способ определения толщины металлического покрытия

Классы МПК:G01N22/00 Исследование или анализ материалов с использованием сверхвысоких частот
Автор(ы):
Патентообладатель(и):Учреждение Российской академии наук Институт проблем управления им. В.А. Трапезникова РАН (RU)
Приоритеты:
подача заявки:
2010-11-30
публикация патента:

Изобретение относится к области измерительной техники, а именно к способу определения толщины металлического покрытия, нанесенного на диэлектрическую основу, при котором зондируют металлическое покрытие электромагнитным сигналом излучателя. Повышение точности измерения толщины металлического покрытия является техническим результатом изобретения. Способ основан на измерении и преобразовании результирующей интенсивности двух интерференционных волн электромагнитных сигналов отражения и излучателя с последующим вычислением толщины с использованием математической формулы. 1 ил. способ определения толщины металлического покрытия, патент № 2452938

способ определения толщины металлического покрытия, патент № 2452938

Формула изобретения

Способ определения толщины металлического покрытия, нанесенного на диэлектрическую основу, при котором зондируют металлическое покрытие электромагнитным сигналом излучателя и улавливают приемником отраженный от поверхности контролируемого покрытия электромагнитный сигнал, отличающийся тем, что дополнительно улавливают приемником электромагнитный сигнал излучателя, измеряют результирующую интенсивность Iрез улавливаемых приемником этих двух электромагнитных сигналов и толщину способ определения толщины металлического покрытия, патент № 2452938 металлического покрытия определяют из формулы:

способ определения толщины металлического покрытия, патент № 2452938

где I1 - интенсивность электромагнитного сигнала излучателя, I2 - интенсивность отраженного от поверхности металлического покрытия электромагнитного сигнала, способ определения толщины металлического покрытия, патент № 2452938 - длина волны электромагнитного сигнала, способ определения толщины металлического покрытия, патент № 2452938 - коэффициент когерентности, Н - высота от диэлектрической основы до излучателя и приемника, l - расстояние между излучателем и приемником.

Описание изобретения к патенту

Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано в системах управления технологическими процессами.

Известен способ, реализуемый волноводным толщиномером (см. В.А.Викторов и др. «Радиоволновые измерения параметров технологических процессов». 1989 г., стр.46), в котором о толщине листа судят по характеристикам (амплитуде) распространения электромагнитных волн в волноводах, в поле которых находится контролируемый лист.

Недостатком этого известного способа является сложность в конструкции волноводного датчика и в преобразовании информационного сигнала.

Наиболее близким техническим решением к предлагаемому является принятый автором за прототип способ определения толщины диэлектрического материала (см. патент РФ № 2240504, 2004 г.). В устройстве, реализующем указанный способ, зондируют контролируемый материал, расположенный на диэлектрическом основании, электромагнитным сигналом излучателя. Улавливают отраженные от поверхностей материала и диэлектрического основания сигналы приемником. С выхода приемника суммарный сигнал, связанный с отражающими свойствами контролируемого материала и диэлектрического основания, а также расстоянием между поверхностью диэлектрического материала и излучателем (приемником), переносится в индикатор. В этом блоке путем преобразования энергетических освещенностей, создаваемых излучениями, отраженными от поверхностей контролируемого диэлектрического материала и диэлектрического основания, определяют толщину покрытия контролируемого материала.

Недостатком данного способа следует считать погрешность, обусловленную изменением энергетической освещенности, создаваемой излучением, отраженным от поверхности диэлектрического основания при изменении его электрофизических параметров. Задачей заявляемого технического решения является повышение точности измерения толщины металлического покрытия.

Поставленная задача решается тем, что в способе определение толщины металлического покрытия, нанесенного на диэлектрическую основу, использующем результирующую интенсивность 1 рез улавливаемых приемником электромагнитных сигналов излучателя и отраженного от поверхности покрытия при его зондировании электромагнитным сигналом излучателя, толщину металлического покрытия 6 определяют из формулы:

способ определения толщины металлического покрытия, патент № 2452938

где I1 - интенсивность электромагнитного сигнала излучателя, I2 - интенсивность отраженного от поверхности металлического покрытия электромагнитного сигнала, способ определения толщины металлического покрытия, патент № 2452938 - длина волны электромагнитного сигнала, способ определения толщины металлического покрытия, патент № 2452938 - коэффициент когерентности, H - высота от диэлектрической основы до излучателя и приемника, l - расстояние между излучателем и приемником.

Сущность заявляемого изобретения, характеризуемого совокупностью указанных выше признаков, состоит в том, что при зондировании контролируемого металлического покрытия, нанесенного на диэлектрическую основу, по измерению результирующей освещенности электромагнитного сигнала излучателя и отраженного от поверхности металлического покрытия электромагнитного сигнала определяют толщину покрытия.

Наличие в заявленном способе совокупности перечисленных существующих признаков позволяет решить поставленную задачу определения толщины металлического покрытия на основе использования результирующей интенсивности электромагнитного сигнала излучателя и отраженного от поверхности контролируемой среды электромагнитного сигнала с желаемым техническим результатом, т.е. высокой точностью измерения.

