катодный узел
| Классы МПК: | C23C14/35 с использованием магнитного поля, например распыление магнетроном |
| Автор(ы): | Ивашов Е.Н., Кондрашов П.Е., Оринчев С.М., Слепцов В.В., Степанчиков С.В. |
| Патентообладатель(и): | Московский государственный институт электроники и математики (технический университет) |
| Приоритеты: |
подача заявки:
1993-03-22 публикация патента:
10.09.1997 |
Задача повышения равномерности магнитного поля решается тем, что магнитная система выполнена в виде электромагнитов с замкнутым магнитным полем, каждый электромагнит содержит катушку индуктивности и сердечник, один конец которого связан с общим ярмом, а другой - с общим наконечником, число электромагнитов не менее трех и каждый из них имеет автономную систему питания. Устройство используется для нанесения тонких пленок в вакууме. 3 ил.
Рисунок 1, Рисунок 2, Рисунок 3
Формула изобретения
Катодный узел, содержащий электрод-мишень, конструктивно связанную с ним магнитную систему с полюсными наконечниками, отличающийся тем, что магнитная система выполнена в виде электромагнитов с общим ярмом и общим наконечником, имеющих автономную систему питания каждого элетромагнита, причем количество электромагнитов не менее трех.Описание изобретения к патенту
Изобретение касается нанесения тонких пленок в вакууме, более конкретно катодных узлов. Известен катодный узел [1] содержащий катод, мишень, анод, магнитную систему, нагреватель, расположенный со стороны анода, противолежащей рабочей поверхности катода. Недостатком аналога является неравномерность индукции по всей длине магнитной системы, что приводит к неравномерности нанесения тонкой пленки на поверхность подложки. Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является катодный узел [2] содержащий электрод-мишень конструктивно с ним взаимосвязанную магнитную систему, экраны и элементы охлаждения и напуска газа. Недостатком прототипа является то, что в магнитной системе индукция поля неравномерна, что приводит к неравномерности нанесения тонкой пленки на поверхность подложки. Задача изобретения повысить равномерность магнитного поля по всей длине магнитной системы. Эта задача решается тем, что магнитная система выполнена в виде электромагнитов с замкнутым магнитным полем, каждый электромагнит содержит катушку индуктивности и сердечник, один конец которого связан с общим ярмом, а другой с общим наконечником, число электромагнитов не менее трех и каждый из них имеет автономную систему питания. Введение в катодный узел электромагнитов с автономной системой питания, общим ярмом и наконечником обеспечивает возможность регулирования величины индукции на различных участках магнитной системы, что и позволяет достичь высокой равномерности магнитного поля по всей длине магнитной системы. На фиг. 1 показан общий вид катодного узла; на фиг. 2 схема магнитной системы; на фиг. 3 продольный разрез магнитной системы. Катодный узел содержит электрод-мишень 1, конструктивно с ним взаимосвязанную магнитную систему 2, экраны 3, элементы охлаждения 4 и напуска газа 5. Магнитная система 2 выполнена в виде электромагнитов 6 с замкнутым магнитным полем. Каждый электромагнит 6 содержит катушку индуктивности 7 и сердечник 8, один конец 9 которого связан с общим ярмом 10, а другой 11 с общим наконечником 12, число электромагнитов 6 не менее трех и каждый из них имеет автономную систему питания 13. Катодный узел работает следующим образом. При выполнении технологического процесса напыления на электромагниты 6 подается напряжение U1, U2,Un. Величина этих напряжений регулируется в зависимости от требуемой равномерности и величины рабочей индукции. Применение предлагаемого катодного узла позволяет повысить равномерность и обеспечивает возможность регулирования величиной магнитной индукции поля магнитной системы. Источники информации:1. Заявка ФРГ N 3619194, С 23 С 14/34, 1987. 2. Б.С.Данилин.Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок. М. Энергоатомиздат, 1989, с.72-74.
Класс C23C14/35 с использованием магнитного поля, например распыление магнетроном
