способ термостабилизации рабочей частоты устройств на поверхностных магнитостатических волнах

Классы МПК:C30B19/02 с использованием расплавленных растворителей, например флюсов
C30B29/28 с формулой A3Me5O12, где A - редкоземельный металл, а Me - Fe, Ga, Sc, Cr, Co или Al, например гранаты
Автор(ы):, , , ,
Патентообладатель(и):Научно-исследовательский институт материалов электронной техники
Приоритеты:
подача заявки:
1992-01-19
публикация патента:

Использование: при конструировании и разработке устройств аналоговой обработки информации СВЧ диапазона. Сущность изобретения: кристаллографическая ориентация плоскости пленки ЖИГ, используемой в качестве волноведущего элемента, разориентирована на 0 15° от плоскостей (100) или (210) или (110) или (211), в качестве постоянного магнита используют магнит из сплава с неотрицательным температурным коэффициентом напряженности магнитного поля, затем магнит и пленку соединяют, при этом ПМСВ направляют под таким углом и выбранной в плоскости пленки кристаллографической оси, для которого температурный коэффициент частоты ПМСВ в пленке способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209F относится к температурному коэффициенту напряженности магнитного поля способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209H, как способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209F/способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209H= H/F (dF/dН), где Н напряженность магнитного поля; F частота ПМСВ. Предлагаемый способ позволяют обеспечить термостабильность рабочей частоты устройства аналоговой обработки СВЧ сигналов в более расширенном интервале температур (от -60 до +85°С). 1 з. п. ф-лы, 3 ил. 1 табл.
Рисунок 1, Рисунок 2, Рисунок 3, Рисунок 4

Формула изобретения

1. СПОСОБ ТЕРМОСТАБИЛИЗАЦИИ РАБОЧЕЙ ЧАСТОТЫ УСТРОЙСТВ НА ПОВЕРХНОСТНЫХ МАГНИТОСТАТИЧЕСКИХ ВОЛНАХ (ПМСВ), включающий взаимную компенсацию температурных зависимостей напряженности магнитного поля постоянного магнита и частоты ПМСВ волноведущего элемента на основе железоиттриевого граната (ЖИГ), отличающийся тем, что в качестве постоянного магнита берут магнит с неотрицательным температурным коэффициентом напряженности магнитного поля, а в качестве волноведущего элемента пленку ЖИГ или твердого раствора на его основе, эпитаксиально осажденную на подложку гадолинийгаллиевого граната, плоскость которой разориентирована на 0 15o от плоскости (100), или (210), или (110), или (211), затем магнит и пленку соединяют, при этом поверхностную МСВ направляют под таким углом к выбранной в плоскости пленки кристаллографической оси, для которого температурный коэффициент частоты ПМСВ в пленке способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209F относится к температурному коэффициенту напряженности магнитного поля постоянного магнита способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209Н как

способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209

где H напряженность магнитного поля;

F частота ПМСВ.

2. Способ по п.1, отличающийся тем, что постоянный магнит изготовлен из сплава РЗМ-ПМ-В.

Описание изобретения к патенту

Изобретение относится к спинволновой электронике и может быть использовано при конструировании и разработке устройств аналоговой обработки информации СВЧ-диапазона.

Малогабаритные планарные устройства обработки информации на магнитостатических волнах (МСВ), выполненные на основе пленок железоиттриевого граната, способны заменить массивные устройства на объемных монокристаллах ферритов, что позволяет снизить вес и габариты аппаратуры СВЧ, упростить схемы, повысить их надежность и снизить энергопотребление.

Однако широкое использование этих устройств в технике сдерживается недостаточной термостабильностью их параметров, в частности рабочей частоты, что обусловлено зависимостью от температуры окружающей среды ряда параметров составных частей устройства намагниченности насыщения и константы анизотропии пленки ЖИГ, напряженности магнитного поля смешения, создаваемого постоянным магнитом.

Зависимость этих величин от температуры оценивают относительными коэффициентами способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209F 1/FМСВспособ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209 (dFМСВ/dT), оС-1 температурный коэффициент частоты МСВ в пленке ЖИГ; способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209H= способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209 способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209 способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209 температурный коэффициент напряженности магнитного поля; ТКЧ способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209 способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209 способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209 температурный коэффициент частоты устройства на МСВ. Для практического использования устройств на МСВ необходимо, чтобы ТКЧ не превышал 5 способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 205120910-5оС-1 в интервале (-60)-(+85)оС.

Известен способ термостабилизации СВЧ устройства на прямых объемных магнитостатических волнах (ПОМСВ) [1] по которому для термостабилизации линии задержки на прямых объемных МСВ с рабочей частотой 7,58 ГГц, выполненной на основе эпитаксиальной структуры ЖИГ/ГГГ ориентации (111) применена магнитная система, создающая поле, перпендикулярное плоскости пленки, и имеющая температурный коэффициент, согласованный по величине с температурным коэффициентом частоты в пленке ЖИГ и противоположный по знаку. Это было достигнуто применением в магнитной системе полюсных наконечников из сплавов SmCo5 c ТКВr -0,04% /оС и RARENET-B с TKBr -0,09%/oC. Термостабилизация по данному способу достигается компенсацией изменения частоты ПМСВ в пленке противоположным изменением поля смешения, что позволило получить ТКЧ +6 способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 205120910-6 оС-1 в интервале температур от +25 до +70оС.

