устройство для закрепления подложек в вакуумных установках

Формула изобретения

Устройство для закрепления подложек в вакуумных установках, содержащее основание, подложкодержатель и контактные элементы в виде штырей, отличающееся тем, что каждый штырь контактного элемента выполнен в виде винта, один конец которого размещен в резьбовом отверстии, выполненном в основании, и цилиндрического диска, жестко закрепленного посредством шарового шарнира на другом конце штыря с возможностью контактирования торцевой поверхностью с подложкодержателем и выполненного из электретного материала.

Описание изобретения к патенту

Изобретение относится к области электронной техники, а более конкретно к устройствам для закрепления подложек, работающим в экологически чистых средах и вакууме.

Известно устройство для закрепления подложек в вакуумных установках [1] содержащее подложкодержатель, контактные элементы и термопару.

Недостатком аналога является то, что для фиксации подложкодержателя требуется отдельный крепеж, что усложняет схему подложкодержателя, а следовательно, снижает надежность закрепления подложек и не обеспечивает возможность изменения его ориентации в пространстве.

Наиболее близкой по технической сущности и достигаемому результату является конструкция устройства для закрепления подложек в вакуумных установках [2] содержащая подложкодержатель, контактные элементы, выполненные в виде штырей и установленные на основании.

Недостатком прототипа является то, что контактные элементы в виде штырей имеют на концах заострения, что не позволяет надежно закреплять подложки. А жесткие крепления штырей на основании не обеспечивает возможности изменения их ориентации в пространстве.

В основу изобретения положена задача повышения надежности закрепления подложек при обеспечении возможности их ориентации в пространстве.

Эта задача решается тем, что штыри выполнены в виде 3-х винтов, установленных в резьбовых отверстиях основания, на концах штырей, на шарнирных опорах-подпятниках жестко закреплены цилиндрические диски, выполненные из электретных материалов с возможностью контактного взаимодействия с подложкодержателем.

Введение в устройство для закрепления подложек 3-х винтов, установленных в резьбовых отверстиях основания, шарнирных опор-подпятников с цилиндрическими дисками из электретных материалов обеспечивает прочное контактное взаимодействие дисков и подложкодержателя за счет электростатического взаимодействия, а наличие резьбовых отверстий позволяет винтам перемещаться в вертикальном направлении с помощью винтового движения, что обеспечивает повышение надежности закрепления подложек при обеспечении возможности изменения их ориентации в пространстве.

Сопоставительный анализ заявляемого устройства для закрепления подложек в вакуумных установках с прототипом, показывает, что предлагаемое техническое решение соответствует критерию изобретения "новизна".

Сравнение заявляемого решения не только с прототипом, но и с другими техническими решениями в данной области техники, позволило выявить в них совокупность признаков, отличающих заявленное техническое решение от прототипа, что позволяет сделать вывод о соответствии критерию "существенные отличия".

На фиг. 1 показано предлагаемое устройство, вид спереди; на фиг. 2 то же, вид сбоку.

Устройство для закрепления подложек в вакуумных установках (фиг.1, 2) содержит подложкодержатель 1, контактные элементы 2, выполненные в форме 3-х штырей 3. Штыри 3 выполнены в виде винтов 4 и установлены в резьбовых отверстиях 5 основания 6. На концах 7 штырей 3, на шарнирных опорах-подпятниках 8 жестко закреплены цилиндрические диски 9, выполненные из электретных материалов, с возможностью контактного взаимодействия с подложкодержателем 1.

Устройство для закрепления подложек работает следующим образом (фиг.1, 2).

При установке подложкодержателя 1 на цилиндрические диски 9 происходит электростатическое контактное взаимодействие материалов дисков 9 и подложкодержателя 1 (электретные материалы дисков 9 предварительно поляризованы). В результате чего подложкодержатель 1 прочно удерживается на дисках 9. Возможность изменения ориентации подложкодержателя 1 в пространстве обеспечивается посредством винтов 4, которые перемещаются вертикально вверх-вниз в резьбовых отверстиях 5 основания 6. При этом возможно перемещение вдоль оси Z и вращение относительно осей X, Y.

Наличие шарнирных опор-подпятников 8, на которых жестко закреплены цилиндрические диски 9 обеспечивает ориентации этих дисков 9 совместно с подложкодержателем 1 в зависимости от расстояния между основанием 6 и диском 9.

Заряд с дисков 9 не стекает, так как он имеет объемный характер и достаточную стабильность. Электретное состояние может быть вызвано как "внутренней" релаксационной поляризацией, так и захваченными инжекторными зарядами ("внешняя" поляризация). Наиболее стабильными электретами являются пленки из фторопласта-4, в которых плотность заряда сохраняется неизменной в течение нескольких лет.

Применение предлагаемого устройства позволяет повысить надежность закрепления подложек при обеспечении возможности изменения их ориентации в пространстве.