способ изготовления электронной пушки свч прибора о-типа

Классы МПК:H01J9/02 изготовление электродов или электродных систем 
H01J23/06 электронные или ионные пушки 
H01J9/18 сборка составных частей электродных систем 
Автор(ы):, ,
Патентообладатель(и):Государственное научно-производственное предприятие "Алмаз"
Приоритеты:
подача заявки:
1993-07-12
публикация патента:

Использование: в электронной технике для СВЧ- приборов О-типа. Сущность изобретения: пушечный блок с закрепленными в нем электродами помещают в откачной баллон, включают и замеряют вольт-амперную характеристику. Затем пушечный блок извлекают из баллона, проводят корректировку местоположения анода относительно катода с целью достижения требуемой вольт-амперной характеристики и окончательно закрепляют анод пушки. Величина, на которую производится корректировка местоположения анода, рассчитывается по формуле. 2 ил.
Рисунок 1, Рисунок 2

Формула изобретения

Способ изготовления электронной пушки СВЧ-прибора О-типа, включающий установку и закрепление катодного узла, управляющего электрода и анода в едином пушечном блоке, отличающийся тем, что включают пушечный блок, предварительно помещенный в откачиваемый баллон, замеряют катодный ток, после чего извлекают пушечный блок из баллона и изменяют местоположения анода в пушечном блоке относительно катодного узла для обеспечения требуемой величины тока на величину D, определяемую соотношением

способ изготовления электронной пушки свч прибора о-типа, патент № 2079921

где I0 необходимая величина тока;

I1 величина тока, полученная при тех же напряжениях на управляющем электроде и аноде и первоначальном положении анода относительно катодного узла и управляющего электрода;

d первоначальное расстояние между катодом и анодом, причем при D > 0 величину d увеличивают, а при D < 0 величину d уменьшают, и окончательно закрепляют анод.

Описание изобретения к патенту

Изобретение относится к области электронной техники, а именно к способам изготовления электронных пушек СВЧ-приборов O-типа, в которых электронный пучок формируется электронной пушкой типа пушки Пирса, содержащей катод, фокусирующий электрод и анод.

Идентичность параметров СВЧ-приборов в серийном производстве во многом определяется точностью изготовления применяемых в них электронных пушек. Например (см. Статистическое моделирование в проектировании, разработке и производстве ЭВП СВЧ, часть II: Обзоры по электронной технике. Сер. 1. Электроника СВЧ. А. Д. Есин, Ю.А. Калинин, О.М. Радюк. М. ЦНИИ "Электроника", 1986, вып. 5 (1168), 46 с.), показано, что разброс параметров электронных пучков в ЛБВ, обусловленный неточностями изготовления электронных пушек, приводит к разбросу выходной мощности в приборах различного класса от 1,5 до 37%

Необходимо отметить, что даже точное воспроизведение геометрии электронной пушки при ее изготовлении и сборке не всегда способно обеспечить достаточную повторяемость ее вольт-амперных характеристик. Причиной этого является нестабильность эмиссионных характеристик катодов и изменение межэлектродных расстояний при нагревании электронных пушек в процессе их работы. Например (см. Комплексный анализ теплофизических и электронно-оптических процессов в электронных пучках ЭВП. Е.Г. Забирова, С.П. Морев, А.Н. Якунин. Электронная техника. Сер. 1. Электроника СВЧ, 1986, вып. 2, с.27 30), уменьшение расстояния катод фокусирующий электрод вследствие нагрева катода в работающей электронной пушке приводит к увеличению тока на 7 10% по сравнению с величиной тока, рассчитанной в случае отсутствия теплового ухода межэлектродных расстояний.

Существуют способы изготовления электронных пушек (Электронная пушка для СВЧ-прибора О-типа. Н.Е. Жуков, В.И. Козлов, Г.П. Аникин. Электронная техника. Сер. 1. Электроника СВЧ, 1983, вып. 9, с. 40 41; Zippert G. 60GHz/10W - Wanderfeldrohre fur Intersatelliten-Nachrichtenverbindungen/ /Ausgewahlte Veroffentlichungen uber Mikrowellenrohren von AEG. Сб. материалов фирмы AEG, 1986, s. 37 46), в которых уменьшение влияния неточностей сборки в какой-то мере осуществляется за счет термокомпенсаторов, уменьшающих "тепловой уход" катода при его разогреве или за счет подачи дополнительного потенциала на электрически отделенный от катода фокусирующий электрод.

