способ многослойного нанесения покрытий на подложку

Классы МПК:C23C14/48 ионное внедрение
C23C14/02 предварительная обработка покрываемого материала
C23C28/00 Способы получения по крайней мере двух совмещенных покрытий либо способами, не предусмотренными в одной из основных групп  2/00
Автор(ы):, , , , , ,
Патентообладатель(и):Семенов Виктор Никонорович (RU)
Приоритеты:
подача заявки:
2011-12-30
публикация патента:

Изобретение относится к технологии получения покрытий при изготовлении режущего инструмента. Осуществляют нанесение покрытия на подложку из высокоуглеродистой стали в среде инертного газа. Сначала выполняют очистку поверхности подложки потоком ионов инертного газа методом конденсации с ионной бомбардировкой (КИБ) при температуре 550-600°С. Никелевое покрытие наносят методом КИБ при температуре 550-600°С. Затем осуществляют его отжиг с повышением температуры до 650-700°С и последующее нанесение карбида хрома. Изобретение позволяет повысить плотность и однородность покрытий и адгезию между подложкой и первым слоем покрытия из никеля, а также - между покрытиями из никеля и карбида хрома. 1 пр.

Формула изобретения

Способ нанесения покрытия на заготовку режущего инструмента из высокоуглеродистой стали, включающий очистку поверхности заготовки и нанесение многослойного покрытия, отличающийся тем, что очистку поверхности заготовки осуществляют потоком ионов аргона методом конденсации с ионной бомбардировкой (КИБ) при температуре 550-600°С, затем наносят слой никеля методом КИБ при температуре 550-600°С, после чего осуществляют его отжиг при температуре 650-700°С и нанесение слоя кластерного покрытия карбида хрома.

Описание изобретения к патенту

Изобретение относится к технологии получения покрытий, стойких в процессе обработки деталей из жаропрочных и высокопрочных сплавов, и может быть использовано при изготовлении режущего инструмента, работающего при точении сверхтвердых металлов.

Режущий инструмент с многослойным покрытием успешно работает при точении вышеназванных металлов и сварного шва, имеющего даже большую твердость в сравнении с указанными металлами. Наиболее приемлемым для получения никелевого покрытия является метод конденсации с ионной бомбардировкой (КИБ). Для покрытия из карбида хрома используется способ плазменно-кластерного типа. Плазменно-кластерная технология основана на подаче напыляемого порошкового материала микронного размера в канал плазматрона. В сопле плазматрона и в струе плазмы, истекающей в вакуумную камеру с напыляемым материалом (Cr3C3), происходят различные теплофизические процессы: плавление, диспергирование и испарение. Дальнейшее расширение, струи, плазмы в вакуумной камере приводит к тому, что парообразная фаза материала (Cr2C3)

начинает конденсироваться на поверхности инструмента с образованием кластеров, из которых в дальнейшем образуются наночистицы.

Оба способа позволяют обеспечить плотные и равномерные по толщине покрытия.

Известен способ вакуумного ионно-плазменного нанесения покрытий на подложку в среде инертного газа, включающий создание разности потенциалов между подложкой и катодом, очистку поверхности подложки потоком ионов, снижение разности потенциалов и нанесение покрытия с последующим отжигом. При этом ионный поток и поток испаряющегося материала, идущий от катода к подложке, экранируют. Однако данный способ используется для нанесения покрытий на рабочее колесо турбины энергетической установки, выполненное из высоколегированного сплава на основе никеля, а не на режущий инструмент (см. патент RU 2192501, кл. С23С 14/34, дата публикации 10.11.2002).

Известен также способ получения многослойного покрытия на режущем инструменте, включающий последовательное формирование методом вакуумно-дугового синтеза адгезионного, переходного и износостойкого слоев тугоплавких соединений. Для этого формируют адгезионный слой, содержащий, по крайней мере, один элемент из состава переходного слоя и/или его соединение, формируют переходный слой, содержащий тугоплавкое соединение металлов IV и/или V групп Периодической системы элементов, по крайней мере, один из которых из состава износостойкого слоя, и формируют износостойкий слой с нанокристаллической структурой, содержащий тугоплавкие соединения металлов из IV и/или V, и/или VI групп, легированные алюминием (см. патент RU 2413790, кл. С23С 14/06, дата публикации 27.11.2011). Однако при осуществлении этого способа проводится ускоренный нагрев и ускоренное охлаждение. Такой режим не обеспечивает адгезию между подложкой и покрытиями, и, кроме того, разность между коэффициентами линейного расширения материалов подложки и покрытий приводит к образованию трещин в покрытиях.

