способ отбраковки светодиодов по радиационной стойкости

Классы МПК:H01L21/66 испытания или измерения в процессе изготовления или обработки
G01R31/26 испытание отдельных полупроводниковых приборов
Автор(ы):,
Патентообладатель(и):Севастопольский приборостроительный институт (UA)
Приоритеты:
подача заявки:
1989-09-20
публикация патента:

Изобретение относится к контролю испытаний полупроводниковых приборов и может быть использовано при отбраковке светодиодов по радиационной стойкости для радиоэлектронной аппаратуры, работающей в условиях воздействия ионизирующих излучений. Цель изобретения - осуществление возможности неразрушающей отбраковки потенциально нестойких диодов на основе корреляции температурных и радиационных изменений интенсивности излучения светодиодов. Для этого определяют изменение интенсивности излучения, измеренной при нормальной и максимально допустимой рабочих температурах, а затем используют ее в качестве информативного параметра при отбраковке по радиационной стойкости. 1 табл.
Рисунок 1

Формула изобретения

СПОСОБ ОТБРАКОВКИ СВЕТОДИОДОВ ПО РАДИАЦИОННОЙ СТОЙКОСТИ, включающий облучение партии светодиодов различными дозами способ отбраковки светодиодов по радиационной стойкости, патент № 2032963 -излучения, измерение информативных параметров светодиодов до и после воздействия g -излучения и отбраковку светодиодов на основании изменения информативных параметров светодиодов, отличающийся тем, что, с целью обеспечения неразрушающей отбраковки, в качестве информативного параметра измеряют интенсивность излучения светодиодов, предварительно на градуировочной партии светодиодов устанавливают корреляционную зависимость между изменением интенсивности излучения под действием g -излучения и изменением интенсивности при изменении температуры от нормальной до максимально допустимой рабочей температуры, а отбраковку светодиодов производят, используя полученную зависимость.

Описание изобретения к патенту

Изобретение относится к испытаниям полупроводниковых приборов, а именно к способам прогнозирования их надежности и может быть эффективно использовано при отбраковке светодиодов по радиационной стойкости (РС) в процессе производства и при комплектации радиоэлектронной аппаратуры, работающей в условиях воздействия ионизирующих излучений.

Известен способ отбраковки потенциально ненадежных светодиодов по информативным параметрам: падению напряжения при малых токах и изменению интенсивности излучения после испытаний светодиодов в течение 50 ч под термотоковой нагрузкой [1]

Наиболее близким по технической сущности к изобретению является способ отбраковки по РС полупроводниковых приборов и интегральных схем, основанный на измерении параметров приборов до и после облучения электронами или гамма-квантами с последующей отбраковкой тех приборов, информативные параметры которых испытали максимальные изменения. Остальные приборы подвергают термическому отжигу радиационных дефектов с целью восстановления их параметров [2]

Недостатком данного способа является его разрушающее воздействие на испытываемые приборы. Для светодиодов термический отжиг неприменим вследствие высокой температуры отжига радиационных дефектов в полупроводниках А3В5 (выше 200оС), при которой наступает разрушение светодиодов. Исключение операции термического отжига нежелательно из-за больших остаточных радиационных изменений параметров светодиодов.

Целью изобретения является обеспечение возможности неразрушающей отбраковки светодиодов по радиационной стойкости.

Указанная цель достигается тем, что определяют разность значений интенсивности излучения, измеренных при нормальной и максимально допустимой температурах, а затем используют ее в качестве информативного параметра. Нормальной температурой принято считать 20оС, а максимально допустимой для светодиодов согласно техническим условиям является 80оС. Указанная корреляция температурных и радиационных изменений параметров светодиодов была обнаружена и исследована экспериментально. Ее физической основой является увеличение скорости безизлучательной рекомбинации носителей заряда на дефектах в активной области светодиодной структуры. Однако при воздействии радиации изменения интенсивности излучения необратимы, в то время как температурные изменения полностью обратимы (если температура не превышает предельно допустимую), поэтому предлагаемый способ отбраковки по РС является неразрушающим.

Таким образом, предлагаемый способ позволяет классифицировать светодиоды по РС путем контроля информативного параметра-изменения интенсивности излучения светодиодов при температурах 20 и 80оС на промежуточных операциях, до резки пластин на кристаллы и сборки светодиодов, что исключает затраты на выполнение последующих технологических операций для отбраковки светодиодов.

П р и м е р. Светодиоды типа АЛ307А на основе GaAlAs в количестве N 20 шт. после измерения интенсивности излучения и вольтамперных характеристик подвергают гамма-облучению на изотопной установке 60Со в пассивном состоянии, при нормальной температуре, при мощности дозы 500 Р/с.

После облучения светодиодов дозами от 105 до 107Р проводилось повторное измерение параметров.

