способ определения диэлектрической проницаемости проводящих тел в оптическом и инфракрасном диапазоне спектра

Классы МПК:G01R27/26 для измерения индуктивности и(или) емкости; для измерения добротности, например резонансным способом; для измерения коэффициента потерь; для измерения диэлектрических постоянных 
Автор(ы):
Патентообладатель(и):Институт прикладной механики Уральского отделения Российской академии наук (RU)
Приоритеты:
подача заявки:
2008-06-05
публикация патента:

Изобретение относится к области оптики конденсированных сред и может быть использовано для определения оптических постоянных проводящих тел. Способ определения диэлектрической проницаемости проводящих тел в оптическом и инфракрасном диапазоне спектра включает воздействие импульсом монохроматического лазерного излучения с p-поляризацией на плоскую поверхность образца, регистрацию фотоэлектрического сигнала на поверхности образца и угла падения пучка лазерного излучения, соответствующего возникновению фотоэлектрического сигнала максимальной величины, и расчет диэлектрической проницаемости по предложенной формуле. Изобретение обеспечивает упрощение процедуры измерений. 1 ил. способ определения диэлектрической проницаемости проводящих тел   в оптическом и инфракрасном диапазоне спектра, патент № 2367966

способ определения диэлектрической проницаемости проводящих тел   в оптическом и инфракрасном диапазоне спектра, патент № 2367966

Формула изобретения

Способ определения диэлектрической проницаемости проводящих тел в оптическом и инфракрасном диапазоне спектра, включающий воздействие импульсом монохроматического лазерного излучения с p-поляризацией на плоскую поверхность образца, регистрацию фотоэлектрического сигнала на поверхности образца и угла падения способ определения диэлектрической проницаемости проводящих тел   в оптическом и инфракрасном диапазоне спектра, патент № 2367966 пучка лазерного излучения, соответствующего возникновению фотоэлектрического сигнала максимальной величины, расчет диэлектрической проницаемости по формуле способ определения диэлектрической проницаемости проводящих тел   в оптическом и инфракрасном диапазоне спектра, патент № 2367966 =2sin2способ определения диэлектрической проницаемости проводящих тел   в оптическом и инфракрасном диапазоне спектра, патент № 2367966 .

Описание изобретения к патенту

Изобретение относится к области оптики конденсированных сред и может быть использовано для определения оптических постоянных проводящих тел.

Известен способ определения диэлектрической проницаемости твердых тел, который включает разделение пучка падающего монохроматического излучения на реперный и измерительный пучки, а также возбуждение падающим излучением поверхностной электромагнитной волны (ПЭВ) на поверхности образца, осуществляемые одновременно на краю непрозрачного экрана, размещенного в окружающей среде у поверхности образца; последовательный пробег ПЭВ двух различных макроскопических расстояний; преобразование ПЭВ в объемную волну на краю образца; регистрацию распределения интенсивности излучения над поверхностью образца в области пересечения реперного и измерительного пучков при выбранных расстояниях пробега ПЭВ; расчет комплексного показателя преломления ПЭВ по результатам измерений и диэлектрической проницаемости материала образца путем решения дисперсионного уравнения ПЭВ для волноведущей структуры, содержащей поверхность образца [Алиева Е.В., Жижин Г.Н., Кузик Л.В., Яковлев В.А. Исследование кристаллов в среднем и дальнем ИК диапазонах спектра методом спектроскопии поверхностных электромагнитных волн // Физика твердого тела, 1998, т.40, вып.2, с.213-216].

Недостатком способа является низкая точность определения диэлектрической проницаемости материала образца, обусловленная интерференционными явлениями.

Наиболее близким по технической сущности к заявляемому способу является способ определения диэлектрической проницаемости твердых тел в инфракрасном диапазоне спектра, основанный на исследовании характеристик поверхностной электромагнитной волны, возбуждаемой на поверхности образца падающим лазерным излучением [Жижин Г.Н., Никитин А.К., Рыжова Т.А. Способ определения диэлектрической проницаемости твердых тел в инфракрасном диапазоне спектра // Патент РФ на изобретение № 22639238, МПК 7 G01R 27/26, G01N 21/21, 22.03.2004, Бюл. № 31, 10.11.2005.].

