устройство для нанесения пленок в вакууме

Формула изобретения

УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПЛЕНОК В ВАКУУМЕ, содержащее испаритель, установленный в вакуумной камере с возможностью перемещения, подложкодержатель с подложкой, отличающееся тем, что испаритель размещен на заглушке, к которой герметично подсоединен сильфон, герметично связанный другим концом с вакуумной камерой, с заглушкой одним концом подвижно связан эксцентриковый вал посредством подшипника качения, другой конец которого подвижно связан с водилом, имеющим сквозной радиальный паз, и с улиткой, в которой выполнен спиральный паз, водило установлено на валу электродвигателя с возможностью вращения, а улита установлена на торце электродвигателя неподвижно.

Описание изобретения к патенту

Изобретение относится к области электронной техники, а более конкретно к устройствам для нанесения покрытий в вакууме или чистых технологических средах.

Известно устройство для нанесения покрытий, содержащее три испарителя наносимого материала и подложкодержатель с подложкой. Все испарители размещены в вершинах квадрата, размерами не менее подложки и расположенного в плоскости, параллельной плоскости подложки.

Недостатком аналога является низкая неоднородность.

Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является устройство для нанесения покрытий, содержащее испаритель наносимого материала, установленный с возможностью вращения, и подложкодержатель с подложкой.

Недостатком прототипа также является низкая равномерность напыленного слоя, а также его неоднородность.

В основу изобретения положена задача повышения равномерности напыленного слоя при увеличении его однородности.

Эта задача решается тем, что испаритель установлен на заглушке, герметично связанной с сильфоном, также герметично установленным в вакуумной камере, с заглушкой одним концом подвижно связан эксцентриковый вал посредством подшипника качения, а другой конец эксцентрикового вала подвижно связан с водилом выполнен сквозной радиальный паз, и с улитой, в которой выполнен спиральный паз, водило установлено на валу электродвигателя с возможностью вращения, а улита неподвижно на торце электродвигателя.

Введение в устройство для нанесения покрытий герметизированного сильфона с заглушкой, на которой установлен испаритель, эксцентрикового вала, улиты и электродвигателя позволяет равномерно по всей поверхности подложки наносить покрытия, в результате чего достигается повышение равномерности напыленного слоя при увеличении его однородности.

Сопоставительный анализ заявленного устройства для нанесения покрытий с прототипом показывает, что предлагаемое техническое решение соответствует критерию изобретения "новизна".

Сравнение заявляемого технического решения не только с прототипом, но с другими техническими решениями в данной области техники, позволило выявить в них совокупность признаков, отличающих заявляемое решение от прототипа, что позволяет сделать вывод о соответствии критерию "существенные отличия".

На фиг. 1 показан продольный разрез устройства; на фиг. 2 - разрез А-А на фиг. 1.

Устройство для нанесения покрытий содержит испаритель 1 наносимого материала, подложкодержатель 2 с подложкой 3. Испаритель 1 установлен на заглушке 4, герметично связанный с сильфоном 5, также герметично установленным в вакуумной камере 6. С заглушкой 4 одним концом 7 подвижно связан эксцентриковый вал посредством подшипника 9, а другой конец 10 эксцентрикового вала 8 подвижно связан с водилом 11, в котором выполнен сквозной радиальный паз 12, и с улитой 13, в которой выполнен спиральный пах 14. Водило 11 установлено на валу электродвигателя 15 с возможностью вращения, а улита 13 - неподвижно на торце 16 электродвигателя 15.

Устройство для нанесения покрытий работает следующим образом.

При вращении вала электродвигателя 15 начинает вращаться водило 11, перемещая конец 10 эксцентрикового вала 8 по спиральному пазу 14 улиты 13.

При этом заглушка 4 совместно с испарителем 1 совершает плоскопараллельное движение по спиральной кривой в соответствии с формой спирального паза 14. Происходит равномерное и однородное нанесение покрытий.

Применение предлагаемого устройства для нанесения покрытий в вакууме или чистых технологических средах позволяет повысить равномерность напыленного слоя при увеличении его однородности.

Устройство целесообразно использовать при разработке экологически чистого технологического оборудования электронной техники. (56) Авторское свидетельство СССР N295829, кл. С 23 С 14/26, 1971.