В процессе обработки результатов рассчитывают следующие величины: температурные изменения интенсивности излучения светодиодов при токе 10мА:способ отбраковки светодиодов по радиационной стойкости, патент № 2032963 Iт Io(20oC) Io(80oC) как разность значений интенсивности Io, измеренных при температурах 20 и 80оС соответственно; радиационные изменения интенсивности излучения светодиодов при токе 10мА: способ отбраковки светодиодов по радиационной стойкости, патент № 2032963Ip Io I(Dспособ отбраковки светодиодов по радиационной стойкости, патент № 2032963) как разность значений интенсивностей, измеренных при 20оС до [Io] и после [I(Dспособ отбраковки светодиодов по радиационной стойкости, патент № 2032963)] гамма-облучения соответственно; коэффициент парной линейной корреляции величин, где х способ отбраковки светодиодов по радиационной стойкости, патент № 2032963 Iт и yспособ отбраковки светодиодов по радиационной стойкости, патент № 2032963 Ip, определяют по формуле

способ отбраковки светодиодов по радиационной стойкости, патент № 2032963 способ отбраковки светодиодов по радиационной стойкости, патент № 2032963

В качестве критерия радиационной стойкости светодиодов принимают 50%-ное снижение интенсивности излучения. Наиболее близкой к такому изменению средних значений способ отбраковки светодиодов по радиационной стойкости, патент № 2032963 будет доза гамма-излучения I способ отбраковки светодиодов по радиационной стойкости, патент № 2032963106P, при которой способ отбраковки светодиодов по радиационной стойкости, патент № 2032963= 0,8.

При этой дозе корреляционную зависимость y от х можно аппроксимировать уравнением регрессии: y 5 + 2х. При способ отбраковки светодиодов по радиационной стойкости, патент № 2032963 35,5 (способ отбраковки светодиодов по радиационной стойкости, патент № 2032963)0,5= 18, что соответствует (способ отбраковки светодиодов по радиационной стойкости, патент № 2032963)0,5 6,5.

После отбраковки светодиодов с ( способ отбраковки светодиодов по радиационной стойкости, патент № 2032963Iт) способ отбраковки светодиодов по радиационной стойкости, патент № 20329636,5 из оставшихся 10-ти светодиодов у девяти ( способ отбраковки светодиодов по радиационной стойкости, патент № 2032963Ip)способ отбраковки светодиодов по радиационной стойкости, патент № 2032963 18 и только у одного светодиода (способ отбраковки светодиодов по радиационной стойкости, патент № 2032963 Ip) 20, т.е. составляет 55% от среднего значения первоначальной величины.

Пример иллюстрируется чертежом.

В таблице приведены результаты измерений и расчетов. Значения интенсивности излучения светодиодов и их изменений приведены в единицах тока (мкА) фотодиода ФД-24к, с помощью которого измеряли интенсивность излучения, пропорциональную фототоку ФД-24к в широком диапазоне значений.

Класс H01L21/66 испытания или измерения в процессе изготовления или обработки

способ определения мольной доли li2o в монокристаллах linbo3 -  патент 2529668 (27.09.2014)
устройство для сортировки на группы по электрическим параметрам плоских хрупких изделий -  патент 2528117 (10.09.2014)
способ контроля качества алмазных пластин, предназначенных для изготовления детекторов ионизирующих излучений -  патент 2525636 (20.08.2014)
способ обнаружения скрытых дефектов матричных бис считывания -  патент 2523752 (20.07.2014)
термокамера для испытания электронных изделий -  патент 2523098 (20.07.2014)
способ контроля качества светодиодной структуры -  патент 2521119 (27.06.2014)
способ определения электропроводности и толщины полупроводниковых пластин или нанометровых полупроводниковых слоев в структурах "полупроводниковый слой - полупроводниковая подложка" -  патент 2517200 (27.05.2014)
способ контроля дефектности эпитаксиальных слоев кремния на диэлектрических подложках -  патент 2515415 (10.05.2014)
способ увеличения выхода годных при изготовлении высокоплотных электронных модулей -  патент 2511007 (10.04.2014)
способ определения стойкости электронных компонентов и блоков радиоэлектронной аппаратуры к воздействию ионизирующих излучений -  патент 2504862 (20.01.2014)

Класс G01R31/26 испытание отдельных полупроводниковых приборов

способ разделения интегральных схем "по надежности" -  патент 2529675 (27.09.2014)
способ измерения шума узлов мфпу -  патент 2521150 (27.06.2014)
способ определения теплового сопротивления переход-корпус транзисторов с полевым управлением -  патент 2516609 (20.05.2014)
способ разделения полупроводниковых изделий по надежности -  патент 2515372 (10.05.2014)
способ отбраковки полупроводниковых изделий пониженного уровня качества из партий изделий повышенной надежности -  патент 2511633 (10.04.2014)
способ сравнительной оценки надежности партий полупроводниковых изделий -  патент 2511617 (10.04.2014)
устройство для измерения полного сопротивления и шумовых параметров двухполюсника на свч -  патент 2510035 (20.03.2014)
способ измерения теплового импеданса полупроводниковых диодов с использованием полигармонической модуляции греющей мощности -  патент 2507526 (20.02.2014)
способ разделения транзисторов по надежности -  патент 2507525 (20.02.2014)
способ контроля внутреннего квантового выхода полупроводниковых светодиодных гетероструктур на основе gan -  патент 2503024 (27.12.2013)
Наверх