Предлагаемый способ нанесения покрытий на подложку из высокоуглеродистой стали в среде инертного газа включает очистку поверхности подложки потоком ионов инертного газа методом КИБ при температуре 550-600°С, нанесение никелевого покрытия методом КИБ при температуре 550-600°С и его отжиг с повышением температуры до 650-700°С и последующее нанесение карбида хрома плазменно-кластерным методом. Ионы инертного газа возникают при образовании плазмы за счет расщепления инертного газа.

Технический результат, достигаемый при осуществлении изобретения - повышение плотности и однородности покрытий, наносимых на заготовку режущего инструмента, и адгезии между подложкой и первым покрытием - никелем, и между покрытиями никелем и карбидом хрома, что способствует увеличению стойкости режущего инструмента при циклических нагрузках.

Процесс осуществляется следующим образом. Вначале заготовку (под режущий инструмент) обрабатывают в ацетоне с последующей обдувкой сжатым воздухом. Это позволяет удалить загрязнения с поверхности заготовки. Далее проводят установку заготовки в приспособление в рабочем объеме камеры установки (КИБ). Затем осуществляют вакуумирование рабочего объема установки до 1*10-5 мм. рт. ст. и после этого вводят в него аргон до достижения давления 4*10-2 мм. рт. ст. После этого в зоне воздействия дугового разряда создают электрическую мощность 2-3 кВт. Это обеспечивает формирование потока, содержащего ионы аргона, и осуществление процесса очистки поверхности подложки на заготовке режущего инструмента ионами аргона. Время очистки составляет 30-40 мин. После очистки поверхности наносят слой никеля толщиной 5-7 мкм и производят последующий отжиг в этой же установке при температуре 550±50°С. Время выдержки составляет 80-100 мин. Температура достигается в процессе бомбардировки поверхности (подложки) ионами аргона и частично ионами и атомами никеля. Никель для нанесения используется порошковый. Нанесение его осуществляют с увеличением электрической мощности в дуге до 4-6 кВт. Отжиг позволяет уплотнить никелевое покрытие за счет процесса самодиффузии его атомов и обеспечить адгезию никеля в подложку благодаря процессу диффузии. Никель с железом имеют сродство между собой. Далее заготовку с никелевым покрытием охлаждают в камере до температуры 100±10°С и затем устанавливают ее в плазменно - кластерную установку. После вакуумирования рабочего объема до 10-2 мм. рт. ст. заполняют рабочий объем аргоном до давления 50 Па. Затем осуществляют напыление порошка карбида хрома на никелевое покрытие.

Расход порошка карбида хрома составляет до 5 г/сек; температура газа доходит до 3300°С, давление в плазматроне до 70-100 Па, скорость нанесения покрытий до 1 мкм/сек. Охлаждение заготовки осуществляют, как в установке КИБ, так в и ионно-кластерной до температуры 100±10°С.

Ниже приведен пример осуществления предложенного способа. В качестве подложки использовали стержень - сталь 45 (основа - железо с добавкой углерода 0,45%). Перед началом проведения процесса нанесения покрытия рабочую камеру КИБ вакуумировали до 1*10-5 мм. рт. ст. и после того вводили в нее аргон до достижения давления 4*10-2 мм. рт. ст. Далее зажигали дугу мощностью до 3±0,1 кВт и осуществляли очистку поверхности (подложки) от окислов и одновременно при этом достигали развитой поверхности (подложки) для улучшения связи (адгезии) покрытия (никеля) с подложкой.

После очистки поверхности подложки наносили на нее покрытие из никеля толщиной 5+2 мкм. Температура на подложке составляла 550±50°С. Контроль температуры осуществляли пирометром. Далее проводили отжиг покрытия. Температуру на подложке поднимали до 650-700°С бомбардировкой подложки ионами аргона. Выдержку при этой температуре осуществляли в течение 10-15 мин. Далее заготовку с никелевым покрытием охлаждали в камере до температуры 100±10°С и затем устанавливали ее в установку плазменно-кластерного типа. После вакуумирования рабочего объема до 1 Па (1*10-2 мм рт. ст.) в камеру подавали разогретый плазмотроном газ (азот) с порошком карбида хрома. Устанавливалось динамическое давление около 50 Па (0,5 мм рт. ст.) Время нанесения покрытия составляло 5-10 мин. Толщина покрытия карбида хрома была в пределах 15-25 мкм. Скорость нанесения покрытий никеля составила 0,1 мкм/мин и карбида хрома 2-3 мкм/мин. После окончания нанесения покрытий осуществляли охлаждение в установке до температуры 100±10°С. Затем подложку охлаждали на воздухе.

