скруббер

Формула изобретения

СКРУББЕР, включающий корпус, входной и выпускной патрубки для газа, форсунку, нейтрализатор и влагоотделитель, отличающийся тем, что, с целью повышения экологической чистоты за счет уменьшения загрязняющих отходов, он снабжен установленным между влагоотделителем и выпускным патрубком поглотителем, а нейтрализатор и влагоотделитель выполнены в виде соединенных между собой чередованием меньшего основания с большим конических трубок, при этом размеры трубок влагоотделителя меньше размеров трубок нейтрализатора, а форсунка выполнена шаровой формы.

Описание изобретения к патенту

Изобретение относится к конструкциям устройств для очистки газов от примесей и может быть использовано в полупроводниковых производствах для очистки технологических газов от водорода, паров хлоридов металлов, хлористого водорода и т. п. примесей.

Целью изобретения является повышение экологической чистоты за счет уменьшения загрязняющих отходов.

На чертеже показан скруббер, общий вид.

Скруббер состоит из вертикального корпуса 1 с входным 2 и выпускным 3 патрубками, нейтрализатора 4, форсунки 5, влагоотделителя 6, отстойника 7, перевернутого стакана 8, патрубков вывода шлама 9 и вывода жидкости (например, воды) 10. Между влагоотделителем 6 и выпускным патрубком 3 размещен поглотитель 11.

Скруббер работает следующим образом.

Газ, например водород, смешанный с парами тетрахлорида кремния, хлористым водородом и хлоридами или гидридами легирующих примесей (хлориды фосфора и мышьяка, арсин, фосфин, диборан - сильнодействующие отравляющие вещества) подают в устройство через входной патрубок 2. Затем он попадает в стакан 8, из которого выходит, барботируя через слой жидкости (например, воды) в отстойнике 7.

При этом газ частично очищается от примесей за счет абсорбции их жидкостью (например, водой), затем, поднимаясь вдоль корпуса 1, газ проходит через нейтрализатор 4 и также вступает в контакт с водой, поступающей из форсунки 5, очищаясь от примесей, абсорбируемых и уносимых водой. Далее газ поднимается и проходит через влагоотделитель и, очищенный от паров воды, поступает в поглотитель 11, выполненный, например, из активированного угля, в котором газы окончательно освобождаются от остатков вредных токсичных составляющих, и очищенный газ поступает в выпускной патрубок 3.

Выполнение нейтрализатора в виде соединенных между собой чередованием меньшего основания с большим конических трубок позволяет при прохождении через него газа отделять от него крупные включения примесей и капли жидкости (например, воды) с растворенными в ней примесями, которые, соскальзывая по трубкам вниз, попадают в отстойник для шлама и воды, что снижает содержание в газе разного рода токсичных составляющих, а это приводит к повышению экологической чистоты.

Размещение форсунки, выполненной в виде шара, над нейтрализатором позволяет еще раз активно вступать поднимающимся газам в контакт с жидкостью, например с водой, очищаясь при этом окончательно от примесей, абсорбируемых и уносимых водой, что повышает экологическую чистоту газов.

Выполнение влагоотделителя в виде соединенных между собой чередованием меньшего основания с большим конических трубок меньшего размера чем у нейтрализатора позволяет не пропускать через развитую за счет этого поверхность влагоотделителя остатки шлама и паров воды за счет их конденсации и потом удаления в отстойник.

Все это приводит к уменьшению содержания в газе разного рода токсичных составляющих при выбросе в атмосферу, что приводит к повышению экологической чистоты.

Снабжение поглотителем, размещенным между влагоотделителем и выпускным патрубком, выполненным, например, из активированного угля, позволяет улавливать из газа остатки вредных токсичных составляющих, после чего окончательно очищенный газ поступает в выпускной патрубок.

Кроме того, расширяются возможности использования скруббера, так как индивидуальные патрубки ввода могут быть запитаны от различных установок осаждения слоев, что позволяет осуществлять различные комбинации в организации цеховых коммуникаций сброса отходящих газов и совершенствовании систем их утилизации.

Использование изобретения позволяет значительно интенсифицировать процесс очистки.