устройство для климатических испытаний полупроводниковых приборов

Формула изобретения

УСТРОЙСТВО ДЛЯ КЛИМАТИЧЕСКИХ ИСПЫТАНИЙ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ, содержащее механизм загрузки, рабочую камеру, в которой расположены шаговый транспортер с ячейками для полупроводниковых приборов, контактный механизм, транспортер подачи приборов по группам и механизм выгрузки, отличающееся тем, что механизм загрузки снабжен средством сортировки полупроводниковых приборов, контактным узлом и приемником годных и бракованных приборов, а ячейки транспортера установлены попарно и выполнены в виде расположенных параллельно одна другой в одной плоскости направляющих, напротив которых размещена крышка с образованием каналов для приборов, в донной части которых установлены плечи рычагов-упоров, закрепленных на крышке.

Описание изобретения к патенту

Изобретение относится к испытаниям микросхем.

Известно устройство для автоматизированного контроля и сортировки электронных деталей, в частности ИС.

Устройство разработано применительно к пенальной технологии, имеет блок контроля с одним входным отверстием для проверяемых ИС и двумя выходными отверстиями для годных и брака, накопитель для пустых пеналов, накопитель для заполненных пеналов, два захвата для манипуляции пустыми и заполненными пеналами. Недостатком данного устройства является сложная кинематическая схема, невысокая производительность из-за последовательности работы захватов при установке на позицию, загрузке, выгрузке, возвращении в исходное положение.

Известно также устройство для подготовки ИС к монтажу, содержащее механизм загрузки, механизм для вырубки ИС, контактный механизм, совмещенный с механизмом рихтовки выводов, и механизм сортировки ИС по электрическим параметрам.

Недостатком данного устройства является разнотипность устройства загрузки-выгрузки, затрудненный доступ к контактирующему, контактирование за счет деформации выводов ИС, закрытая конструкция ячейки.

Наиболее близким техническим решением, выбранным в качестве прототипа, является устройство для контроля и сортировки электронных деталей, в частности ИС. Устройство содержит входной и выходной бункеры, каждый из которых имеет по меньшей мере один канал для приема подводимых ИС и выдачи их на выход. Между входным и выходными бункерами расположена испытательная головка, с которой контактируют контролируемые ИС. Транспортировка ИС к испытательной головке и от нее осуществляется принудительно.

Недостатками данного устройства являются наличие единой позиции подачи и выдачи ИС, снижающее производительность, сложное гpейфеpное устройство для перегрузки ИС, наличие нескольких механизмов для выдачи ИС, карусель, поворотное устройство, трение ИС о диск при перемещении несущих элементов цепи и карусели.

Целью изобретения является расширение функциональных возможностей, повышение надежности в работе.

Цель достигается тем, что устройство снабжено камерой тепла, выполненной в виде замкнутого объема, внутри которого непрерывно движется транспортер, состоящий из спаренных ячеек П-образной формы с подпружиненными рычагами, позволяющими увеличить емкость камеры, вести автоматическую загрузку ИС в контактирующее устройство. Наряду с испытанием при нормальной температуре вести его при повышенной температуре.

Сравнительный анализ с прототипом показывают, что заявляемое устройство отличается наличием новых элементов: ячеек П-образной формы с подпружиненными рычагами. Таким образом, заявляемое устройство соответствует критерию "новизна".

Сравнение заявляемого решения с другими техническими решениями показывает, что применение транспортеров для переноса ИС известно. Однако использование в них ячейки с подпружиненными рычагами позволяет автоматизировать выгрузку ИС в контактирующее устройство в закрытом объеме.

Таким образом, новое сочетание признаков придает устройству новые свойства, с помощью которых достигается положительный эффект, что позволяет сделать вывод о соответствии заявляемого решения критерию "существенные отличия".

На фиг. 1 изображено предлагаемое устройство, общий вид; на фиг. 2 ячейка цепи; на фиг. 3 разрез А-А на фиг. 2; на фиг. 4 устройство в разрезе; на фиг. 5 разрез Б-Б на фиг. 2.

Устройство для контроля и сортировки ИС выполнено в виде самостоятельных механизмов загрузки 1, контактирования 2, сортировки 3, камеры 4 тепла, транспортера 5 разгрузки, механизмов 6, 7 выгрузки, бункера 8 для брака, смонтированных на поворотной, шарнирно опертой на каркас раме, позволяющей менять угол наклона направляющей. Перемещение ИС с позиции на позицию осуществляется под собственным весом по наклонной направляющей, а внутри камеры тепла и в транспортере разбраковки принудительно.

Устройство предназначено для контроля ИС 9 с двухрядным расположением выводов и работает с плоскими металлическими кассетами.

Кассета 10 с ИС загружается в механизм 1 загрузки, имеющий автоматическое перемещение на шаг справа налево. ИС поштучно выдаются на механизм 2 контактирования, откуда после измерения годные поступают в камеру 4 тепла, а брак механизмом 3 сортировки сбрасывается в бункер 11.

В камере тепла годные ИС попадают в ячейку 12 тpанспоpтеpа 13.

Транспортер выполнен в виде цепи из ячеек 12 П-образной формы. ИС, скользя между направляющей 14 и крышкой 15, останавливается на рычаге 16, удерживаемом в закрытом состоянии пружиной 17. После цикла тепловой обработки ячейка с ИС подходит к контактирующему устройству 18 и останавливается. Контроль за перемещением ИС внутри камеры осуществляется посредством световодов 19. ИС по направляющей 20 поступает в ячейку транспортера 5 разгрузки, имеющего конструкцию ячейки, аналогичную транспортеру 13. Из транспортера 5 ИС в соответствии с программой выгружаются в кассеты соответствующей группы и в бункер 8 для брака. Открытие ячеек на позициях выгрузки осуществляется электромагнитами. Механизмы загрузки 1, выгрузки 6, 7 по конструкции однотипны.

Преимуществами данного устройства является одновременное испытание ИС при нормальной и повышенной температурах, оригинальная конструкция ячейки, однотипность конструкции механизмов загрузки, выгрузки, транспортеров.