Качество покрытий оценивали с помощью металлографического исследования. Установлено, что покрытия плотные, отмечена диффузия никеля в подложку и в покрытие карбида хрома. Все это доказывает достаточную прочность сцепления покрытий друг с другом и никеля с подложкой.

Класс C23C14/48 ионное внедрение

способ ионной имплантации поверхностей деталей из конструкционной стали -  патент 2529337 (27.09.2014)
способ импульсно-периодической ионной очистки поверхности изделий из диэлектрического материала или проводящего материала с диэлектрическими включениями -  патент 2526654 (27.08.2014)
конвертер вакуумного ультрафиолетового излучения в излучение видимого диапазона в виде аморфной пленки оксида кремния siox на кремниевой подложке -  патент 2526344 (20.08.2014)
устройство для химико-термической обработки деталей в несамостоятельном тлеющем разряде -  патент 2518047 (10.06.2014)
способ изготовления газодинамического подшипника поплавкового гироскопа -  патент 2517650 (27.05.2014)
способ имплантации ионами газов металлов и сплавов -  патент 2509174 (10.03.2014)
способ получения люминофора в виде аморфной пленки диоксида кремния с ионами селена на кремниевой подложке -  патент 2504600 (20.01.2014)
катод установки для ионной имплантации -  патент 2501886 (20.12.2013)
способ нанесения на металлическую деталь комплексного покрытия для защиты детали от водородной коррозии, состоящего из множества микрослоев -  патент 2495154 (10.10.2013)
способ получения имплантированного ионами олова кварцевого стекла -  патент 2486282 (27.06.2013)

Класс C23C14/02 предварительная обработка покрываемого материала

способ импульсно-периодической ионной очистки поверхности изделий из диэлектрического материала или проводящего материала с диэлектрическими включениями -  патент 2526654 (27.08.2014)
способ изготовления термического барьера, покрывающего металлическую подложку из жаропрочного сплава, и термомеханическая деталь, полученная этим способом изготовления -  патент 2526337 (20.08.2014)
способ предварительной обработки подложек для способа нанесения покрытия осаждением паров -  патент 2519709 (20.06.2014)
способ обработки поверхности изделий дуговым разрядом в вакууме -  патент 2509824 (20.03.2014)
способ нанесения антифрикционного износостойкого покрытия на титановые сплавы -  патент 2502828 (27.12.2013)
способ получения однофазных пленок нитрида титана -  патент 2497977 (10.11.2013)
способ нанесения на металлическую деталь комплексного покрытия для защиты детали от водородной коррозии, состоящего из множества микрослоев -  патент 2495154 (10.10.2013)
способ получения износостойкого покрытия на основе интерметаллида системы ti-al -  патент 2489514 (10.08.2013)
способ ионной имплантации поверхностей деталей из конструкционной стали -  патент 2482218 (20.05.2013)
способ и устройство для покрытия подложек -  патент 2468120 (27.11.2012)

Класс C23C28/00 Способы получения по крайней мере двух совмещенных покрытий либо способами, не предусмотренными в одной из основных групп  2/00

покрывная система, деталь с покрытием и способ ее получения -  патент 2528930 (20.09.2014)
способ нанесения покрытия -  патент 2528625 (20.09.2014)
двухслойное износостойкое покрытие режущего инструмента -  патент 2527829 (10.09.2014)
способ получения покрытий -  патент 2527107 (27.08.2014)
способ изготовления термического барьера, покрывающего металлическую подложку из жаропрочного сплава, и термомеханическая деталь, полученная этим способом изготовления -  патент 2526337 (20.08.2014)
способ восстановления изношенных поверхностей металлических деталей -  патент 2524470 (27.07.2014)
способ упрочнения электроосажденных железохромистых покрытий нитроцементацией -  патент 2524294 (27.07.2014)
холоднокатаный стальной лист, обладающий превосходной сгибаемостью и способ его производства -  патент 2524021 (27.07.2014)
скользящий элемент, в частности поршневое кольцо, с покрытием -  патент 2520858 (27.06.2014)
углерод-углеродный композиционный материал -  патент 2520281 (20.06.2014)
Наверх