ступень молекулярного насоса

Формула изобретения

СТУПЕНЬ МОЛЕКУЛЯРНОГО НАСОСА, содержащая участок герметичного цилиндрического корпуса с установленным ротором и статорными дисками, отличающаяся тем, что на поверхности статорных дисков, обращенных к ротору, выполнены криволинейные пазы, равномерно размещенные по поверхности относительно продольной оси ступени.

Описание изобретения к патенту

Изобретение относится к вакуумной технике.

Молекулярные вакуумные насосы представляют собой разновидность кинетических вакуумных насосов. Известны конструкции молекулярных насосов: цилиндрического типа со спиральными канавками вдоль поверхности ротора (насос Геде), цилиндрического типа со спиральными канавками вдоль поверхности ротора (насос Хольвека), дискового типа со спиральным каналом от внешнего диаметра к центру диска (насос Зигбана).

Недостатком известных конструкций является точность сборки насоса и большие перетечки в проточных полостях.

Известен молекулярный насос, имеющий в статоре набор цилиндрических каналов, входные и выходные отверстия в которых разделены перегородкой, а ротор вращается с большой скоростью, близкой к тепловой скорости молекул.

Недостатком известной конструкции являются большие перетечки газа между ступенями через зазор между ротором и статором.

Цель изобретения - уменьшение перетечек газа со стороны нагнетания на сторону всасывания.

Это достигается тем, что в ступени молекулярного насоса, содержащей участок герметичного цилиндрического корпуса с установленным в нем ротором и статорными дисками, на поверхности статорных дисков, обращенных к ротору, выполнены криволинейные пазы, равномерно размещенные по поверхности диска.

На фиг. 1 изображена предлагаемая ступень; на фиг. 2 - разрез А-А на фиг. 1; на фиг. 3 - разрез Б-Б на фиг. 1.

Ступень состоит из статорных дисков 1 и 2, установленных в корпусе 3, и роторного диска 4 между ними. Диск 4 установлен на валу 5. Окно 6 всасывания расположено в диске 2, а нагнетательное окно 7 - в диске 1 на равном расстоянии от отсекателя 8.

Молекулярная ступень работает следующим образом.

Молекулы, попавшие в молекулярный канал через всасывающее окно 6 на статором диске 2, при взаимодействии с вращающимся диском 4 увлекаются по направлению к нагнетательному окну 7. При этом возможно перетекание газа через зазор между вращающимся диском и статорным диском (фиг. 1). Молекулы газа, попавшие в зазор, получают импульс от вращающегося диска (соударяясь с его торцовой поверхностью) и преимущественное направление движения в соответствии с нарезанными каналами 9 обратно в рабочий канал 10.

Таким образом, уменьшается вероятность перехода молекул со стороны нагнетания на сторону всасывания.