Недостатком способа является сложность технической реализации и процедуры измерений, связанная с необходимостью использования интерференционной системы исследования параметров ПЭВ, несущей информацию о свойствах исследуемых тел.

Задачей изобретения является разработка нового способа определения диэлектрической проницаемости проводящих тел в оптическом и инфракрасном диапазоне спектра на основе явления фотоэлектрического эффекта при воздействии на поверхность проводящих тел импульсами монохроматического лазерного излучения, позволяющего упростить процедуру измерений.

Сущность изобретения заключается в том, что в отличие от известного способа определения диэлектрической проницаемости твердых тел в инфракрасном диапазоне спектра предлагаемый способ определения диэлектрической проницаемости проводящих тел в оптическом и инфракрасном диапазоне спектра включает воздействие импульсом монохроматического лазерного излучения с p-поляризацией на плоскую поверхность образца, регистрацию фотоэлектрического сигнала на поверхности образца и угла падения способ определения диэлектрической проницаемости проводящих тел   в оптическом и инфракрасном диапазоне спектра, патент № 2367966 пучка лазерного излучения, соответствующего возникновению фотоэлектрического сигнала максимальной величины, расчет диэлектрической проницаемости по формуле способ определения диэлектрической проницаемости проводящих тел   в оптическом и инфракрасном диапазоне спектра, патент № 2367966 =2sin2способ определения диэлектрической проницаемости проводящих тел   в оптическом и инфракрасном диапазоне спектра, патент № 2367966 .

Техническим результатом изобретения является упрощение процедуры измерений, которая включает измерение величины фотоэлектрического сигнала и угла падения пучка лазерного излучения на поверхность образца, при этом поверхность образцов может иметь размеры, составляющие 5-10 мм.

На чертеже приведена схема устройства, реализующего предлагаемый способ, где цифрами обозначены: 1 - источник p-поляризованного монохроматического лазерного излучения, 2 - образец с плоской поверхностью, 3 - электроды на поверхности образца, 4 - осциллограф.

Устройство работает и способ осуществляется следующим образом. Пучок импульсного p-поляризованного монохроматического лазерного излучения от источника 1 направляют под углом способ определения диэлектрической проницаемости проводящих тел   в оптическом и инфракрасном диапазоне спектра, патент № 2367966 на поверхность образца 2. При этом на электродах 3 возникает импульсный фотоэлектрический сигнал, который регистрируется осциллографом 4. Путем изменения угла падения пучка лазерного излучения добиваются получения максимального значения фотоэлектрического сигнала, соответствующий которому угол падения принимают в расчет диэлектрической проницаемости образца.

Возникновение фотоэлектрического сигнала на поверхности проводящих тел при воздействии импульсами лазера обусловлено взаимодействием электронов в скин-слое образца с фотонами в пучке лазера, в результате которого в образце возникает поверхностный ток, а на участке поверхности пленки - ЭДС [Александров В.А. Скин-эффект в проводящих пленках при лазерном воздействии // Альтернативная энергетика и экология, 2007, № 11, C.110-113].

Так, при взаимодействии электрона в скин-слое с фотоном - обратном рассеянии фотона - импульс электрона отдачи составит pe=2способ определения диэлектрической проницаемости проводящих тел   в оптическом и инфракрасном диапазоне спектра, патент № 2367966 способ определения диэлектрической проницаемости проводящих тел   в оптическом и инфракрасном диапазоне спектра, патент № 2367966 /c и электрон приобретает дополнительную скорость в направлении вдоль поверхности образца

способ определения диэлектрической проницаемости проводящих тел   в оптическом и инфракрасном диапазоне спектра, патент № 2367966

где me - масса электрона, способ определения диэлектрической проницаемости проводящих тел   в оптическом и инфракрасном диапазоне спектра, патент № 2367966 - угол падения пучка лазера на поверхность образца.

Движущиеся электроны создают поверхностный ток, плотность которого

способ определения диэлектрической проницаемости проводящих тел   в оптическом и инфракрасном диапазоне спектра, патент № 2367966

где е - заряд электрона, ne - количество взаимодействующих с фотонами электронов в единице объема скин-слоя образца.

