способ динамического контроля импульсного газонапуска
| Классы МПК: | G01L21/34 с использованием электрических разрядных приборов с холодными катодами |
| Автор(ы): | Ахмеров Нариман Абдрахманович, Гендель Юрий Григорьевич, Кареев Юрий Александрович |
| Патентообладатель(и): | Ахмеров Нариман Абдрахманович, Гендель Юрий Григорьевич, Кареев Юрий Александрович |
| Приоритеты: |
подача заявки:
1994-03-11 публикация патента:
20.04.1997 |
Способ динамического контроля импульсного газонапуска в вакуумную камеру путем измерения давления в камере, в процессе которого контролируют ток, протекающий через зондируемый промежуток газовой среды под действием приложенного к нему напряжения, отличающийся тем, что в процессе газонапуска контролируют скорость изменения тока под действием прикладываемого к зондируемому промежутку нарастающего напряжения, которое сбрасывают каждый раз, как только контролируемый токовый сигнал достигает порогового уровня, установленного выше уровня его шумов, а давление газа определяют по максимальным значениям напряжения на газовом промежутке.
