устройство для фокусировки монохроматического излучения

Классы МПК:G02B27/44 системы с дифракционными решетками; системы с зонными пластинами
Автор(ы):, , , , ,
Патентообладатель(и):Центральное конструкторское бюро уникального приборостроения
Приоритеты:
подача заявки:
1991-04-17
публикация патента:

Использование: оптическое приборостроение. Сущность изобретения: устройство выполнено в виде оптического элемента, рельеф которого определяется по приведенной в описании формуле. 1 з.п.ф-лы, 1 ил.
Рисунок 1

Формула изобретения

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ФОКУСИРОВКИ МОНОХРОМАТИЧЕСКОГО ИЗЛУЧЕНИЯ, выполненное в виде фазового оптического элемента, отличающееся тем, что, с целью увеличения степени концентрации энергии при фокусировке в область, состоящую из фигур одинаковой формы и пропорциональных размеров с заданным соотношением энергии a12, . . .aN2 между фигурами, рельеф фазового оптического элемента описывается выражением

устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897(устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897

где h(u, v) - высота рельефа в точке (u,v) фазового оптического элемента;

(u, v) - декартовы координаты точки элемента в системе координат, лежащей в плоскости элемента с осью устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897u ,, направленной противоположно проекции падающего луча;

устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897 - длина волны излучения;

устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897(устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897, n) = устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897 для оптического элемента, работающего на пропускание излучения, и

устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897(устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897,n) = устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897 устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897 - работающего на отражение,

где устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897 - угол между фокусируемым излучением и нормалью к плоскости оптического элемента;

n - показатель преломления вещества элемента;

mod2устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897[x] - функция, равная остатку от деления x на 2устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897;

f - фокусное расстояние элемента;

устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897(устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897) - периодическая функция с периодом T=2устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897, описывающая модуляцию фазовой дифракционной решетки с интенсивностью дифракционных порядков, a12... ,aN2 ;

(x0, y0) - вектор смещения между геометрическими центрами фокусируемых фигур;

устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897(u,v) -фазовая функция фокусатора в одну фигуру.

2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что, с целью увеличения степени концентрации энергии при фокусировке в область, состоящую из четырех фигур пропорциональных размеров с равными энергиями, периодическая функция с периодом T = 2n, описывающая модуляцию фазовой дифракционной решетки с равной интенсивностью дифракционных порядков a12, a22, a32, a42 , определяется как

устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897(устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897) = устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897

Описание изобретения к патенту

Изобретение относится к оптическому приборостроению и может быть использовано в различных сферах промышленности, например, в металлургической, машиностроительной и текстильной для лазерной маркировки изделий, закалки поверхностей, раскроя тканей.

Известно устройство для маркировки изделий, содержащее оптический элемент, фокусирующий монохроматическое излучение в набор точек.

Недостатком известного устройства являются значительные энергетические потери, обусловленные дифракционными эффектами (дифракционное размытие фокального пятна, рассеяние излучения на разрезах фазовой функции между сегментами, фокусирующими в разные точки).

Наиболее близким по технической сути к предлагаемому устройству является устройство для фокусировки монохроматического излучения в набор отрезков, выполненное в виде фазового оптического элемента. Апертура оптического элемента состоит из сектора круга, каждый сектор обеспечивает фокусировку в соответствующий отрезок фокальной области.

Недостатком известного устройства является энергетические потери, обусловленные дифракционным размытием фокальной линии и рассеянием излучения на разрезах фазовой функции между сегментами, фокусирующими в различные отрезки, а также более высокое среднеквадратичное отклонение распределения интенсивности вдоль отрезков фокусировки, обусловленное интерференцией фокусируемого и рассеянного излучений.

Решаемая задача состоит в достижении наиболее полной концентрации энергии при фокусировке монохроматического излучения в область, состоящую из N фигур одинаковой формы и пропорциональных размеров с заданным соотношением энергии между фигурами.