Наиболее близким к заявляемому способу изготовления электронной пушки является а. с. N 575962, кл. H01J 23/06, 1974, выбранное в качестве прототипа, в котором с помощью калиброванных пластин, вводимых в момент сборки электронной пушки через специальные прорези и калиброванные отверстия в монтажном аноде, обеспечивается повышение точности установки расстояний между анодом и электродами и центровка их относительно друг друга.

Однако в прототипе не гарантируется неизменность межэлектронных расстояний при нагревании электронных пушек в процессе их работы.

Разброс тока может быть уменьшен увеличением квалитета точности при изготовлении электронной пушки, однако это потребует более дорогих материалов и специальных параметров их обработки, более точного и дорого оборудования, использования более сложных и дорогостоящих измерительных средств и неизбежно приведет к большой отбраковке деталей и узлов и, как следствие, к высокой трудоемкости и дороговизне изделий.

Задачей, на решение которой направлено заявляемое изобретение, является повышение идентичности параметров прибора.

Поставленная задача достигается в способе изготовления электронной пушки СВЧ-прибора O-типа, заключающемся в закреплении катодного узла, управляющего электрода и анода в едином пушечном блоке, включении пушечного блока, предварительно помещенного в откачиваемый баллон, замере катодного тока, извлечении пушечного блока из баллона и корректировке местоположения анода на величину D, определяемую с помощью соотношения:

способ изготовления электронной пушки свч прибора о-типа, патент № 2079921

где I0 необходимая величина тока, I1 величина тока, полученная при тех же напряжениях на фокусирующем электроде и аноде и первоначальном положении анода относительно катода и фокусирующего электрода, d первоначальное расстояние между катодом и анодом.

При D<0 расстояние d уменьшают на величину D, а при D>0 расстояние d увеличивают на величину D и окончательно закрепляют анод.

Заявляемое решение основано на следующих закономерностях формирования электронных пучков в электронных пушках O-типа. Известно (см. И.В. Алямовский. Электронные пучки и электронные пушки. М. Советское радио, 1966, 456 с.), что при фиксированных напряжениях на фокусирующем электроде и аноде величина тока электронной пушки полностью определяется ее геометрией и зависит от расстояния d между катодом и анодом следующим образом:

способ изготовления электронной пушки свч прибора о-типа, патент № 2079921

Искомая величина корректировки местоположения анода d получается при дифференцировании соотношения (2).

Предлагаемый способ изготовления электронных пушек был реализован следующим образом и поясняется фиг. 1.

В блоке электродов (фиг.1) были закреплены предварительно изготовленные катодный узел (1), управляющий электрод (2) и анод (3) на расстоянии d 3 мм от катодного узла. После помещения пушечного блока в откачиваемый баллон было произведено включение электронной пушки и замер ее вольт-амперной характеристики (см. фиг. 2, кривая 1) при управляющем электроде, электрически соединенном с катодным узлом. В результате данных измерений получена величина катодного тока I1 6,6 мА вместо требуемого I0 6,1 мА при напряжении на аноде 500 В.

После извлечения пушечного блока из баллона было проведено изменение местоположения анода относительно катодного узла на величину D 0,1 мм, что с точностью до 0,013 мм соответствует вычисленной по формуле (1) поправке, и окончательное закрепление анода. Проведенное дополнительное измерение вольт-амперной характеристики (фиг. 2, кривая 2) подтвердило правильность выбора межэлектродных расстояний в электронной пушке.

Сопоставительный анализ заявляемого способа изготовления электронной пушки СВЧ-прибора O-типа с прототипом показывает наличие новых операций: заключение электронной пушки в откачиваемый баллон, включение пушечного блока и замер его вольт-амперных характеристик при первоначальной установке анода, извлечение пушечного блока из откачиваемого баллона, изменение местоположения анода в пушечном блоке относительно катодного узла на величину D с его последующей установкой и закреплением.

