способ получения монокристаллов селеногаллата серебра

Классы МПК:C30B11/00 Выращивание монокристаллов обычным замораживанием или замораживанием при температурном градиенте, например по методу Бриджмена-Стокбаргера
C30B15/00 Выращивание монокристаллов вытягиванием из расплава, например по методу Чохральского
Автор(ы):,
Патентообладатель(и):Филиал Научно-исследовательского физико-химического института им.Л.Я.Карпова,
Научно-исследовательский институт материалов электронной техники
Приоритеты:
подача заявки:
1994-07-07
публикация патента:

Изобретение относится к технологии получения тройных полупроводниковых соединений типа AIBIIICV2I и промышленно применимо при получении монокристаллов селеногаллата серебра, которые широко используются в производстве изделий нелинейной оптики. Задачей изобретения является получение высококачественных монокристаллов селеногаллата серебра больших физических размеров (диаметром до 40 мм, длиной до 100 мм) со следующими техническими характеристиками: диапазон пропускания 0,725 - 18,0 мкм; ширина запрещенной зоны 1,83 эВ; угол фазового согласования 46 - 48 град. Сущность изобретения: способ получения монокристалла селеногаллата серебра основан на получении монокристаллов направленной кристаллизации расплава при градиенте температуры вблизи фронта кристаллизации, при этом направленную кристаллизацию проводят вытягиванием монокристалла на затравку из расплава в тигле при градиенте температуры 170 - 190 oC/см и постоянстве стехиометрического состава выращиваемого монокристалла со скоростью 3 - 4 мм/ч. 1 табл.
Рисунок 1

Формула изобретения

Способ получения монокристаллов селеногаллата серебра направленной кристаллизацией расплава при градиенте температуры вблизи фронта кристаллизации, отличающийся тем, что направленную кристаллизацию проводят вытягиванием монокристалла на затравку из расплава в тигле при градиенте температуры 170 190 град/см и постоянстве стехиометрического состава выращиваемого монокристалла со скоростью 3 4 мм/ч.

Описание изобретения к патенту

Изобретение относится к технологии получения тройных полупроводниковых соединений типа AIBIIIC2VI и может быть использовано при получении мронокристаллов селеногаллата серебра, которые широко используются в производстве изделий нелинейной оптики (мощные технологические лазеры и др.).

Известен способ получения монокристаллов селеногаллата серебра направленной кристаллизацией расплава при градиенте температуры вблизи фронта кристаллизации 30оС/см и скорости выращивания 3-7 мм/сут [1]

Выращивание проводили методом Бриджена-Стокбаргера в кварцевых ампулах диаметром 3-5 см на затравочном кристалле, ориентированном вдоль направления (001).

Недостатками способа являются низкая скорость выращивания, высокая неоднородность монокристаллов, сильное отклонение от стехиометрического состава AgGaSe2 в сторону избытка Ga2Se3. С целью гомогенизации состава и устранения центров рассеивания кристаллы подвергались отжигу в парах Ag2Se и Ag2Se-Se при 750оС в течение 30 сут.

Задача изобретения получение высококачественных монокристаллов селеногаллата серебра больших физических размеров с хорошей однородностью и воспроизводимостью свойств и высоким процентом выхода годных монокристаллов.

Для этого направленную кристаллизацию проводят вытягиванием монокристалла на затравку из расплава в тигле при градиенте температуры 170-190оС/см со скоростью 3-4 мм/ч при постоянстве стехиометрического состава выращиваемого монокристалла.

При градиентах температуры менее 170оС/см снижается устойчивость роста монокристалла и уменьшается выход годного до 20% при градиентах температуры более 190оС/см также снижается выход годного за счет увеличения оптической неоднородности монокристаллов.

Постоянство стехиометрического состава выращиваемого кристалла обеспечивается увеличением градиента температуры на 3-5оС на каждый сантиметр длины.

При скорости увеличения градиента температуры менее 3оС/см длины монокристалла уменьшается скорость кристаллизации и соответствернно падает производительность процесса, при скорости увеличения градиента температуры более 5оС/см снижается выход монокристаллов за счет возрастания брака по растрескиванию слитков.

При скорости вытягивания менее 3 мм/ч снижается производительность процесса и возрастает неоднородность монокристаллов, при скорости вытягивания более 4 мм/ч снижается выход годных монокристаллов за счет растрескивания слитков.

П р и м е р. Синтез селеногаллата серебра проводят в тигле из пиролитического нитрида бора. Загрузку компонентов галлия, серебра и селена рассчитывают из стехиометрического соотношения их в соединении. В тигель загружают 161 г серебра чистотой 99,9999, 104 г галлия и 239 г селена. Тигель с загруженными компонентами помещают в камеру установки выращивания монокристаллов и нагревают до 1035-1045оС в течение 2 ч. Камеру установки предварительно откачивают до остаточного давления 10-2 мм рт.ст. и наполняют инертным газом до давления 40 атм. Указанные условия в камере выдерживают в течение 15 ч, что обеспечивает получение соединения высокой гомогенности. Полученный расплав соединения охлаждают со скоростью 100оС/ч до 700оС, после чего скорость охлаждения увеличивают до 150-200оС и охлаждают до комнатной температуры.