Недостатком данного способа является невозможность термостабилизации частоты при поле смешения, параллельном плоскости пленки, что необходимо для возбуждения поверхностных МСВ.

Наиболее близким к изобретению по технической сущности является способ термостабилизации устройства на МСВ, заключающийся в намагничивании эпитаксиальной пленки ЖИГ ориентации (111) под определенным углом к нормали, который обеспечивается специальной конструкцией магнитной системы на основе постоянных магнитов из сплава SmCo5 [2]

Намагничивание пленки ЖИГ под углом к нормали приводит к возбуждению смешанных (поверхностно-объемных) типов волн, температурный коэффициент которых имеет противоположный знак по сравнению с коэффициентом напряженности магнитного поля магнита, что дает возможность их взаимной компенсации.

Недостатком данного способа является малый температурный диапазон термостабильности частоты (от +24 до +44оС) и увеличение габаритов и сложности магнитной системы.

Цель изобретения расширение температурного интервала термостабильности при одновременном упрощении конструкции устройства.

Цель достигается тем, что в качестве магнита используют магнит из сплава с неотрицательным температурным коэффициентом напряженности магнитного поля, а в качестве волноведущего элемента пленку ЖИГ или твердого раствора на его основе, эпитаксиально осажденную на подложку из гадолиний-галлиевого граната, плоскость которой разориентирована на угол 0-15о от плоскости (100) или (210), или (110), или (211), пленку и магнит соединяют, при этом поверхностную МСВ направляют под таким углом к выбранной в плоскости пленки кристаллографической оси, для которого температурный коэффициент частоты ПМСВ в пленке способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209F относится к температурному коэффициенту напряженности магнитного поля постоянного магнита способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209Н, как способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209F/способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209H= -H/F способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209 способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209.

Применение магнитов с отрицательным Н приводит к увеличению ТКЧ устройства до значений, превышающих 5способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 205120910-5оС-1; применение пленок ЖИГ ориентации (111), где способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209F не зависит от угла между направлением распространения волны, не позволяет обеспечить условие термостабильности, что также приводит к увеличению ТКЧ. При угле разориентации плоскости способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209 большем чем 15о минимальная величина способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209F пленки превышает величину 7способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 205120910-4 оС-1, что затрудняет подбор соответствующего магнита.

Суть предлагаемого способа можно пояснить следующим образом. Температурная зависимость частоты ПМСВ в пленке ЖИГ определяется зависимостью от температуры намагниченности насыщения 4 способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209 MS(T) и внутреннего размагничивающего поля Нi(T). Намагниченность насыщения уменьшается с увеличением температуры в соответствии с законом Кюри, что приводит к уменьшению частоты возбуждения ПМСВ в пленке ЖИГ. Вклад Hi(T) в изменение частоты ПМСВ определяется температурной зависимостью поля кристаллографической анизотропии и зависит от кристаллографической ориентации подложки. Так, например, для пленки ЖИГ ориентации (111) способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209F составляет 8,2способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209 10-4 оС-1 независимо от угла между направлением распространения волны способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209 и кристаллографическими осями в плоскости пленки. Для ориентации плоскости (100), (110), (210), (211) способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209F непрерывно изменяется с периодом, определяемым симметрией плоскости, и принимает значения от 0 до -10способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209 10-4 оС-1.

На фиг. 1 приведены значения способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209F для вышеперечисленных ориентаций в зависимости от азимутального угла, за точку отсчета принята ось с минимальным значением способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209F [100] для плоскостей (100), (110) и (210), и [311] для плоскости (211). Таким образом, для постоянного магнита, имеющего неотрицательный температурный коэффициент способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209Н, например РЗМ-ПМ-В, где ПМ-переходный металл, найдется угол способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209 между направлением способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209 и кристаллографической осью в плоскости пленки, для которого будет выполнено условие термостабильности, когда изменение частоты возбуждения ПМСВ в пленке ЖИГ при изменении температуры окружающей среды компенсируется эквивалентным по величине и противоположным по знаку изменением напряженности внешнего магнитного поля, создаваемого постоянным магнитом. Численные соотношения между величинами способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209F и способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209H определяются из закона дисперсии МСВ:

способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209F= -способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209нспособ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209 способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209 способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209 способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209, (1) где F частота возбуждения МСВ, МГц, Н напряженность внешнего магнитного поля, Э; значение dF/dH может быть определено экспериментально или аналитически из закона дисперсии F F(способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209). В частности, для ПМСВ при К 0 выражение (1) имеет вид:

способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209F= -способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209H способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209, (2) При 4 способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209 MS 1750 Гс и Н 685 Э способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209F -0,64 способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209H.

