом воздуха.

Отражающие копии дифракционных решеток и голограмм-матриц по предложенному способу изготавливаются следующим образом:

1. Дифракционная решетка или голограмма-матрица записывается при помощи аргонового лазера на слое фоторезиста ФП-383. После обработки в щелочном растворе и сушки на дифракционную решетку-матрицу испарением в вакууме наносится слой меди. Затем проводится наращивание метала в гальванической ванне до получения необходимой толщины копии, после чего дифракционная решетка-матрица и металлическая копия механически разделяются. При этом дифракционная решетка-матрица обычно разрушается, а остатки фоторезиста на копии смываются щелочным раствором. Первая копия используется для изготовления последующих копий.

2. Первую копию выдерживают в течение суток в незапыленном помещении, либо в течение нескольких минут под кварцевой ультрафиолетовой лампой для образования окисла меди на поверхности. Этот слой служит в дальнейшем разделительным слоем.

3. Затем первую копию напыляют медью в вакууме и помещают в гальваническую ванну для наращивания слоя меди.

4. Полученную медную пластину промывают водой и сушат. После этого механически отделяют вторую копию от первой.

5. Первая копия используется для дальнейшего копирования.

6. На вторую копию наносится в вакууме высокоотражающее покрытие или другое покрытие, предотвращающее окисление меди.

Источники информации

1. Авторское свидетельство СССР N 811192, кл. G 02 B 5/18, 1979.

2. Авторское свидетельство СССР N 146071, кл. G 02 B 5/18, 1962.