Полученный материал извлекают из тигля и контролируют рентгеновским методом фазовый состав. Синтезированный однофазный селеногаллат серебра вновь помещают в тигель установки выращивания монокристаллов. На верхнем штоке закрепляют затравку, а в тигель с загруженным селеногаллатом серебра помещают также 150 г оксида бора, который после расплавления создает на поверхности расплава в тигле слой толщиной 15 мм. Загруженные компоненты в тигле расплавляют и устанавливают температуру поверхности расплава на 10-12оС выше температуры плавления соединения, выдерживают расплав для гомогенизации при указанных условиях в течение 30-40 мин и проводят затравливание. После затравливания вытягивают монокристалл на затравку из расплава в тигле при осевом градиенте температуры в кристалле 170-190оС/см с увеличением градиента температуры на 3-5оС на каждый сантиметр длины вытягиваемого монокристалла. Скорость вытягивания монокристалла 3-4 мм/ч. Монокристалл выращивают в атмосфере инертного газа при давлении 8-12 атм.

Получают монокристалл селеногаллата серебра AgGaSe2 диаметром 40 мм и высотой 75 мм, стехиометрического состава с шириной запрещенной зоны способ получения монокристаллов селеногаллата серебра, патент № 2061109Е 1,83 эВ, диапазоном оптического пропускания способ получения монокристаллов селеногаллата серебра, патент № 2061109= 0,7-18,0 мкм, углом фазового согласования способ получения монокристаллов селеногаллата серебра, патент № 2061109=47 град, плотностью D 450 кг/мм2.

Режимы экспериментов реализации способа приведены в таблице.

Как видно из таблицы, предлагаемый способ позволяет получить высококачественные монокристаллы селеногаллата серебра, отличающиеся большими физическими размерами, высокой однородностью свойств и хорошими оптическими характеристиками, что невозможно получить в настоящее время другими способами.

Способ прошел испытание. В настоящее время монокристаллы селеногаллата серебра выпускаются опытными партиями для использования в производстве мощных технологических лазеров.

Класс C30B11/00 Выращивание монокристаллов обычным замораживанием или замораживанием при температурном градиенте, например по методу Бриджмена-Стокбаргера

способ получения кристаллов галогенидов таллия -  патент 2522621 (20.07.2014)
способ синтеза монокристаллических селенидов железа -  патент 2522591 (20.07.2014)
способ и устройство для выращивания монокристаллов сапфира -  патент 2520472 (27.06.2014)
способ получения твердых полупроводников с добавлением легирующих добавок в процессе кристаллизации -  патент 2515561 (10.05.2014)
кристаллы на основе бромида таллия для детекторов ионизирующего излучения -  патент 2506352 (10.02.2014)
способ выращивания алюмо иттриевого граната, легированного ванадием -  патент 2501892 (20.12.2013)
способ выращивания кристаллов галогенидов серебра и таллия -  патент 2487202 (10.07.2013)
способ получения кристаллических заготовок твердых растворов галогенидов серебра для оптических элементов -  патент 2486297 (27.06.2013)
способ получения кристаллов кремния -  патент 2473719 (27.01.2013)
способ получения ag-au халькогенида -  патент 2458190 (10.08.2012)

Класс C30B15/00 Выращивание монокристаллов вытягиванием из расплава, например по методу Чохральского

способ получения крупногабаритных монокристаллов антимонида галлия -  патент 2528995 (20.09.2014)
способ нанесения защитного покрытия на внутреннюю поверхность кварцевого тигля -  патент 2527790 (10.09.2014)
монокристалл, способ его изготовления, оптический изолятор и использующий его оптический процессор -  патент 2527082 (27.08.2014)
способ получения слоев карбида кремния -  патент 2520480 (27.06.2014)
устройство и способ выращивания профилированных кристаллов тугоплавких соединений -  патент 2507320 (20.02.2014)
способ выращивания кристаллов парателлурита гранной формы и устройство для его осуществления -  патент 2507319 (20.02.2014)
способ получения кремниевых филаментов произвольного сечения (варианты) -  патент 2507318 (20.02.2014)
сцинтиллятор для детектирования нейтронов и нейтронный детектор -  патент 2494416 (27.09.2013)
способ выращивания кристалла методом киропулоса -  патент 2494176 (27.09.2013)
способ выращивания монокристаллов германия -  патент 2493297 (20.09.2013)
Наверх