Наличие перечисленных отличительных признаков в заявляемом способе позволяет:

во-первых, учитывать возможные изменения тока, вызванные неточностями изготовления электродов, их посадочных мест и неточностями сборки;

во-вторых, учитывать возможную нестабильность эмиссионной характеристики катода и возможное тепловое изменение межэлектродных расстояний.

Обеспечивается идентичность вольт-амперных характеристик данных пушек практически на уровне точности их измерения, а следовательно, повышается идентичность параметров СВЧ-приборов O-типа.

Класс H01J9/02 изготовление электродов или электродных систем 

способ изготовления эмиттера электронов вакуумного или газонаполненного диода -  патент 2526541 (27.08.2014)
способ изготовления автоэмиссионного катода -  патент 2526240 (20.08.2014)
технологический прибор для обработки полого холодного катода в газовом разряде -  патент 2525856 (20.08.2014)
трехмерно-структурированная полупроводниковая подложка для автоэмиссионного катода, способ ее получения и автоэмиссионный катод -  патент 2524353 (27.07.2014)
способ изготовления мдм-катода -  патент 2521610 (10.07.2014)
автоэмиссионный катод -  патент 2504858 (20.01.2014)
способ изготовления многоострийных автоэмиссионных катодов -  патент 2486625 (27.06.2013)
способ изготовления матрицы многоострийного автоэмиссионного катода на монокристаллическом кремнии -  патент 2484548 (10.06.2013)
электрод на основе оксида олова -  патент 2483376 (27.05.2013)
способ повышения деградационной стойкости сильноточных многоострийных автоэмиссионных катодов -  патент 2474909 (10.02.2013)

Класс H01J23/06 электронные или ионные пушки 

электронная пушка магнетронного типа для формирования винтовых электронных пучков с ловушкой отраженных электронов -  патент 2523447 (20.07.2014)
электронная пушка свч прибора -  патент 2367052 (10.09.2009)
многолучевая электронная пушка -  патент 2331135 (10.08.2008)
электронная отпаянная пушка для вывода ленточного электронного потока из вакуумной области пушки в атмосферу или иную газовую среду -  патент 2267830 (10.01.2006)
способ получения объемного заряда -  патент 2258973 (20.08.2005)
электронная пушка для свч-прибора о-типа -  патент 2212728 (20.09.2003)
лампа бегущей волны -  патент 2207654 (27.06.2003)
электронная отпаянная пушка для вывода электронного потока из вакуумной области пушки в атмосферу или иную газовую среду -  патент 2201635 (27.03.2003)
многолучевая электронная пушка с низковольтным управлением -  патент 2123739 (20.12.1998)
электронный прожектор электронно-лучевой пушки -  патент 2093918 (20.10.1997)

Класс H01J9/18 сборка составных частей электродных систем 

способ изготовления устройства электронной эмиссии, источника электронов, использующего его, устройства формирования изображения и устройства отображения и воспроизведения информации -  патент 2399983 (20.09.2010)
сборка на основе микроканальной пластины -  патент 2350446 (27.03.2009)
способ диффузионного соединения для микроканальных пластин -  патент 2343058 (10.01.2009)
способ изготовления эоп с прямым переносом изображения и устройство для его осуществления -  патент 2216816 (20.11.2003)
способ изготовления фотоэлектронного прибора -  патент 2214646 (20.10.2003)
способ изготовления блока арматуры газоразрядной индикаторной панели -  патент 2214017 (10.10.2003)
способ изготовления эоп 3-го поколения методом переноса и устройство для его осуществления -  патент 2210833 (20.08.2003)
откачивающее устройство, предусматривающее применение неиспаряющегося геттера, и способы применения данного геттера -  патент 2193254 (20.11.2002)
способ изготовления и сборки электронной пушки с анодным блоком свч лампы о-типа -  патент 2080683 (27.05.1997)
устройство для извлечения маски экрана цветного кинескопа -  патент 2040823 (25.07.1995)
Наверх