Объем Vd скин-слоя, в котором происходит взаимодействие фотонов с электронами, равен произведению глубины d скин-слоя и площади облучаемой пучком лазера поверхности образца, определяемой сечением Sb пучка и углом его падения способ определения диэлектрической проницаемости проводящих тел   в оптическом и инфракрасном диапазоне спектра, патент № 2367966 :

способ определения диэлектрической проницаемости проводящих тел   в оптическом и инфракрасном диапазоне спектра, патент № 2367966

Импульс лазера обычно имеет огибающую и поэтому интенсивность I фотонов пучке такого импульса зависит от времени I=I(t). При наносекундных длительностях импульса лазера количество фотонов в единице объема скин-слоя образца можно выразить как

способ определения диэлектрической проницаемости проводящих тел   в оптическом и инфракрасном диапазоне спектра, патент № 2367966

Учитывая коэффициент электрон-фотонного взаимодействия материала образца способ определения диэлектрической проницаемости проводящих тел   в оптическом и инфракрасном диапазоне спектра, патент № 2367966 e=(ne/nf)/сспособ определения диэлектрической проницаемости проводящих тел   в оптическом и инфракрасном диапазоне спектра, патент № 2367966 и подвижность электронов µ=способ определения диэлектрической проницаемости проводящих тел   в оптическом и инфракрасном диапазоне спектра, патент № 2367966 e/me, где способ определения диэлектрической проницаемости проводящих тел   в оптическом и инфракрасном диапазоне спектра, патент № 2367966 - время между их столкновениями, выражение (2) для плотности продольного тока в скин-слое образца можно привести к виду

способ определения диэлектрической проницаемости проводящих тел   в оптическом и инфракрасном диапазоне спектра, патент № 2367966

Возникновение переменного ЭДС Ux (t) на участке способ определения диэлектрической проницаемости проводящих тел   в оптическом и инфракрасном диапазоне спектра, патент № 2367966 х облучаемой импульсом лазером части поверхности образца обусловлено продольным током jx(t) в скин-слое образца и проводимостью способ определения диэлектрической проницаемости проводящих тел   в оптическом и инфракрасном диапазоне спектра, патент № 2367966 этого участка Ux(t)=jx(t)способ определения диэлектрической проницаемости проводящих тел   в оптическом и инфракрасном диапазоне спектра, патент № 2367966 х/способ определения диэлектрической проницаемости проводящих тел   в оптическом и инфракрасном диапазоне спектра, патент № 2367966 , поэтому зависимость сигнала фотоэлектрического эффекта от угла способ определения диэлектрической проницаемости проводящих тел   в оптическом и инфракрасном диапазоне спектра, патент № 2367966 получается аналогичной (5):

способ определения диэлектрической проницаемости проводящих тел   в оптическом и инфракрасном диапазоне спектра, патент № 2367966

Последнее выражение указывает, что максимальное значение фотоэлектрического сигнала на поверхности образца получается при воздействии пучком лазера, когда угол падения равен способ определения диэлектрической проницаемости проводящих тел   в оптическом и инфракрасном диапазоне спектра, патент № 2367966способ определения диэлектрической проницаемости проводящих тел   в оптическом и инфракрасном диапазоне спектра, патент № 2367966 /4. Это выражение получено без учета преломления пучка лазера материалом образца и в качестве угла взаимодействия пучка лазера с электронами проводимости в скин-слое для реального образца необходимо принять угол преломления способ определения диэлектрической проницаемости проводящих тел   в оптическом и инфракрасном диапазоне спектра, патент № 2367966 1 пучка лазера материалом образца. Тогда максимальное значение фотоэлектрического сигнала при воздействии импульсом лазера на поверхность образца должно соответствовать случаю достижения угла преломления значения способ определения диэлектрической проницаемости проводящих тел   в оптическом и инфракрасном диапазоне спектра, патент № 2367966 1способ определения диэлектрической проницаемости проводящих тел   в оптическом и инфракрасном диапазоне спектра, патент № 2367966 /4.

