способ обработки поверхности

Способ обработки поверхности, включающий создание потока активных частиц и направление его на обрабатываемую поверхность с последующим взаимодействием потока частиц с поверхностью, отличающийся тем, что поток активных частиц формируют из активированных частиц, создающих на поверхности химически активные центры, и модифицирующих частиц, связывающих этих центры, причем энергию активированных частиц задают большей, чем энергия образования радиационных дефектов, а интенсивность на поверхности как парциального потока активированных частиц, так и парциального потока модифицирующих частиц задают большей, чем величина N/t, где N - поверхностная плотность ингибированных связей, подлежащих времени пребывания t точки обрабатываемой поверхности в потоке.