Требуемый процесс фокусировки реализуется фазовым оптическим элементом, рельеф поверхности которого описывается выражением

устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897 (1) где h(u,v) - высота рельефа в точке (u,v) фазового оптического элемента;

(u, v) - декартовы координаты точки элемента в системе координат, лежащей в плоскости элемента с осью Ои, направленной противоположно проекции падающего луча;

устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897 - длина волны излучения,

устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897(устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897, n) = устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897 для оптического элемента, работающего на пропускание излучения, и устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897(устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897,n) = - устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897 устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897 для оптического элемента, работающего на отражение, где устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897 - угол между фокусируемым излучением и нормально к плоскости оптического элемента;

n - показатель преломления вещества элемента;

mod2устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897(x) - функция, равная остатку от деления х на 2устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897 ;

f - фокусное расстояние элемента;

устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897 (устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897) - функция фазовой модуляции фазовой дифракционной решетки с периодом Т = 2 устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897 и интенсивностью дифракционных порядков а12,...,аN2;

(xo, yo) - вектор смещения между геометрическими центрами фокусируемых фигур;

устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897 (u, v) - фазовая функция фокусатора в одну фигуру.

В частности, для увеличения степени концентрации энергии при фокусировке в четыре фигуры пропорциональных размеров в формуле (1) для высоты микрорельефа достаточно определить функцию устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897 (устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897) как фазовую модуляцию четырехпорядковой решетки с периодом Т = 2 устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897 и равной интенсивностью в порядках с номерами -2, -1, 1, 2:

устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897(устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897) = устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897 (2)

Рассмотрим работу оптического элемента, рельеф поверхности которого описывается формулой (1). Высота микрорельефа h(u,v) связана с фазовой функцией элемента следующим соотношением:

F(u,v) = устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897 h(u,v) (3)

Без ограничения общности рассмотрим случай нормального падения излучения на оптический элемент ( устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897 = 0). При этом согласно (1), (3) фазовая функция элемента имеет вид

F(устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897) = modустройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897 устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897+ устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897 (устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897(устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897))устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897 где устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897=(u,v), k= устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897

устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897(устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897)= mod2устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897(устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897(устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897)+ устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897 устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897

устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897(устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897) - фазовая функция, рассматриваемая как дополнение к линзе с фокусом f и обеспечивающая фокусировку в одну фигуру.

Рассмотрим функцию устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897[устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897(устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897)] как функцию аргумента устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897. При этом устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897[устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897] соответствует фазовой модуляции N-порядковой дифракционной решетки с периодом 2устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897 и интенсивностью дифракционных порядков

a21, . .., a2N устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897 a2i=1устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897. Обозначим l1,...,lN - номера порядков дифракции. Тогда разложение Фурье функции exp[iустройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897(устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897)] на интервале [0,2устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897 ) с учетом ненулевых членов l1,...,lN имеет вид:

exp[iустройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897(устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897)]= устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897Cустройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897exp[iln(устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897)], (4) где Cln - коэффициенты Фурье, причем устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897Cln устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897 = an2.

Полагая в (4) устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897 = устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897(u,v) и используя 2устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897 -периодичность фазы запишем функцию комплексного пропускания оптического элемента в виде:

exp(iF(устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897))= expустройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897- устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897 устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897Cустройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897exp(ilустройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897(устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897)) (5)

Согласно (5) каждая зона, определяемая как область изменения функции устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897(устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897) в пределах интервала [0,2 устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897), формирует N пучков (каждый пучок характеризуется фазовой функцией устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897п(устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897)= lпустройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897(устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897). В силу линейности оператора распространения света поле в фокальной области есть суперпозиция преобразований освещающего пучка, осуществляемых фазовыми функциями

устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897п(устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897) = - устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897+ lпустройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897(устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897)+ lп устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897 В приближении геометрической оптики фазовая функция - устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897+ устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897(устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897) , обеспечивающая фокусировку в одну фигуру, выполняет преобразование светового поля, при котором каждой точке (u,v) в области расположения оптического элемента соответствует точка устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897(u,v)= (x(u, v),y(u,v))в фокальной плоскости, причем указанное преобразование имеет вид

устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897(u,v)= gradустройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897 [устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897(u,v)]устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897 (7) Согласно (7), фазовая функция

устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897 =V- устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897 + устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897 устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897 устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897 осуществляет преобразование:

устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897(u, v)= lустройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897+ lпgradустройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897 [устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897(u,v)]устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897 (8) что соответствует фокусировке в ln раз увеличенную фигуру, смещенную на вектор устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897= (lпxo, lпyo). Таким образом, фазовая функция оптического элемента обеспечивает фокусировку излучения в набор N фигур пропорциональных размеров, причем доля энергии освещающего пучка, фокусируемая в фигуру с номером n, пропорциональна квадрату модуля an2 соответствующего коэффициента Фурье.

Оптический элемент соответствует дифракционному решению задачи фокусировки в N фигур пропорциональных размеров. При этом полная апертура элемента (1) работает в каждую из N фигур фокусировки, что снижает степень дифракционного размытия по сравнению с сегментированными оптическими элементами [1], [2] и обеспечивает наиболее полную концентрацию энергии в области фокусировки.

На чертеже приведена схема устройства, реализующего предлагаемый способ для случая фокусировки лазерного излучения в набор из N фигур одинаковой формы и пропорциональных размеров с соотношением энергии а12,...,аN2 между фигурами.

Устройство состоит из оптического элемента 1, выполненного в виде отражающей пластинки с микрорельефом 2. Форма поверхности микрорельефа 2 определяется выражением (1). (В частности, при фокусировке в 4-е фигуры с равными энергиями устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897 (устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897) описывается формулой (2)). На оптический элемент 1 направлено лазерное излучение 3, которое фокусируется в область 4, состоящую из N фигур пропорциональных размеров.

Устройство работает следующим образом. Лазерное излучение 3 падает на отражающий оптический элемент 1 с микрорельефом 2, угол между нормалью к плоскости оптического элемента и падающим лучом равен устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897. За счет отражения излучения 3 от поверхности микрорельефа 2 происходит фазовая модуляция волны 3 по закону, описываемому кусочно-непрерывной функцией, изменяющейся в диапазоне от 0 до устройство для фокусировки монохроматического излучения, патент № 2024897 (для отражающего оптического элемента).

Таким образом формируется N волновых пучков с заданным соотношением энергии а12, . ..,аN2 между пучками, при этом микрорельеф 2 направляет падающий на него волновой фронт во все N фигур фокусировки. За счет взаимодействия волновых фронтов, направляемых микрорельефом оптического элемента 1, в области фокусировки 4 излучение фокусируется в N фигур одинаковой формы и пропорциональных размеров с соотношением энергии a12,...,aN2 между фигурами.

Класс G02B27/44 системы с дифракционными решетками; системы с зонными пластинами

монохромный микроскоп сверхвысокого разрешения -  патент 2441291 (27.01.2012)
способ регистрации оптического волнового фронта и система для его реализации -  патент 2425337 (27.07.2011)
составной расширитель выходного зрачка -  патент 2413268 (27.02.2011)
распределение цветов в расширителях выходного зрачка -  патент 2410736 (27.01.2011)
оптический защитный элемент -  патент 2358317 (10.06.2009)
дифракционная решетка и способ ее изготовления -  патент 2242776 (20.12.2004)
дифракционная решетка -  патент 2226284 (27.03.2004)
способ преобразования поляризации инфракрасного излучения -  патент 2087020 (10.08.1997)
устройство для фазового преобразования структуры лазерного пучка -  патент 2061249 (27.05.1996)
устройство для формирования пучка монохроматического излучения -  патент 2034322 (30.04.1995)
Наверх