Диэлектрическая проницаемость способ определения диэлектрической проницаемости проводящих тел   в оптическом и инфракрасном диапазоне спектра, патент № 2367966 проводящего тела определяется из закона преломления

способ определения диэлектрической проницаемости проводящих тел   в оптическом и инфракрасном диапазоне спектра, патент № 2367966

Угол падения способ определения диэлектрической проницаемости проводящих тел   в оптическом и инфракрасном диапазоне спектра, патент № 2367966 определяется из эксперимента, при котором регистрируется максимальное значение фотоэлектрического сигнала на электродах, размещенных на поверхности образца. Так как при этом угол преломления способ определения диэлектрической проницаемости проводящих тел   в оптическом и инфракрасном диапазоне спектра, патент № 2367966 1=способ определения диэлектрической проницаемости проводящих тел   в оптическом и инфракрасном диапазоне спектра, патент № 2367966 /4 и sin2способ определения диэлектрической проницаемости проводящих тел   в оптическом и инфракрасном диапазоне спектра, патент № 2367966 /4=1/2, то способ определения диэлектрической проницаемости проводящих тел   в оптическом и инфракрасном диапазоне спектра, патент № 2367966 =2sin2способ определения диэлектрической проницаемости проводящих тел   в оптическом и инфракрасном диапазоне спектра, патент № 2367966 .

Пример. Экспериментально установлено, что воздействие импульсами лазера на наноуглеродные пленки толщиной 3-4 мкм, представляющие собой пленку из кристаллитов графита, на длине волны способ определения диэлектрической проницаемости проводящих тел   в оптическом и инфракрасном диапазоне спектра, патент № 2367966 =532 нм (оптический диапазон частот) и на длине способ определения диэлектрической проницаемости проводящих тел   в оптическом и инфракрасном диапазоне спектра, патент № 2367966 =1064 нм (инфракрасный диапазон частот) приводит к возникновению на этих пленках фотоэлектрического сигнала, максимальное значение которого соответствует углу падения пучка лазера способ определения диэлектрической проницаемости проводящих тел   в оптическом и инфракрасном диапазоне спектра, патент № 2367966 =50° [Михеев Г.М., Зонов Р.Г., Образцов А.Н., Свирко Ю.П. Наблюдение эффекта оптического выпрямления в наноуглеродных пленках // Письма в ЖТФ, 2004, т.30, вып.17, с.88-94]. Так как графит по проводимости является полуметаллом и обладает электронной проводимостью, то возникновение фотоэлектрического сигнала на наноуглеродной пленке при воздействии импульсами лазера обусловлено фотон-электронным взаимодействием, известным как эффект увлечения электронов светом [Берегулин Е.В., Валов П.М., Рывкин С.М. и др. Эффект увлечения электронов светом в полуметаллах // Письма в ЖЭТФ, 1977, т.25, вып.2, с.113-116]. Тогда в соответствии с предлагаемым способом диэлектрическая проницаемость графита в оптическом и инфракрасном диапазоне частот составит способ определения диэлектрической проницаемости проводящих тел   в оптическом и инфракрасном диапазоне спектра, патент № 2367966 =2sin250° или способ определения диэлектрической проницаемости проводящих тел   в оптическом и инфракрасном диапазоне спектра, патент № 2367966 =1.17.

Класс G01R27/26 для измерения индуктивности и(или) емкости; для измерения добротности, например резонансным способом; для измерения коэффициента потерь; для измерения диэлектрических постоянных 

резонансное устройство для ближнеполевого свч-контроля параметров материалов -  патент 2529417 (27.09.2014)
устройство для измерения свойства диэлектрического материала -  патент 2528130 (10.09.2014)
микроконтроллерный измерительный преобразователь с уравновешиванием резистивного моста уитстона методом широтно-импульсной модуляции -  патент 2515309 (10.05.2014)
способ измерения комплексной диэлектрической проницаемости жидких и сыпучих веществ -  патент 2509315 (10.03.2014)
микроконтроллерный измерительный преобразователь сопротивления в двоичный код с генератором, управляемым напряжением -  патент 2502076 (20.12.2013)
способ определения коэффициента потерь tg диэлектриков -  патент 2501028 (10.12.2013)
микроконтроллерное устройство диагностики межвитковой изоляции обмотки электродвигателя по эдс самоиндукции -  патент 2498327 (10.11.2013)
способ определения сопротивления и индуктивности рассеяния первичной обмотки трансформатора напряжения -  патент 2491559 (27.08.2013)
сканирующий измеритель параметров cg-двухполюсников -  патент 2488130 (20.07.2013)
способ и устройство для емкостного обнаружения объектов -  патент 2486530 (27.06.2013)
Наверх