ПАТЕНТНЫЙ ПОИСК В РФ
НОВЫЕ ПАТЕНТЫ, ЗАЯВКИ НА ПАТЕНТ
БИБЛИОТЕКА ПАТЕНТОВ НА ИЗОБРЕТЕНИЯ

мишень для распыления - заявка на патент 2013135515


Классы МПК: C23C14/00   (2006.01)
Автор: Абдуев Аслан Хаджимуратович (RU),
Абдуев Марат Хаджи-Муратович (RU),
Асваров Абил Шамсудинович (RU),
Ахмедов Ахмед Кадиевич (RU),
Камилов Ибрагимхан Камилович (RU)
Заявитель: Федеральное государственное бюджетное учреждение науки "Институт физики им. Х.И. Амирханова Дагестанского научного центра РАН" (RU)

ФОРМУЛА ИЗОБРЕТЕНИЯ

1. Мишень для распыления, отличающаяся тем, что содержит вещество (или вещества), вступающее (вступающие) при температуре распыления в экзотермическую реакцию с компонентом (или с компонентами) мишени и/или внешней среды, причем концентрация этого вещества (этих веществ) в мишени такова, что при температуре распыления тепловой эффект экзотермической реакции в зоне распыления меньше интегрального теплоотвода от этой зоны.

2. Мишень по п.1, отличающаяся тем, что содержит оксидный материал или оксидный материал и легирующие и/или вспомогательные примеси, а также содержит углерод в концентрации от 0,1 до 20 ат.%.

3. Мишень по п.2, отличающаяся тем, что оксидным материалом является оксид цинка.

Наверх