измерительная система с полупроводниковым датчиком на основе карбидокремниевого диода шотки
Классы МПК: | H01L31/108 с потенциальным барьером Шотки |
Автор(ы): | Афанасьев А.В., Ильин В.А., Петров А.А. |
Патентообладатель(и): | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет, Государственное предприятие "Центр технологий микроэлектроники" |
Приоритеты: |
подача заявки:
2002-07-17 публикация патента:
20.02.2004 |
Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано в конструкции измерительной системы (ИС) температуры и/или ультрафиолетового излучения (УФИ). Для измерения температуры и возможности регистрации УФИ одним датчиком в условиях повышенной температуры ИС с полупроводниковым датчиком на основе карбидокремниевого диода Шотки (ДШ), содержащим подложку, выполненную из монокристаллического карбида кремния n+-типа проводимости с эпитаксиальным n-слоем, омический электрод (ОЭ), соединенный с n+-областью подложки, электроизоляционное покрытие, нанесенное на n-слой подложки со стороны, противоположной n+-области подложки, выпрямляющий электрод (ВЭ) из полупрозрачного слоя Au, соединенный с n-слоем подложки с образованием контакта Шотки через окно, выполненное в электроизоляционном покрытии, и выводной контакт (ВК), присоединенный к ВЭ. Между ВК и ОЭ подключена внешняя электрическая цепь, в которой установлены блок питания (БП) и блок регистрации (БР). БП содержит источник стабилизированного тока, подключенный к ДШ с возможностью подачи смещения в прямом направлении, а БР подключен к выходу ДШ по напряжению. ИС может быть дополнительно оснащена каналом регистрации УФИ. Технический результат - обеспечение одновременного контроля температуры и ультрафиолетового излучения, обеспечение работоспособности датчика при повышенной температуре, увеличение чувствительности. 4 з.п. ф-лы, 4 ил., 2 табл.
Рисунок 1, Рисунок 2, Рисунок 3, Рисунок 4, Рисунок 5, Рисунок 6, Рисунок 7, Рисунок 8, Рисунок 9, Рисунок 10, Рисунок 11, Рисунок 12, Рисунок 13, Рисунок 14