Конструктивные элементы электронных вакуумных приборов, отнесенных к группе  ,21/00: ..покрытия на стенках баллонов, выбор материалов для покрытия – H01J 19/57

Предметом изобретения является способ плазменно-химического осаждения из газовой фазы. Способ плазменно-химической обработки из газовой фазы для нанесения покрытия или удаления материала с внутренней поверхности полого изделия (42), в особенности из неметаллического материала, имеющего протяженность в длину и одно отверстие (43), имеет следующие стадии. Полое изделие устанавливают в середину вакуумной камеры (40) с заземленной внутренней стороной так, что минимальное расстояние между внешней стенкой полого изделия и внутренней стенкой вакуумной камеры составляет 15 см. Внутри вакуумной камеры расположен высокочастотный электрод (41). Вводят газовую трубку (44), состоящую из трубы с внутренним диаметром в 0,001-10 мм, максимальным внешним диаметром в 12 мм, и концевое сопло с диаметром отверстия на конце в 0,002-6 мм через отверстие в полом изделии. Установка газовой трубки в полом изделии осуществлена так, что газовая трубка расположена посередине относительно поперечного сечения полого изделия, а сопло газовой трубки расположено на расстоянии, составляющем две трети длины полого изделия, от отверстия полого изделия. Герметизация вакуумной камеры и откачивание воздуха из нее осуществляется до остаточного давления 0,001-20 Па. Введение инертного рабочего газа, а также одного или нескольких реакционных газов через устройство для подачи газа и газовую трубку в полое изделие и зажигание плазмы полого пространства (45) изделия при образовании на наконечнике газовой трубки плазмы осуществляется посредством создания высокочастотного электрического поля на ВЧ-электроде. Достигаются улучшенная очистка полых изделий, улучшенная защита от коррозии поверхностей с нанесенным покрытием, снижение коэффициента трения внутренней поверхности и улучшение теплоотдачи. 3 н. и 13 з.п. ф-лы, 10 ил.

Изобретение относится к плоскому излучателю. Плоский излучатель содержит переднюю пластину и заднюю часть, причем передняя пластина с помощью распорных элементов размещена на расстоянии от задней части и в промежутке между передней пластиной и задней частью введен газообразный наполнитель, который находится под давлением, меньшим атмосферного давления окружающей среды, при этом передняя пластина выполнена из стеклянного материала. Технический результат - уменьшение веса. Для изготовления таких плоских излучателей с небольшим собственным весом согласно изобретению предусмотрено, что передняя пластина и/или задняя часть выполнена в виде стеклянной пластины, которая, по меньшей мере, частично предварительно напряжена термическим или химическим способом или соответственно передняя пластина и/или задняя часть выполнена в виде стеклянной пластины, которая, по меньшей мере, частично снабжена покрытием, состоящим из пластичного полимерного материала. 2 н. и 7 з.п. ф-лы, 3 табл., 5 ил.