Электролитические способы травления или полирования: ..полупроводниковых материалов – C25F 3/30

Раздел C ХИМИЯ; МЕТАЛЛУРГИЯ

C25 Электролитические способы; электрофорез; устройства для них

C25F Электролитические способы удаления примесей из изделий; устройства для них.

C25F 3/00 Электролитические способы травления или полирования

C25F 3/30 ..полупроводниковых материалов

Патенты в данной категории

	СОСТАВ ПОЛИРУЮЩЕГО ТРАВИТЕЛЯ ДЛЯ КРЕМНИЯ Изобретение относится к электрохимии, в частности к электрохимическому полирующему травлению кремния n- и p-типа, любой кристаллографической ориентации скоростью порядка V_м_а_x 60 мкм/мин. Состав для полирования кремния содержит, г/л: сульфат никеля семиводный 200 - 400; плавиковая кислота 28,7 - 63,2. 1 табл.	2057209 патент выдан: опубликован: 27.03.1996