способ снижения трения и износа поверхностей изделий
| Классы МПК: | C23C14/48 ионное внедрение |
| Автор(ы): | Вершок Б.А., Маевский В.А., Обрезков О.И., Орлов В.Г., Филимонов А.П. |
| Патентообладатель(и): | Государственное опытно-конструкторское бюро "Горизонт" |
| Приоритеты: |
подача заявки:
1994-05-20 публикация патента:
20.05.1997 |
Изобретение относится к технике нанесения покрытий в вакууме и может быть использовано в машиностроении. Сущность изобретения: перед нанесением на поверхность трения покрытия из дисульфида молибдена и ионной имплантацией пучками ионов молибдена предварительно наносят вакуумным осаждением покрытие из сверхтвердых соединений одного из тугоплавких металлов IV - VI групп периодической системы элементов (Ti, Zr, Hf, Nb, Ta, Cr, W, Mo, V) с N, C, B или Si, толщиной 1 - 3 мкм. 1 табл.
Рисунок 1
Формула изобретения
Способ снижения трения и износа поверхностей изделий, включающий нанесение на поверхность трения дисульфида молибдена и ионную имплантацию ионов молибдена с энергией 20 100 кэВ и дозой приблизительно 1017 ион/см2, отличающийся тем, что перед нанесением покрытия из дисульфида молибдена и ионной имплантацией ионов молибдена на поверхность трения предварительно наносят покрытие из сверхтвердых соединений одного из тугоплавких металлов IV-VI групп Периодической системы элементов (Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Cr, Mo, W) с N, C, B или Si, толщиной 1 3 мкм.Описание изобретения к патенту
Изобретение относится к технике нанесения покрытий в вакууме и может быть использовано в машиностроении. Известен способ снижения трения и износа поверхностей изделия, включающий ионную имплантацию металлических и неметаллических веществ в сопряженные поверхности [1] Недостатком известного способа является низкая износостойкость изделий. Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является способ снижения трения и износа поверхностей изделий, включающий нанесение на поверхность трения дисульфида молибдена (MoS2) и ионную имплантацию пучками ионов молибдена [2]Недостатком известного способа является недостаточная стабильность фрикционных характеристик по времени. Задачей предлагаемого решения является повышение стабильности фрикционных характеристик по времени и улучшение износостойкости. Поставленная задача достигается тем, что в способе снижения трения и износа поверхностей изделий, включающем нанесение на поверхность трения MoS2 и ионную имплантацию ионов Mo, перед нанесением покрытия из MoS2 и ионной имплантацией ионами Mo на поверхность трения предварительно наносят покрытия толщиной 1 3 мкм из сверхтвердых соединений тугоплавких металлов IV VI групп периодической системы элементов (Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Cr, Mo, W) с N, C, B или Si. Способ осуществляется следующим образом. На поверхность трения наносят покрытие из упомянутых выше сверхтвердых соединений толщиной 1 3 мкм, после чего наносят слой дисульфида молибдена, что можно осуществить натиркой поверхности, либо любым другим способом нанесения покрытий, включая плазменное или вакуумное осаждение, затем подвергают эту поверхность имплантации ионами Mo с энергией 20 100 кэВ и дозой примерно 1017 ион/см2. Нанесение MoS2 на покрытие из упомянутых выше сверхтвердых соединений можно производить одновременно с ионной имплантацией Mo за счет любого метода вакуумного осаждения, совместимого с ионной имплантацией, например, за счет электронно-лучевого испарения MoS2 или ионно-лучевого распыления мишени из MoS2 пучком ионов Mo. Пример 1. На поверхность очищенной химическим путем стали X32H8M2 (ЭП527) методом магнетронного распыления наносили слой нитрида титана толщиной 2
1 мкм, затем эту поверхность натирали порошком MoS2, излишки порошка удалялись, после чего поверхность подвергали имплантации ионами Mo при энергии ионов 40 кэВ и с дозой облучения примерно 1017 ион/см2. Влияние поверхностной обработки на коэффициент трения и износостойкость образцов из стали Х32Н8М2, испытываемых по схеме сфера плоскость, представлена в таблице; сфера изготовлена из стали ШХ15, температура испытаний 20oC; сталь Х32Н8М2 термообработана на твердость HRC 50 60. Как следует из приведенных экспериментальных данных при испытаниях на трение образцов, на поверхность трения которых нанесено покрытие из TiN и проведена последующая имплантация ионов Mo с одновременным нанесением MoS2, отмечается снижение в 3 4 раза интенсивности изнашивания по сравнению с трением тех же образцов, с нанесенным MoS2 и имплантированных ионами Mo, но без предварительного покрытия TiN. При этом образцы с предварительно нанесенным покрытием TiN характеризуются высокой стабильностью коэффициента трения по времени. Подобного положительного эффекта можно достичь при использовании в качестве материала покрытия, осажденного до нанесения MoS2 и имплантации ионов Mo, и других сверхтвердых соединений тугоплавких металлов IV VI групп периодической системы элементов с N, C, B или Si.
Класс C23C14/48 ионное внедрение