Устройство (см. чертеж), реализующее данное техническое решение, содержит генератор электромагнитных сигналов 1, излучатель 2, приемник 3, детектор 4 и измеритель-индикатор 5 для регистрации величины толщины металлического покрытия 6, нанесенного на диэлектрическую основу 7.

Суть предлагаемого способа заключается в определении толщины металлического покрытия путем измерения и преобразования электромагнитных сигналов излучателя и отраженного от поверхности металлического покрытия, нанесенного на диэлектрическую основу. При зондировании металлического покрытия электромагнитным сигналом излучателя, от поверхности покрытия отражается электромагнитный сигнал, наложение которого с электромагнитным сигналом излучателя в приемнике приводит к интерференции этих двух сигналов, т.е. взаимное усиление в одних точках пространства и ослабление в других. В силу этого для результирующей интенсивности Iрез этой интерференции можно записать:

способ определения толщины металлического покрытия, патент № 2452938

где I1 и I2 - интенсивность волн электромагнитных сигналов излучателя и отраженного от поверхности покрытия соответственно, способ определения толщины металлического покрытия, патент № 2452938 - степень когерентности, способ определения толщины металлического покрытия, патент № 2452938 - длина волны электромагнитных сигналов, d2 и d1 - ходы волн электромагнитных сигналов отражения и излучателя соответственно.

В рассматриваемом случае ход d2 с определенной точностью можно выразить как:

d2=2(H-способ определения толщины металлического покрытия, патент № 2452938 ),

где H - высота (расстояние) от излучателя (приемника) до диэлектрической основы, способ определения толщины металлического покрытия, патент № 2452938 - толщина металлического покрытия.

Здесь принимается, что излучатель и приемник расположены на одном расстоянии (высоте) от диэлектрической основы. В данном случае ввиду того, что в приемник поступает одновременно с отраженным от поверхности покрытия сигналом и электромагнитный сигнал излучателя, ход d 1 должен соответствовать расстоянию между излучателем и приемником, т.е. l, где - l - расстояние между ними.

С учетом вышеприведенного рассуждения формулу (1) можно переписать как:

способ определения толщины металлического покрытия, патент № 2452938

Отсюда видно, что при постоянных значениях I1, I2, способ определения толщины металлического покрытия, патент № 2452938 , способ определения толщины металлического покрытия, патент № 2452938 , H и l измерением Iрез можно определить толщину металлического покрытия.

Для этого в устройстве, реализующем предлагаемый способ, выходной сигнал генератора электромагнитных колебаний 1 с помощью излучателя 2 направляют в сторону металлического покрытия 6, нанесенного на диэлектрическую основу 7. После этого отраженный от поверхности металлического покрытия электромагнитный сигнал улавливают приемником 3. Одновременно с этим приемником улавливают электромагнитный сигнал излучателя. Здесь следует отметить, что излучатель и приемник располагаются в одной плоскости, т.е. на одной высоте от объекта контроля. Наложение этих двух сигналов в приемнике обусловливает интерференцию волн улавливаемых электромагнитных сигналов. Далее для измерения результирующей интенсивности данной интерференции волн выходной сигнал приемника после детектирования в детекторе 4, поступает в измеритель-индикатор 5, где по измеренным значениям результирующей интенсивности I рез получают информацию о толщине металлического покрытия.

Таким образом, согласно предлагаемому способу на основе измерения результирующей интенсивности интерференционных волн электромагнитных сигналов отражения и излучателя можно обеспечить более высокую точность измерения толщины металлического покрытия, нанесенного на диэлектрическую основу.

Класс G01N22/00 Исследование или анализ материалов с использованием сверхвысоких частот

резонансное устройство для ближнеполевого свч-контроля параметров материалов -  патент 2529417 (27.09.2014)
устройство для измерения свойства диэлектрического материала -  патент 2528130 (10.09.2014)
контрольное устройство миллиметрового диапазона -  патент 2521781 (10.07.2014)
система и способ досмотра субъекта -  патент 2517779 (27.05.2014)
способ определения электропроводности и толщины полупроводниковых пластин или нанометровых полупроводниковых слоев в структурах "полупроводниковый слой - полупроводниковая подложка" -  патент 2517200 (27.05.2014)
способ определения электропроводности и энергии активации примесных центров полупроводниковых слоев -  патент 2516238 (20.05.2014)
антенна-аппликатор и устройство для определения температурных изменений внутренних тканей биологического объекта путем одновременного неинвазивного измерения яркостной температуры внутренних тканей на разных глубинах -  патент 2510236 (27.03.2014)
способ измерения комплексной диэлектрической проницаемости жидких и сыпучих веществ -  патент 2509315 (10.03.2014)
свч способ обнаружения и оценки неоднородностей в диэлектрических покрытиях на металле -  патент 2507506 (20.02.2014)
способ обнаружения и идентификации взрывчатых и наркотических веществ и устройство для его осуществления -  патент 2507505 (20.02.2014)
Наверх