способ нанесения пленочных покрытий на внутреннюю поверхность трубы
| Классы МПК: | C23C14/24 вакуумное испарение |
| Автор(ы): | Мартынов Михаил Иванович, Белокуров Алексей Петрович, Мартынова Оксана Михайловна |
| Патентообладатель(и): | Мартынов Михаил Иванович, Белокуров Алексей Петрович, Мартынова Оксана Михайловна |
| Приоритеты: |
подача заявки:
1994-06-14 публикация патента:
20.04.1997 |
1. Способ нанесения пленочных покрытий на внутреннюю поверхность трубы, включающий распыление в вакууме материала покрытия и осаждение его на внутреннюю поверхность трубы, отличающийся тем, что компенсированный ионный пучок направляют внутрь трубы вдоль ее оси, а распыляемую мишень, имеющую углубление и систему боковых отверстий, продвигают внутри трубы углублением вперед от одного конца трубы до другого навстречу ионному потоку. 2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что перед распылением в вакууме материала покрытия поверхность трубы активируют ионным пучком. 3. Способ по п.1, отличающийся тем, что мишень продвигают внутри трубы с постоянной или возрастающей скоростью. 4. Способ по п.1, отличающийся тем, что распыляемую мишень и/или трубу постоянно вращают вокруг продольной оси с несовпадающими угловыми скоростями.
Описание изобретения к патенту
Класс C23C14/24 вакуумное испарение