На фиг. 2 приведена схема устройства на ПМСВ: способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209 нормаль к поверхности пленки, отстоящая от кристаллографической оси [hkl] на угол разориентации способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209; способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209 направление распространения ПМСВ, отстоящее от кристаллографической оси [010] лежащей в плоскости пленки, на угол способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209; способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209 направление магнитного поля,

1 постоянный магнит;

2 пленка ЖИГ на подложке ГГГ;

3 основание с входным и выходным преобразователем МСВ.

На фиг. 3 приведена температурная зависимость рабочей частоты широкополосного фильтра на ПМСВ, включающего постоянный магнит из сплава (TbDy) (FeCo)B и пленку ЖИГ на подложке ГГГ с ориентацией плоскости (100) и разориентацией способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209 5,2о, в котором направление распространения ПМСВ составляет с осью (010) в плоскости пленки угол способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209 5,5о.

На фиг. 1 приведены зависимости температурного коэффициента частоты ПМСВ способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209F в пленках ЖИГ от угла способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209 между направлением распространения волны способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209 и осью [100] лежащей в плоскости пленки, при различных ориентациях и разориентациях плоскости пленки. 1 ориентация плос-

кости пленки (100), разориентация способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209 0 2 То же (100) То же 5,2о 3 -"- (100) -"- 15о 4 -"- (210) -"- 0 5 -"- (110) -"- 0

П р и м е р. С использованием предлагаемого способа термостабилизации был изготовлен макет широкополосного фильтра на ПМСВ с рабочей частотой 3200 МГц. Эпитаксиальная феррит-гранатовая пленка состава Y3Fe5O12 (4 способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209 MS 1750 Гс) была выращена на подложке ГГГ ориентации (100) с разориентацией способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209 5,2о методом жидкофазной эпитаксии из раствора-расплава на основе оксида свинца. Измерения зависимости температурного коэффициента частоты ПМСВ в пленке способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209F были проведены при помощи измерителя комплексных коэффициентов передач РЧ-38 и термокамеры при постоянном магнитном поле смешения, создаваемом электромагнитом: в зависимости от способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209 способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209F изменяется от +1способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 205120910-4 до -11способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209 10-4 оС-1.

Постоянный магнит с положительным температурным коэффициентом напряженности магнитного поля способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209Н был изготовлен из сплава (NdDyTbHoGd)(FeCo)B по технологии порошковой металлургии. Его характеристики были измерены при помощи тесламетра ЭМЦ 2-17: способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209Н +2,4 способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 205120910-4 оС-1 и Н при комнатной температуре 650 Э. По формуле (2) было определено необходимое значение способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209F -1,8способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209 10-4оС-1 и по графику зависимости способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209F( способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209) был определен угол способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 2051209 для направления распространения ПМСВ, он составил 5,5о.

Сборку макета проводили в следующей последовательности:

из феррит-гранатовой структуры вырезали волноведущий элемент в форме квадрата со сторонами, совпадающими с осями <100>, размером 10 х 10 мм;

волноведущий элемент приклеивали к основанию с преобразователями, развернув его на угол 5,5о относительно направления распространения волны;

сверху на структуру приклеивали постоянный магнит так, чтобы магнитное поле его было направлено параллельно плоскости пленки и перпендикулярно направлению распространения волны.

Характеристики макета исследовали в термокамере при помощи измерителя РЧ-38. ТКЧ данного макета широкополосного фильтра не превышало 5способ термостабилизации рабочей частоты устройств на   поверхностных магнитостатических волнах, патент № 205120910-5оС-1 в интервале температур (-60)-(+85)оС.

Аналогично были изготовлены макеты фильтров на ПМСВ с использованием магнитов различного состава и пленок различной ориентации. Полученные характеристики макетов приведены в таблице. Результаты испытаний макетов устройств позволяют сделать вывод, что сочетание магнитов с неотрицательным температурным коэффициентом напряженности магнитного поля и пленок ЖИГ указанных выше ориентаций позволяет обеспечить термостабильность рабочей частоты устройства в более широком по сравнению с прототипом интервале температур и, кроме того, позволит использовать устройства обработки информации СВЧ диапазона на ПМСВ без применения специальных мер по их термостабилизации, как то: термостабилизирование, автоподстройка частоты или поля при помощи специальных электронных схем.

Класс C30B19/02 с использованием расплавленных растворителей, например флюсов

способ выращивания монокристаллов нитрида галлия -  патент 2477766 (20.03.2013)
способ получения эпитаксиальных слоев карбида кремния (варианты), структура карбида кремния (варианты) -  патент 2142027 (27.11.1999)
эпитаксиальная феррит-гранатовая структура -  патент 2061112 (27.05.1996)
способ получения магнитооптических структур -  патент 2038432 (27.06.1995)
способ получения мультикристаллов кремния -  патент 2026895 (20.01.1995)

Класс C30B29/28 с формулой A3Me5O12, где A - редкоземельный металл, а Me - Fe, Ga, Sc, Cr, Co или Al, например гранаты

Наверх