способ получения рисунка на поверхности
| Классы МПК: | G03F7/00 Фотомеханическое, например фотолитографическое, изготовление рельефных (текстурированных) поверхностей или поверхностей с рисунком, например печатные поверхности; материалы для этих целей, например содержащие фоторезисты; устройства, специально приспособленные для этих целей |
| Автор(ы): | Резникова Е.Ф., Прохорова С.А., Басова Т.В., Назьмов В.П., Аюпов Б.М., Игуменов И.К., Кригер Ю.Г. |
| Патентообладатель(и): | Институт неорганической химии СО РАН |
| Приоритеты: |
подача заявки:
1994-08-17 публикация патента:
20.04.1997 |
1. Способ получения рисунка на поверхности, включающий нанесение функционального рентгеночувствительного слоя на подложку, экспонирование рентгеновским излучением через рентгеношаблон, проявление скрытого позитивного и/или негативного изображения, отличающийся тем, что в качестве функционального рентгеночувствительного слоя наносят вакуумно-термическим методом слой фталоцианинов металлов. 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что для получения позитивного изображения проводят экспонирование слоя фталоцианинов металлов рентгеновским излучением дозой 3 - 5 кДж/см3. 3. Способ по п.1, отличающийся тем, что для получения негативного изображения проводят экспонирование слоя фталоцианинов металлов рентгеновским излучением дозой 30 - 40 кДж/см3.
Описание изобретения к патенту
Класс G03F7/00 Фотомеханическое, например фотолитографическое, изготовление рельефных (текстурированных) поверхностей или поверхностей с рисунком, например печатные поверхности; материалы для этих целей, например содержащие фоторезисты; устройства, специально приспособленные для этих целей
